15" क्वार्ट्ज बेल जार

Semicorex 15" क्वार्ट्ज बेल जार यी चुनौतिहरू सामना गर्न इन्जिनियर गरिएको छ, मध्यम-देखि-ठूलो स्तर ब्याच प्रशोधनका लागि उच्च-सम्पादन समाधान प्रदान गर्दछ जहाँ थर्मल एकरूपता र सामग्री शुद्धता अधिकतम उपजको लागि आवश्यक छ। सेमीकन्डक्टर र पातलो-फिल्म उद्योगहरूमा, अखंडता प्रक्रियाको अखण्डता र आकारमा वृद्धि हुन्छ। संकुचन, सफा, स्थिर, र रसायनिक रूपमा अक्रिय वातावरणको आवश्यकता गैर-वार्तालापयोग्य हुन्छ।

1. भौतिक विज्ञान: फ्यूज्ड सिलिकाको शुद्धता

हाम्रो बेल जारको आधार उच्च-शुद्धता होफ्यूज्ड सिलिका (क्वार्ट्ज)। मानक गिलासको विपरीत, क्वार्ट्ज लगभग पूर्ण रूपमा SiO2 बाट बनेको छ, अद्वितीय गुणहरू प्रदान गर्दछ जुन अर्धचालक निर्माणको लागि महत्त्वपूर्ण छ:

अल्ट्रा-लो प्रदूषण: हाम्रो क्वार्ट्ज धातुको ट्रेस तत्वहरू (जस्तै Al, Fe, Na, र K) लाई अंश-प्रति-बिलियन (ppb) स्तरमा कम गर्न प्रशोधन गरिन्छ। यसले उच्च-तापमान चक्रको समयमा वेफरमा अशुद्धताहरू फैलिनबाट रोक्छ, यन्त्रहरूको विद्युतीय अखण्डता सुनिश्चित गर्दछ।

सुपीरियर थर्मल शक प्रतिरोध: क्वार्ट्जसँग थर्मल विस्तार (CTE) को लगभग शून्य गुणांक छ। यसले 15" क्वार्ट्ज बेल जारलाई फ्र्याक्चर वा संरचनात्मक थकानको जोखिम बिना तीव्र तापमान र्याम्पिङ र शमन गर्नको लागि अनुमति दिन्छ - उच्च-थ्रुपुट रिएक्टरहरूको लागि एक महत्वपूर्ण आवश्यकता।

उत्कृष्ट रासायनिक जडता: क्वार्ट्ज धेरैजसो एसिडहरू (हाइड्रोफ्लोरिक एसिडको अपवाद बाहेक) र संक्षारक प्रक्रिया ग्यासहरूको लागि अत्यधिक प्रतिरोधी छ, यो सुनिश्चित गर्दै कि आक्रामक नक्काशी वा डिपोजिसन चक्रको समयमा चेम्बर घट्दैन वा बाहिर जाँदैन।

2. प्रेसिजन ईन्जिनियरिङ् र अप्टिकल स्पष्टता

15" क्वार्ट्ज बेल जारले ब्याच वेफर प्रशोधनको उद्देश्यका लागि अधिकतम भोल्युम र इष्टतम ग्यास प्रवाह गतिशीलता प्रदान गर्दछ। जारमा ठाडो चिम्नी (नेकको रूपमा पनि चिनिन्छ) छ जुन ग्यासको लागि इनलेट प्रदान गर्न वा माथिको छविमा देखाइएको जारबाट भ्याकुम मार्फत ग्यास निकाल्न मद्दत गर्नको लागि उत्तम रूपमा डिजाइन गरिएको हो।

अप्टिकल पारदर्शिता - को प्रसारण को उच्च स्तरक्वार्ट्ज सामग्रीस्पेक्ट्रमको पराबैंगनी, देखिने र इन्फ्रारेड क्षेत्रहरूमा तरंगदैर्ध्य उत्सर्जन गर्नले वास्तविक समय प्रशोधनका साथै द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) को लागि बाह्य बत्ती हीटरहरूको प्रयोग गर्न अनुमति दिन्छ।

प्रबलित सील सतहहरू - जारको घाँटीमा विशेष रूपमा विकसित अपारदर्शी सेतो सील हुन्छ (जसलाई ग्राउन्ड जोइन्ट पनि भनिन्छ) जसले रिएक्टर बेसप्लेट र जारको बीचमा हर्मेटिक (एयर-सील गरिएको) र भ्याकुम-टाइट इन्टरफेस प्रदान गर्दछ।

तनाव राहतको लागि एनिलिङ - सबै 15" क्वार्ट्ज बेल जारले कडा थर्मल एनिलिङ प्रक्रियाबाट गुज्रिन्छ जुन आन्तरिक मेकानिकल तनावलाई कम गर्न जारमा राखिएको छ जुन जारलाई उडाउने वा आकार दिने मेकानिकल प्रक्रियाद्वारा जारमा राखिएको छ, त्यसैले जार मुनि लोड गर्दा सहज रूपमा असफल हुने सम्भावनालाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ।

3. सेमीकन्डक्टर फैबमा महत्वपूर्ण अनुप्रयोगहरू

हाम्रो 15" क्वार्ट्ज बेल जार विशेष गरी निम्न उच्च-मूल्य प्रक्रियाहरूमा एकीकरणको लागि डिजाइन गरिएको हो:

सिलिकन एपिटेक्सी: उच्च गुणस्तरको एकल-क्रिस्टल सिलिकन तहहरू बढ्नको लागि पारदर्शी, गैर-प्रतिक्रियाशील पोत प्रदान गर्दै।

प्लाज्मा एन्हान्स्ड CVD (PECVD): उच्च डाइलेक्ट्रिक शक्ति कायम राख्दै संक्षारक प्लाज्मा वातावरणको सामना गर्दै।

प्रसार र ओक्सीकरण: गेट अक्साइड र डोपन्ट ड्राइभ-इनको गठनको लागि सफा, उच्च-तातो कक्षको रूपमा सेवा गर्दै।

अप्टिकल फाइबर प्रिफर्म उत्पादन: विशेष गिलासको निर्माणमा सिलिका तहहरूको उच्च-शुद्धता निक्षेपको लागि आदर्श।

Semicorex मा, हामी प्रत्येक घण्टी जारलाई परिशुद्ध प्रयोगशाला उपकरणको टुक्राको रूपमा ह्यान्डल गर्छौं। हाम्रो प्रक्रियामा समावेश छ: प्रमाणित इलेक्ट्रोनिक-ग्रेडको साथ कडा सामग्री सोर्सिङक्वार्ट्जइन्गोट्स; सीएनसी-नियन्त्रित ग्राइन्डिङ र पालिसिङसँग परम्परागत गिलास उडाउने सीपहरू मर्ज गर्ने उन्नत निर्माण; र सटीक आयामी जाँचहरूको लागि अवशिष्ट तनाव र लेजर इन्टरफेरोमेट्री पत्ता लगाउन ध्रुवीकृत प्रकाश प्रयोग गरेर पूर्ण निरीक्षण।