ग्यास इनलेट रिङ्हरू वेफर किनारा र परिधि ढाक्न प्रयोग गरिन्छ, महत्त्वपूर्ण चेम्बर घटकहरूलाई सफा, निष्क्रिय र सुरक्षित वातावरण सिर्जना गर्न र डिपोजिसन चेम्बरहरूमा तिनीहरूको उपयोगी जीवन विस्तार गर्नको लागि प्रयोग गरिन्छ, त्यसैले तिनीहरू प्लाज्मा र उच्च तापक्रमको सम्पर्कमा हुन्छन्। , यति बलियो प्लाज्मा स्थायित्व र उच्च शुद्धता अन्तिम वेफर उपजको लागि महत्वपूर्ण छ।
Semicorex CVD SiC लेपित घण्टीहरू विशेष गरी यी माग गर्ने एपिटेक्सी उपकरण अनुप्रयोगहरूको लागि ईन्जिनियर गरियो।