प्रशोधन गर्दा, अर्धचालक वेफरहरू विशेष भट्टीहरूमा तताउनु पर्छ। रिएक्टरमा लामो, बेलनाकार ट्यूबहरू हुन्छन्, जसमा वेफरहरू वेफर डुङ्गाहरूमा पूर्वनिर्धारित, समान दूरीमा राखिन्छन्। चेम्बर भित्र प्रशोधन अवस्थाहरू बाँच्नको लागि, र प्रशोधन उपकरणहरूबाट वेफरहरूमा फोहोर कम गर्न, वेफर डुङ्गाहरू र धेरै। वेफर प्रशोधनमा प्रयोग हुने अन्य उपकरणहरू सिलिकन कार्बाइड (SiC) जस्ता सामग्रीबाट बनेका हुन्छन्।
प्रशोधन गर्नका लागि वेफर्सको ब्याचले भरिएका डुङ्गाहरू लामो क्यान्टीलिभर प्याडलहरूमा राखिन्छन्, जसद्वारा तिनीहरूलाई ट्युबुलर फर्नेसहरू र रिएक्टरहरूबाट घुसाउन र फिर्ता लिन सकिन्छ। प्याडलहरूमा एउटा समतल क्यारियर खण्ड समावेश हुन्छ जसमा एक वा बढी डुङ्गाहरू राख्न सकिन्छ, र लामो ह्यान्डल, समतल क्यारियर खण्डको एक छेउमा राखिएको हुन्छ, जसद्वारा प्याडल ह्यान्डल गर्न सकिन्छ।
क्यान्टिलिभर प्याडललाई CVD SiC पातलो तहको साथ पुनःक्रिस्टलाइज गरिएको सिलिकन कार्बाइड प्रयोग गर्न सिफारिस गरिन्छ, जुन उच्च शुद्धता हो र अर्धचालक प्रशोधनमा कम्पोनेन्टहरूका लागि उत्तम विकल्प हो।
Semicorex ले रेखाचित्र र काम गर्ने वातावरण अनुसार अनुकूलित सेवा प्रदान गर्न सक्छ।
Semicorex उच्च शुद्धता SiC Cantilever Paddle उच्च शुद्धता sintered SiC सिरेमिक द्वारा बनाइएको छ, जुन अर्धचालकमा तेर्सो भट्टीमा संरचनात्मक भाग हो। Semicorex सेमीकन्डक्टर उद्योगमा SiC कम्पोनेन्टहरू आपूर्ति गर्न अनुभवी कम्पनी हो।*
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्Semicorex SiC सिरेमिक प्याडल एक उच्च-शुद्धता क्यान्टिलिभर कम्पोनेन्ट हो जुन अर्धचालक उच्च-तापमान भट्टीहरूको लागि ईन्जिनियर गरिएको छ, मुख्य रूपमा अक्सीकरण र प्रसार प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ। Semicorex छनोट गर्नु भनेको महत्वपूर्ण वेफर-ह्यान्डलिंग अनुप्रयोगहरूको लागि असाधारण स्थिरता, सरसफाई र स्थायित्व सुनिश्चित गर्ने उन्नत सिरेमिक समाधानहरूमा पहुँच प्राप्त गर्नु हो।*
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्Semicorex SiC प्याडलहरू उच्च-तापमान अक्सिडेशन र 1000 ℃ माथि डिफ्यूजन फर्नेसहरूमा वेफर यातायातको लागि डिजाइन गरिएको उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलभर हात हो। Semicorex छनोट गर्नु भनेको असाधारण सामग्रीको गुणस्तर, सटीक इन्जिनियरिङ, र अग्रणी अर्धचालक फ्याबहरूद्वारा विश्वसनीय दीर्घकालीन विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्नु हो।*
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्