प्रशोधन गर्दा, अर्धचालक वेफरहरू विशेष भट्टीहरूमा तताउनु पर्छ। रिएक्टरमा लामो, बेलनाकार ट्यूबहरू हुन्छन्, जसमा वेफरहरू वेफर डुङ्गाहरूमा पूर्वनिर्धारित, समान दूरीमा राखिन्छन्। चेम्बर भित्र प्रशोधन अवस्थाहरू बाँच्नको लागि, र प्रशोधन उपकरणहरूबाट वेफरहरूमा फोहोर कम गर्न, वेफर डुङ्गाहरू र धेरै। वेफर प्रशोधनमा प्रयोग हुने अन्य उपकरणहरू सिलिकन कार्बाइड (SiC) जस्ता सामग्रीबाट बनेका हुन्छन्।
प्रशोधन गर्नका लागि वेफर्सको ब्याचले भरिएका डुङ्गाहरू लामो क्यान्टीलिभर प्याडलहरूमा राखिन्छन्, जसद्वारा तिनीहरूलाई ट्युबुलर फर्नेसहरू र रिएक्टरहरूबाट घुसाउन र फिर्ता लिन सकिन्छ। प्याडलहरूमा एउटा समतल क्यारियर खण्ड समावेश हुन्छ जसमा एक वा बढी डुङ्गाहरू राख्न सकिन्छ, र लामो ह्यान्डल, समतल क्यारियर खण्डको एक छेउमा राखिएको हुन्छ, जसद्वारा प्याडल ह्यान्डल गर्न सकिन्छ।
क्यान्टिलिभर प्याडललाई CVD SiC पातलो तहको साथ पुनःक्रिस्टलाइज गरिएको सिलिकन कार्बाइड प्रयोग गर्न सिफारिस गरिन्छ, जुन उच्च शुद्धता हो र अर्धचालक प्रशोधनमा कम्पोनेन्टहरूका लागि उत्तम विकल्प हो।
Semicorex ले रेखाचित्र र काम गर्ने वातावरण अनुसार अनुकूलित सेवा प्रदान गर्न सक्छ।