प्यानकेक ससेप्टर, अर्धचालक प्रशोधनमा प्रयोग हुने वेफर क्यारियरको गोल आकार।
Epitaxy अर्धचालक प्रशोधन मा एक महत्वपूर्ण चरण हो जुन अर्धचालक वेफर्स मा epitaxial तह बढ्छ, जसमा वेफरहरु ग्रेफाइट susceptors मा लगिन्छ। ग्रेफाइट ससेप्टर्सका गुणहरू एपि-वेफर्सको गुणस्तरको लागि प्रमुख स्नेह हुन्।
सिलिकन कार्बाइड कोटिंगको साथ ग्रेफाइट ससेप्टरहरू
सेमीकोरेक्सले सबै एपिटेक्सी रिएक्टरहरूको लागि ससेप्टर र कम्पोनेन्टहरू आपूर्ति गर्दछ, सहितब्यारेल susceptorsर प्यानकेक ससेप्टर्स। हामी उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र CVD SiC कोटिंग प्रयोग गर्छौं।