Semicorex अर्धचालक प्रशोधन मा सुधार को लागी तपाइँको साझेदार हो। हाम्रा सिलिकन कार्बाइड कोटिंगहरू घना, उच्च तापक्रम र रासायनिक प्रतिरोधी छन्, जुन प्रायः अर्धचालक वेफर र वेफर प्रशोधन र अर्धचालक निर्माण सहित अर्धचालक निर्माणको सम्पूर्ण चक्रमा प्रयोग गरिन्छ।
उच्च शुद्धता SiC सिरेमिक कम्पोनेन्टहरू सेमीकन्डक्टरमा प्रक्रियाहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छन्। Epitaxy वा MOCVD को लागि सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गा, क्यान्टिलिभर प्याडल, ट्युब, इत्यादि जस्ता वेफर प्रशोधन उपकरणहरूका लागि उपभोग्य भागहरूबाट हाम्रो प्रस्ताव दायराहरू।
अर्धचालक प्रक्रियाहरूको लागि लाभ
पातलो फिलिम डिपोजिसन चरणहरू जस्तै एपिटाक्सी वा MOCVD, वा वेफर ह्यान्डलिङ प्रशोधन जस्तै नक्काशी वा आयन इम्प्लान्टले उच्च तापक्रम र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ। Semicorex ले उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC) निर्माणले उच्च ताप प्रतिरोध र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, लगातार epi तह मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता पनि प्रदान गर्दछ।
च्याम्बर ढक्कन →
क्रिस्टल ग्रोथ र वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधनमा प्रयोग हुने चेम्बर लिडहरूले उच्च तापक्रम र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ।
क्यान्टिलिभर प्याडल →
क्यान्टिलिभर प्याडल सेमीकन्डक्टर उत्पादन प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने महत्त्वपूर्ण कम्पोनेन्ट हो, विशेष गरी डिफ्यूजन र आरटीपी जस्ता प्रक्रियाहरूमा प्रसार वा LPCVD फर्नेसहरूमा।
प्रक्रिया ट्यूब →
प्रक्रिया ट्यूब एक महत्त्वपूर्ण घटक हो, विशेष गरी विभिन्न अर्धचालक प्रशोधन अनुप्रयोगहरू जस्तै RTP, प्रसारमा डिजाइन गरिएको।
वेफर डुङ्गा →
वेफर डुङ्गा अर्धचालक प्रशोधनमा प्रयोग गरिन्छ, यो उत्पादनको महत्वपूर्ण चरणहरूमा नाजुक वेफरहरू सुरक्षित राखिएको सुनिश्चित गर्न सावधानीपूर्वक डिजाइन गरिएको छ।
इनलेट रिंगहरू →
MOCVD उपकरणद्वारा SiC लेपित ग्यास इनलेट रिंग कम्पाउन्ड ग्रोथमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध छ, जुन चरम वातावरणमा ठूलो स्थिरता छ।
फोकस रिङ →
Semicorex आपूर्ति सिलिकन कार्बाइड लेपित फोकस रिंग RTA, RTP वा कठोर रासायनिक सफाईको लागि वास्तवमै स्थिर छ।
वेफर चक →
सेमिकोरेक्स अल्ट्रा-फ्ल्याट सिरेमिक भ्याकुम वेफर चक्स उच्च शुद्धताको SiC लेपित हो जुन वेफर ह्यान्डलिंग प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ।
सेमिकोरेक्समा एल्युमिना (Al2O3), सिलिकन नाइट्राइड (Si3N4), एल्युमिनियम नाइट्राइड (AIN), Zirconia (ZrO2), कम्पोजिट सिरेमिक आदिमा पनि सिरेमिक उत्पादनहरू छन्।
चरम तापक्रम अनुप्रयोगहरूको लागि विशेष रूपमा डिजाइन गरिएको, हट-प्रेस गरिएको बोरोन नाइट्राइड क्रुसिबलहरू धातु पग्लने र वाष्पीकरण प्रक्रियाहरू र अर्धचालक क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाहरूको लागि उत्कृष्ट समाधानको रूपमा सेवा गर्ने अपरिहार्य सिरेमिक कन्टेनरहरू हुन्।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्उच्च-गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड सामग्रीहरूद्वारा निर्मित, SIC थर्मोकोपल संरक्षण ट्यूबहरू उन्नत सिरेमिक समाधानहरू हुन् जुन थर्मोकपलहरूलाई उच्च-तापमान वातावरणको मागमा सामान्य रूपमा सञ्चालन हुनबाट जोगाउन प्रयोग गरिन्छ। परिशुद्धता-इन्जिनियर गरिएको SIC थर्मोकोपल सुरक्षा ट्यूबहरूको लागि सेमिकोरेक्स छनौट गर्नुहोस्। दक्षता।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्उच्च प्रदर्शन गर्ने सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकबाट बनेको, सिलिकन कार्बाइड कूलिंग डक्टहरू उच्च-तापमान औद्योगिक भट्टाहरूको चिसो प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने प्रदर्शनकारी पाइप कम्पोनेन्टहरू हुन्। सटीक-इन्जिनियर गरिएको सिलिकन कार्बाइड कूलिङ डक्टहरूको लागि सेमिकोरेक्स छनोट गर्नुहोस् जसले लगातार गुणस्तर, लागत-प्रभावी मूल्य, र अधिकतम शीतलन दक्षता सुनिश्चित गर्दछ।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्Semicorex कार्बन सिरेमिक ब्रेक उन्नत कार्बन सिरेमिक कम्पोजिटहरूबाट बनेको छ, जुन एक उन्नत सामग्री हो जुन उच्च-तापमान कार्य वातावरणको लागि अत्यधिक उपयुक्त छ। Semicorex ले अनुप्रयोगहरू र ग्राहकहरूको आवश्यकता अनुसार अनुकूलित उत्पादनहरू प्रदान गर्दछ।*
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्सिलिकन कार्बाइड आईसीपी इचिङ प्लेट अपरिहार्य वेफर होल्डर हो जुन उच्च शुद्धता सिन्टर्ड सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकद्वारा निर्मित हो। Semicorex द्वारा विशेष रूपमा डिजाइन गरिएको, यसले अत्याधुनिक अर्धचालक उद्योगमा इन्डक्टिवली कपल्ड प्लाज्मा (ICP) नक्काशी र डिपोजिसन प्रणालीहरूको लागि महत्त्वपूर्ण सक्षमकर्ताहरूको रूपमा कार्य गर्दछ।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्Semicorex बाट एल्युमिनियम नाइट्राइड क्रुसिबलहरू अर्धचालक-ग्रेड AlN सिरेमिकहरूद्वारा निर्मित हुन्छन्, जुन चुनौतीपूर्ण उच्च-तापमान वातावरणमा लागू हुने उच्च-प्रदर्शन प्रतिक्रिया पोतहरू हुन्। Semicorex ले ठूला-ठूला अर्डरहरू र सानो-ब्याच प्रोटोटाइप आवश्यकताहरू दुवै ह्यान्डल गर्दै ग्राहकको आवश्यकता अनुसार अनुकूलित उत्पादन प्रदान गर्दछ।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्