फोकस रिङ वा एज रिङ्हरू वेफर किनारा वा परिधिको वरिपरि नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न डिजाइन गरिएको हो।
सेमिकोरेक्स फोकस रिङ्हरू रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) को प्रयोग गरेर सिलिकन कार्बाइड लेपित छन्, उच्च ताप प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, लगातार एपि लेयर मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता, र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध, जुन प्लाज्मा एचिंग वा ड्राई इचिंग प्रक्रियामा चरम वातावरणको सामना गर्न निर्माण गरिन्छ। ।