फोकस रिङ वा एज रिङ्हरू वेफर किनारा वा परिधिको वरिपरि नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न डिजाइन गरिएको हो।
सेमिकोरेक्स फोकस रिङ्हरू रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) को प्रयोग गरेर सिलिकन कार्बाइड लेपित छन्, उच्च ताप प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, लगातार एपि लेयर मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता, र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध, जुन प्लाज्मा एचिंग वा ड्राई इचिंग प्रक्रियामा चरम वातावरणको सामना गर्न निर्माण गरिन्छ। ।
Semicorex SiC फोकस रिंग एक उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड रिंग घटक हो जुन प्लाज्मा वितरण र अर्धचालक निर्माणमा वेफर प्रक्रिया एकरूपता अनुकूलन गर्न डिजाइन गरिएको हो। Semicorex छनोट गर्नु भनेको निरन्तर गुणस्तर, उन्नत सामग्री इन्जिनियरिङ, र विश्वभरका अग्रणी सेमीकन्डक्टर फ्याबहरूद्वारा विश्वसनीय कार्यसम्पादन सुनिश्चित गर्नु हो।*
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्