फोकस रिङ वा एज रिङ्हरू वेफर किनारा वा परिधिको वरिपरि नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न डिजाइन गरिएको हो।
सेमिकोरेक्स फोकस रिङ्हरू रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) को प्रयोग गरेर सिलिकन कार्बाइड लेपित छन् जसले उच्च ताप प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, लगातार एपि लेयर मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता, र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध, जुन प्लाज्मा नक्काशी वा सुख्खा नक्काशी प्रक्रियामा चरम वातावरणको सामना गर्न निर्माण गरिन्छ। ।
अर्धचालक प्रशोधनका लागि सेमिकोरेक्स टिकाऊ फोकस रिङ्हरू अर्धचालक प्रशोधनमा प्रयोग हुने प्लाज्मा ईच चेम्बरहरूको चरम वातावरणलाई सामना गर्न डिजाइन गरिएको हो। हाम्रो फोकस रिंगहरू उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटले बनेको छ जसमा घना, पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग छ। SiC कोटिंगमा उच्च जंग र गर्मी प्रतिरोध गुणहरू, साथै उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ। हामी हाम्रो फोकस रिंगहरूको सेवा जीवन सुधार गर्न रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर ग्रेफाइटमा पातलो तहहरूमा SiC लागू गर्छौं।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्सेमिकोरेक्स प्लाज्मा प्रशोधन फोकस रिंग विशेष रूपमा सेमीकन्डक्टर उद्योगमा प्लाज्मा ईच प्रशोधनको उच्च मागहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको हो। हाम्रा उन्नत, उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइड लेपित कम्पोनेन्टहरू चरम वातावरणको सामना गर्नका लागि बनाइएका छन् र सिलिकन कार्बाइड तहहरू र एपिटेक्सी अर्धचालकहरू सहित विभिन्न अनुप्रयोगहरूमा प्रयोगको लागि उपयुक्त छन्।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्Semicorex उन्नत, उच्च-शुद्धता SiC फोकस रिंगहरू प्लाज्मा ईच (वा ड्राई इच) चेम्बरहरूमा चरम वातावरणको सामना गर्न निर्माण गरिन्छ। हामी सिलिकन कार्बाइड लेयर र एपिटेक्सी सेमीकन्डक्टर जस्ता सेमीकन्डक्टर उद्योगहरूमा फोकस गर्छौं। हाम्रा उत्पादनहरूको मूल्यमा राम्रो फाइदा छ र यसले धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्