१x२" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टर्स

सेमीकन्डक्टर वेफर फेब्रिकेशनमा, सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूको पछिल्लो निर्माणको लागि एपिटेक्सियल लेयरलाई वेफर सब्सट्रेटमा उब्जाउन आवश्यक छ। एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रिया तापमान उतार-चढ़ाव र प्रदूषणको लागि अत्यधिक संवेदनशील भएकोले, भरपर्दो छनोटहरूवेफर ससेप्टर्सआलोचनात्मक रूपमा महत्त्वपूर्ण छन्। वेफर एपिटेक्सियल प्रक्रियामा अपरिहार्य सहयोगी भागहरूको रूपमा, मेसिनिंग सटीक, थर्मल व्यवस्थापन क्षमता, र प्रदूषण प्रतिरोध प्रदर्शन उच्च-गुणस्तरको वेफर एपिटेक्सियल वृद्धि हासिल गर्न महत्त्वपूर्ण कारकहरू हुन्।

Semicorex 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टरहरूको कार्यहरू

अल्ट्रा-फाइन ग्रेनबाट बनेको, विशेष प्रक्रियाहरू मार्फत घने सिलिकन कार्बाइड कोटिंगको साथ तिनीहरूको म्याट्रिक्सको रूपमा उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट, Semicorex 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टरहरूले निम्न कार्यहरू प्रदान गर्छन्:

1. सुरक्षित र बासी होल्डिंग

Semicorex 1x2"ग्रेफाइटवेफर ससेप्टरहरूले सटीक मेसिनिंग र उपचार सुविधा दिन्छ, असाधारण सतह समतलता र आयामी शुद्धता प्रदान गर्दछ। यसले उनीहरूलाई उपयुक्त स्थितिमा दृढतापूर्वक सुरक्षित गरिएको सुनिश्चित गर्दछ र वेफर एपिटेक्सियल वृद्धिको लागि स्थिर, समतल समर्थन प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ।

2. प्रेसिजन समान गर्मी वितरण

ग्रेफाइट र SiC सामग्रीको उत्कृष्ट थर्मल चालकताको साथ, Semicorex 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टरहरूले अर्धचालक पदार्थमा द्रुत र एकसमान ताप वितरण प्रदान गर्दछ। तापक्रम ढाँचालाई कम गरेर, Semicorex 1x2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टरहरूले प्रभावकारी रूपमा असमान epcentita तनाव र गुणस्तरीय तनाव जस्ता समस्याहरूबाट बच्न सक्छन्।

Semicorex सिलिकन कार्बाइड कोटिंग को लाभ

1. सुपीरियर जंग प्रतिरोध

बाक्लो सिलिकन कार्बाइड कोटिंगले ढाकिएको, सेमिकोरेक्स १x२" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टरहरू प्रभावकारी रूपमा बहुसंख्यक रसायनहरूको प्रतिरोधी हुन्छन्, तिनीहरूलाई अत्यधिक संक्षारक अपरेटिंग अवस्थाहरूमा अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त बनाउँदछ जहाँ सामग्री बारम्बार संक्षारक ग्यासहरू र रासायनिक वाष्पहरूको सम्पर्कमा आउँछ।

2. कम कण बहाव

सेमीकोरेक्ससिलिकन कार्बाइड कोटिंगग्रेफाइट म्याट्रिक्ससँग उच्च बन्धन बल छ, जसले कोटिंग डिटेचमेन्टको कारणले क्षरण र उच्च-जंग वातावरणको कारणले कण फलआउटको कारणले सब्सट्रेट प्रदूषणको जोखिमलाई उल्लेखनीय रूपमा बच्न सक्छ।

3. विश्वसनीय सेवा जीवन

यद्यपि ग्रेफाइट म्याट्रिक्सहरूले उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता र मेकानिकल बल प्रदर्शन गर्दछ, यो एपिटेक्सियल प्रक्रियाको सञ्चालन अवस्थाहरूमा क्षरण र पल्भराइजेशनको लागि प्रवण हुन्छ, यसले अनकोटेड ग्रेफाइट म्याट्रिक्सहरूको आयु धेरै छोटो बनाउँछ। ग्रेफाइट म्याट्रिक्सहरूलाई घना SiC कोटिंग्सको साथ पूर्ण रूपमा समेटेर, हाम्रा 1×2" ग्रेफाइट वेफर ससेप्टरहरूले उच्च र भरपर्दो स्थायित्व प्राप्त गर्छन्।

Semicorex SiC कोटिंग को सामग्री डाटा