6 इन्च एन-टाइप SiC वेफर

Semicorex ले विभिन्न प्रकारका 4H र 6H SiC वेफरहरू प्रदान गर्दछ। हामी धेरै वर्षदेखि वेफर्सको निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो। हाम्रो डबल-पालिश गरिएको 6 इन्च एन-टाइप SiC वेफरसँग राम्रो मूल्य लाभ छ र यसले अधिकांश युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

Semicorex सँग पूर्ण सिलिकन कार्बाइड (SiC) वेफर उत्पादन लाइन छ, 4H र 6H सब्सट्रेटहरू सहित N-प्रकार, P-प्रकार र उच्च शुद्धता अर्ध-इन्सुलेटिंग वेफरहरू, तिनीहरू एपिटेक्सीसँग वा बिना हुन सक्छन्। हाम्रो 4-इन्च एन-टाइप SiC (सिलिकन कार्बाइड) सब्सट्रेट एक प्रकारको उच्च-गुणस्तरको वेफर हो जुन सिलिकन कार्बाइडको एकल क्रिस्टलबाट एन-टाइप डोपिङको साथ बनाइएको छ, जुन डबल पालिश गरिएको छ।

6 इन्च एन-टाइप SiC वेफर मुख्यतया नयाँ ऊर्जा सवारी साधनहरू, उच्च-भोल्टेज प्रसारण र सबस्टेशन, सेतो सामानहरू, उच्च-गति ट्रेनहरू, इलेक्ट्रिक मोटरहरू, फोटोभोल्टिक इन्भर्टरहरू, पल्स्ड पावर सप्लाई र अन्य क्षेत्रहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा उपकरणहरू घटाउने फाइदाहरू छन्। ऊर्जा हानि, उपकरण विश्वसनीयता सुधार, उपकरण आकार घटाउने र उपकरण प्रदर्शन सुधार, र पावर इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू बनाउन अपूरणीय फाइदाहरू छन्।

वस्तुहरू	उत्पादन	अनुसन्धान	डमी
क्रिस्टल प्यारामिटरहरू
पोलिटाइप	4H
सतह अभिमुखीकरण त्रुटि	<11-20 > 4±0.15°
विद्युतीय मापदण्डहरू
डोपन्ट	n-प्रकार नाइट्रोजन
प्रतिरोधात्मकता	०.०१५-०.०२५ओम·सेमी
मेकानिकल प्यारामिटरहरू
व्यास	150.0±0.2mm
मोटाई	350±25 ¼m
प्राथमिक समतल अभिमुखीकरण	[१-१००]±५°
प्राथमिक समतल लम्बाइ	४७.५±१.५ मिमी
माध्यमिक फ्ल्याट	कुनै पनि छैन
TTV	â¤5 Î¼m	â¤10 Î¼m	â¤15 Î¼m
LTV	â¤3 Î¼m(5mm*5mm)	â¤5 Î¼m(5mm*5mm)	â¤10 Î¼m(5mm*5mm)
ढोग	-15Î¼m ~ 15Î¼m	-35Î¼m ~ 35Î¼m	-45Î¼m ~ 45Î¼m
ताना	â¤35 Î¼m	â¤45 Î¼m	â¤55 Î¼m
अगाडि (सि-फेस) रफनेस (AFM)	Raâ¤0.2nm (5Î¼m*5Î¼m)
संरचना
माइक्रोपाइप घनत्व	<1 ea/cm2	<10 ea/cm2	<15 ea/cm2
धातु अशुद्धता	â¤5E10 परमाणु/cm2		NA
BPD	â¤1500 ea/cm2	â¤3000 ea/cm2	NA
TSD	â¤500 ea/cm2	â¤1000 ea/cm2	NA
अगाडि गुणस्तर
अगाडि	सि
सतह समाप्त	सि-फेस CMP
कणहरू	â¤60ea/wafer (sizeâ¥0.3Î¼m)	NA
खरोंचहरू	â¤5ea/mm। संचयी लम्बाइ â¤ व्यास	संचयी लम्बाइâ¤2*व्यास	NA
सुन्तलाको बोक्रा/पिट्स/दाग/धारा/चरा/दूषित	कुनै पनि छैन		NA
किनारा चिप्स/इन्डेन्टहरू/फ्र्याक्चर/हेक्स प्लेटहरू	कुनै पनि छैन
पोलिटाइप क्षेत्रहरू	कुनै पनि छैन	संचयी क्षेत्रâ¤ २०%	संचयी क्षेत्र 30%
अगाडि लेजर मार्किंग	कुनै पनि छैन
पछाडि गुणस्तर
पछाडि समाप्त	C-अनुहार CMP
खरोंचहरू	â¤5ea/mm, संचयी लम्बाइâ¤2*व्यास	NA
पछाडिका दोषहरू (एज चिप्स/इन्डेन्टहरू)	कुनै पनि छैन
पछाडिको खुरदुरापन	Raâ¤0.2nm (5Î¼m*5Î¼m)
पछाडि लेजर मार्किंग	1 मिमी (शीर्ष किनाराबाट)
किनारा
किनारा	च्याम्फर
प्याकेजिङ
प्याकेजिङ	भ्याकुम प्याकेजिङ संग Epi-तयार बहु-वेफर क्यासेट प्याकेजिङ
*Notesï¼ "NA" भनेको कुनै अनुरोध नगरिएको वस्तुले SEMI-STD लाई सन्दर्भ गर्न सक्छ।