Al2O3 भ्याकुम चक

सेमीकन्डक्टर निर्माणमा आवेदनहरू

सेमीकोरेक्सAl2O3 भ्याकुम चक एक बहुमुखी उपकरण हो जुन अर्धचालक उत्पादनको धेरै चरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ:

पातलो: वेफर पातलो प्रक्रियाको क्रममा, Al2O3 भ्याकुम चकले स्थिर र एकसमान समर्थन प्रदान गर्दछ, उच्च सटीक सब्सट्रेट घटाउने सुनिश्चित गर्दै। यो चिप तातो अपव्यय सुधार गर्न र उपकरण प्रदर्शन बृद्धि गर्न महत्त्वपूर्ण छ।

डाइसिङ: डाइसिङ चरणमा, जहाँ वेफरहरू व्यक्तिगत चिपहरूमा काटिन्छन्, Al2O3 भ्याकुम चकले सुरक्षित र स्थिर सोखन प्रदान गर्दछ, क्षतिको जोखिम कम गर्दै र सफा कटौती सुनिश्चित गर्दछ।

सफाई: Al2O3 भ्याकुम चकको चिल्लो र एकसमान शोषण सतहले यसलाई वेफर सफा गर्ने प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त बनाउँछ, यो सुनिश्चित गर्दै कि वेफरहरूलाई हानी नगरी प्रदूषकहरू प्रभावकारी रूपमा हटाइन्छ।

ढुवानी: वेफर ह्यान्डलिंग र यातायातको समयमा, Al2O3 भ्याकुम चकले भरपर्दो र सुरक्षित समर्थन प्रदान गर्दछ, क्षति र प्रदूषणको जोखिम कम गर्दछ।

सेमीकोरेक्सभ्याकुमचक फ्लो

सेमीकोरेक्सAl2O3 भ्याकुम चकका फाइदाहरू

1. समान माइक्रो-छिद्र सिरेमिक टेक्नोलोजी

Al2O3 भ्याकुम चक माइक्रो-पोरस सिरेमिक टेक्नोलोजी प्रयोग गरी निर्माण गरिएको छ, जसमा समान आकारको न्यानो-पाउडरको प्रयोग समावेश छ। यो प्रविधिले छिद्रहरू समान रूपमा वितरित र एक अर्कासँग जोडिएको सुनिश्चित गर्दछ, परिणामस्वरूप उच्च छिद्रता र एक समान रूपमा घना संरचना। यो एकरूपताले भ्याकुम चकको प्रदर्शनलाई बढाउँछ, लगातार र भरपर्दो वेफर समर्थन प्रदान गर्दछ।

2. असाधारण सामग्री गुणहरू

Al2O3 भ्याकुम चकमा प्रयोग गरिएको अल्ट्रा-शुद्ध 99.99% एल्युमिना (Al2O3) ले असाधारण गुणहरूको दायरा प्रदान गर्दछ:

थर्मल गुणहरू: उच्च ताप प्रतिरोध र उत्कृष्ट थर्मल चालकताको साथ, Al2O3 भ्याकुम चकले सामान्यतया अर्धचालक निर्माणमा सामना गर्ने उच्च तापमानको सामना गर्न सक्छ।

मेकानिकल गुणहरू: एल्युमिनाको उच्च शक्ति र कठोरताले सुनिश्चित गर्दछ कि Al2O3 भ्याकुम चक टिकाऊ र लुगा लगाउन प्रतिरोधी छ, लामो समयसम्म चल्ने प्रदर्शन प्रदान गर्दछ।

अन्य गुणहरू: एल्युमिनाले उच्च विद्युतीय इन्सुलेशन र जंग प्रतिरोध पनि प्रदान गर्दछ, जसले Al2O3 भ्याकुम चकलाई उत्पादन वातावरणको विस्तृत दायराको लागि उपयुक्त बनाउँछ।

3. सुपीरियर समतलता र समानान्तरता

Al2O3 भ्याकुम चकको मुख्य फाइदाहरू मध्ये एक यसको उच्च समतलता र समानान्तरता हो। यी गुणहरू सटीक र स्थिर वेफर ह्यान्डलिंग सुनिश्चित गर्न, क्षतिको जोखिम कम गर्न र निरन्तर प्रशोधन परिणामहरू सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण छन्। थप रूपमा, Al2O3 भ्याकुम चकको राम्रो हावा पारगम्यता र एकसमान शोषण बलले सहज र भरपर्दो सञ्चालन सुनिश्चित गर्दछ।

4. अनुकूलन विकल्पहरू

सेमीकोरेक्समा, हामी बुझ्छौं कि प्रत्येक सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियामा अद्वितीय आवश्यकताहरू छन्। त्यसकारण हामी तपाइँको विशेष आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलित भ्याकुम चकहरू प्रस्ताव गर्दछौं। आवश्यक समतलता र उत्पादन लागतहरूमा निर्भर गर्दै, हामी भ्याकुम चकको तौल र कार्यसम्पादन तपाईंको अनुप्रयोगको लागि अनुकूलित छ भनी सुनिश्चित गर्दै विभिन्न आधार सामग्रीहरू सिफारिस गर्छौं। यी सामग्रीहरूमा SUS430 स्टेनलेस स्टील, एल्युमिनियम मिश्र धातु 6061, घने एल्युमिना सिरेमिक (हात्तीको दाँतको रंग), ग्रेनाइट, र घने सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक समावेश छन्।

Al2O3 भ्याकुम चक CMM मापन