SiC कोटको साथ CVD शावर हेड

उच्च शुद्धता ग्रेफाइटबाट निर्मित र CVD विधि मार्फत पातलो SiC तहमा ढाकेको, SiC कोटको साथ CVD शावर हेडले ग्रेफाइट र SiC दुवैको फाइदाजनक विशेषताहरूसँग विवाह गर्छ। यस तालमेलले एउटा घटकमा परिणाम दिन्छ जसले ग्यासहरूको निरन्तर र सही वितरण सुनिश्चित गर्न मात्र होइन तर थर्मल र रासायनिक कठोरताहरू विरुद्ध उल्लेखनीय लचिलोपनको पनि गर्व गर्दछ जुन प्रायः जम्मा गर्ने वातावरणमा सामना गरिन्छ।

SiC कोटको साथ CVD शावर हेडको कार्यक्षमताको कुञ्जी सब्सट्रेट सतहमा पूर्ववर्ती ग्यासहरू समान रूपमा फैलाउनमा यसको निपुणता हो, सब्सट्रेट माथि यसको रणनीतिक स्थान र यसको सतहलाई विरामित गर्ने साना प्वाल वा नोजलहरूको सावधानीपूर्वक डिजाइनद्वारा हासिल गरिएको कार्य। यो समान वितरण निरन्तर निक्षेप परिणामहरू प्राप्त गर्नको लागि निर्णायक छ।

SiC कोटको साथ CVD शावर हेडको लागि कोटिंग सामग्रीको रूपमा SiC को छनौट मनमानी होइन तर यसको उच्च थर्मल चालकता र रासायनिक स्थिरता द्वारा सूचित गरिएको छ। यी गुणहरू जम्मा गर्ने प्रक्रियाको क्रममा तातो संचयलाई कम गर्न र सब्सट्रेट भरि समान तापक्रम कायम राख्नका लागि आवश्यक छ, साथै संक्षारक ग्यासहरू र CVD प्रक्रियाहरू टाइप गर्ने कठोर अवस्थाहरू विरुद्ध बलियो सुरक्षा प्रदान गर्न।

फरक फरक CVD प्रणाली र प्रक्रिया आवश्यकताहरूको विशिष्ट मागहरू पूरा गर्न तयार गरिएको, SiC कोटको साथ CVD शावर हेडको डिजाइनले प्वाल वा स्लटहरूको सावधानीपूर्वक गणना गरिएको एरेसँग समेटिएको प्लेट वा डिस्क आकार समावेश गर्दछ। SiC कोटको डिजाइनको साथ CVD शावर हेडले एकसमान ग्यास वितरण मात्र होइन तर डिपोजिसन प्रक्रियाको लागि आवश्यक इष्टतम प्रवाह दरहरू पनि सुनिश्चित गर्दछ, सामग्री निक्षेप प्रक्रियाहरूमा परिशुद्धता र एकरूपताको खोजीमा कम्पोनेन्टको भूमिकालाई हाइलाइट गर्दै।