फ्यूज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टल

अर्धचालक निर्माणमा, फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलले क्वार्ट्ज डुङ्गाको लागि समर्थन संरचनाको रूपमा कार्य गर्दछ, जसले वेफर्सहरू समात्छ। स्थिर तापमान कायम गरेर, यसले समान पातलो-फिल्म डिपोजिसन प्राप्त गर्न मद्दत गर्दछ, अर्धचालक उपकरणहरूको प्रदर्शन र विश्वसनीयताको लागि एक महत्वपूर्ण कारक। पेडेस्टलले प्रक्रिया कक्ष भित्र थर्मल र प्रकाश वितरण समान छ भनेर सुनिश्चित गर्दछ, जसले गर्दा निक्षेप प्रक्रियाको समग्र गुणस्तर बढाउँछ।

फ्यूज्ड क्वार्ट्ज सामाग्री को लाभ

1. उच्च तापमान प्रतिरोध

फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलले लगभग 1730 डिग्री सेल्सियसको सफ्टनिंग पोइन्टको गर्व गर्दछ, यसले 1100 डिग्री सेल्सियसदेखि 1250 डिग्री सेल्सियससम्मको तापक्रममा लामो समयसम्म प्रयोगको सामना गर्न अनुमति दिन्छ। यसबाहेक, यसले 1450 डिग्री सेल्सियससम्मको तापक्रममा छोटो अवधिको जोखिम सहन सक्छ।

2. जंग प्रतिरोध

फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टल हाइड्रोफ्लोरिक एसिडको अपवाद बाहेक, अधिकांश एसिडहरूमा रासायनिक रूपमा निष्क्रिय हुन्छ। यसको एसिड प्रतिरोध 30 गुणा र स्टेनलेस स्टील 150 गुणाले सिरेमिकको भन्दा बढी छ। उच्च तापमानमा, कुनै अन्य सामग्रीले फ्युज्ड क्वार्ट्जको रासायनिक स्थिरतासँग मेल खाँदैन, यसलाई कठोर रासायनिक वातावरणको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ।

3. थर्मल स्थिरता

फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलको स्ट्यान्डआउट विशेषताहरू मध्ये एक यसको न्यूनतम थर्मल विस्तार गुणांक हो। यो गुणले यसलाई क्र्याक नगरी गम्भीर तापमान परिवर्तनहरू सामना गर्न अनुमति दिन्छ। उदाहरणका लागि, यसलाई द्रुत रूपमा 1100 ° C मा तताउन सकिन्छ र त्यसपछि कोठाको तापक्रममा पानीमा डुबाउन सकिन्छ क्षति बिना नै - उच्च-तनाव निर्माण प्रक्रियाहरूको लागि एक आवश्यक विशेषता।

निर्माण प्रक्रिया

फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलको लागि निर्माण प्रक्रिया उच्चतम गुणस्तर मापदण्डहरू सुनिश्चित गर्न सावधानीपूर्वक नियन्त्रण गरिएको छ। पेडेस्टलहरू 10,000 वा माथिको क्लीनरूम वातावरणमा आयोजित थर्मोफर्मिङ र वेल्डिङ प्रक्रियाहरू मार्फत उत्पादन गरिन्छ। अति शुद्ध पानी (18 MΩ) संग पछि सफाईथप उत्पादनको शुद्धता र प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ। प्रत्येक फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलले अर्धचालक निर्माणको कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न कक्षा 1,000 वा उच्च क्लीनरूममा कठोर निरीक्षण, सफाई, र प्याकेजिङबाट गुज्रिन्छ।

उच्च शुद्धता अपारदर्शी क्वार्ट्ज सामग्री

तातो र प्रकाशलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न, फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलले उच्च शुद्धता अपारदर्शी क्वार्ट्ज सामग्री प्रयोग गर्दछ। यस सामग्रीको अद्वितीय गुणहरूले प्रक्रिया कक्ष भित्र स्थिर र एकसमान तापक्रम कायम राख्न पेडेस्टलको क्षमतालाई बढाउँछ, जसले गर्दा वेफर्समा पातलो-फिल्म जम्माको निरन्तर गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।

अनुप्रयोगहरूको फराकिलो दायरा

फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलको असाधारण गुणहरूले यसलाई अर्धचालक उद्योग भित्र विभिन्न प्रकारका अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त बनाउँदछ। ALD प्रक्रियाहरूमा, यसले परमाणु स्तरमा पातलो फिल्म वृद्धिको सटीक नियन्त्रणलाई समर्थन गर्दछ, उन्नत अर्धचालक उपकरणहरूको उत्पादनको लागि आवश्यक छ। LPCVD प्रक्रियाहरूमा, पेडेस्टलको थर्मल स्थिरता र प्रकाश-अवरोध गर्ने क्षमताहरूले एकसमान फिल्म जम्मा गर्न, उपकरण प्रदर्शन र उपज सुधार गर्न योगदान गर्दछ।

प्रसार प्रक्रियाहरूमा, फ्युज्ड क्वार्ट्ज पेडेस्टलको उच्च-तापमान प्रतिरोध र रासायनिक जडताले अर्धचालक सामग्रीहरूको भरपर्दो र लगातार डोपिङ सुनिश्चित गर्दछ। यी प्रक्रियाहरू अर्धचालक यन्त्रहरूको विद्युतीय गुणहरू परिभाषित गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण छन्, र इष्टतम नतिजाहरू प्राप्त गर्नका लागि फ्युज्ड क्वार्ट्ज जस्ता उच्च गुणस्तरका सामग्रीहरूको प्रयोग आवश्यक छ।