अर्धचालक निर्माणको जटिल इकोसिस्टममा, थर्मल स्थिरता गुणस्तरको आधार हो। सिलिकन कार्बाइड (SiC) इन्गटहरू बढाउँदै वा GaN पावर उपकरणहरूको लागि एपिटेक्सियल तहहरू जम्मा गर्ने, ताप तत्वले पूर्ण सटीकता प्रदान गर्नुपर्छ। हाम्रो ग्रेफाइट हीटरहरू तपाईंको रिएक्टरको भरपर्दो थर्मल कोर हुन इन्जिनियर गरिएको छ, 2,000 डिग्री सेल्सियस सम्म संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्न डिजाइन गरिएको।
1. सामग्री उत्कृष्टता: उच्च-शुद्धता आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट
हीटरको प्रदर्शन यसको सब्सट्रेटबाट सुरु हुन्छ। Semicorex मा, हामी केवल उत्कृष्ट प्रयोग गर्छौंआइसोस्टेटिक ग्रेफाइट, सुनिश्चित गर्न सबै पक्षबाट समान दबाब अन्तर्गत गठन:
- समान विद्युत प्रतिरोध:स्थानीयकृत "हट स्पटहरू" हटाउँछ जसले गैर-एकसमान वेफर वृद्धि निम्त्याउँछ।
- फाइन-ग्रेन संरचना:उत्कृष्ट मेकानिकल बलले सर्पिन पथहरूको जटिल सीएनसी मेसिनिङको लागि अनुमति दिन्छ।
- अति कम खरानी सामग्री:शुद्धिकरण प्रक्रियाहरूले धातुको अशुद्धतालाई <5 ppm मा घटाउँछ, प्रदूषणलाई रोक्छ।
2. थर्मल एकरूपता को लागी ज्यामितीय ईन्जिनियरिङ्
हाम्रो हीटरहरूले पूर्ण रूपमा गोलाकार ताप क्षेत्र सुनिश्चित गर्न गणितीय रूपमा अनुकूलित एक भूलभुलैया प्रतिरोधी पथ फिचर गर्दछ:
- सर्प पथ डिजाइन:द्रुत र सटीक तापमान र्याम्पिङको लागि प्रतिरोध र सतह क्षेत्र बढाउँछ।
- एकीकृत माउन्टिंग आर्म्स:सुरक्षित बिजुली जडानको लागि सटीक-बोर प्वालहरू, कम सम्पर्क प्रतिरोध सुनिश्चित गर्दै।
- थर्मल सममिति:ससेप्टरको ज्यामितिसँग मिलाउन डिजाइन गरिएको, रेडियल तापमान ढाँचाहरू कम गर्दै।
3. उन्नत सुरक्षात्मक कोटिंग्स
सेमिकोरेक्सले आक्रामक रासायनिक वातावरणबाट जोगाउन उन्नत कोटिंग वृद्धिहरू प्रदान गर्दछ:
- CVD SiC कोटिंग:एक हर्मेटिक सील जसले MOCVD वातावरणमा "कार्बन डस्टिङ" र अक्सीकरणलाई रोक्छ।
- CVD TaC कोटिंग:2,000 डिग्री सेल्सियस भन्दा बढि SiC क्रिस्टल वृद्धिको लागि, हाइड्रोजन क्षरणको लागि अतुलनीय प्रतिरोध प्रदान गर्दै।
प्राविधिक प्रदर्शन निर्दिष्टीकरण
| सम्पत्ति | सामान्य मान | औद्योगिक लाभ |
|---|---|---|
| अधिकतम परिचालन तापमान | 2,200 डिग्री सेल्सियस सम्म | सबै SiC/GaN वृद्धि प्रोफाइलहरूलाई समर्थन गर्दछ |
| खरानी सामग्री | < 2 - 5 ppm | डोपेन्ट-स्तर प्रदूषण रोक्छ |
| घनत्व | १.८२ - १.८८ ग्राम/सेमी³ | उच्च मेकानिकल र थर्मल स्थिरता |
| फ्लेक्सरल शक्ति | 50 - 70 MPa | मेकानिकल तनाव र कम्पन को प्रतिरोध |
| थर्मल चालकता | 100 - 130 W/m·K | कुशल र छिटो गर्मी स्थानान्तरण |
सेमीकन्डक्टर फैबमा महत्वपूर्ण अनुप्रयोगहरू
- SiC Ingot ग्रोथ (PVT):उदात्तता चलाउन आवश्यक सटीक ठाडो तापमान ढाँचा प्रदान गर्दै।
- MOCVD र PECVD:III-V कम्पाउन्ड अर्धचालकहरूमा ससेप्टरहरूको लागि प्राथमिक ताप स्रोतको रूपमा सेवा गर्दै।
- उच्च-तापमान एनिलिङ:उच्च-भोल्टेज पावर उपकरणहरूमा डोपन्टहरूको सक्रियताको लागि सफा, भरपर्दो ताप।
प्रत्येक ग्रेफाइट हीटरले तपाईंको विशिष्ट रिएक्टर मोडेलमा पूर्ण फिट सुनिश्चित गर्न 100% CMM आयामी प्रमाणीकरणबाट गुज्र्छ। हामी पूर्ण ट्रेसयोग्यता र सामग्री प्रमाणीकरण प्रदान गर्दछौं, उद्योगको कडा मापदण्डहरूको पालना सुनिश्चित गर्दै। प्रतिरोधी मार्गलाई अप्टिमाइज गरेर, हामी फ्याबहरूलाई चक्र समय घटाउन र प्रति ब्याच "प्राइम ग्रेड" वेफरहरूको संख्या बढाउन मद्दत गर्छौं।
