आधा चन्द्र कम्पोनेन्टहरू

सेमिकोरेक्स हाफ मून कम्पोनेन्टहरू अर्ध-बेलाना वा खण्डित आन्तरिक रिएक्टर संरचनाहरू हुन् जुन सामान्यतया एपिटेक्सियल रिएक्टरहरूमा स्थापित हुन्छन्। तिनीहरूको अद्वितीय ज्यामितिले एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाहरूमा ग्यास वितरण, थर्मल व्यवस्थापन, वेफर स्थिति, र च्याम्बर सुरक्षालाई अनुकूलन गर्न मद्दत गर्दछ।

देखाइएको उत्पादनले एकीकृत आन्तरिक समर्थन ज्यामितिको साथ सटीक-मेसिन गरिएको बेलनाकार संरचनाको सुविधा दिन्छ, विशेष गरी LPE-शैली च्याम्बर कन्फिगरेसनहरू फिट गर्न डिजाइन गरिएको। यी कम्पोनेन्टहरू सामान्यतया उच्च शुद्धता ग्रेफाइटबाट निर्मित हुन्छन् र स्थायित्व, शुद्धता र रासायनिक प्रतिरोध सुधार गर्न उन्नत CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग्सद्वारा सुरक्षित गर्न सकिन्छ।

एपिटेक्सियल रिएक्टरहरूमा, कम्पोनेन्ट स्थिरता र सरसफाइले प्रत्यक्ष रूपमा फिल्म एकरूपता, क्रिस्टल गुणस्तर, र वेफर उत्पादनलाई असर गर्छ। तसर्थ, रिएक्टर भित्रीहरूले आक्रामक रासायनिक वातावरण, द्रुत थर्मल साइकल चलाउने, र विरूपण वा प्रदूषण बिना लामो समयसम्म उच्च-तापमान सञ्चालनको सामना गर्नुपर्छ।

एलपीई-शैली चेम्बरहरूसँग मिल्दो रिएक्टर भागहरू

Semicorex ले एलपीई एपिटेक्सियल प्रणालीहरूसँग मिल्दो धेरै रिएक्टर भागहरू निर्माण गर्दछ, जसमा:

* हाफमुन भागहरू

* सुरक्षा कभरहरू

* प्रवाह गाइड भागहरू

* वेफर समर्थन भागहरू

* शिल्डिंग घण्टीहरू

* अनुकूलन ग्रेफाइट सम्मेलनहरू

सबै कम्पोनेन्टहरू रिएक्टर आयामहरू, प्रक्रिया अवस्थाहरू, र ग्राहक-विशेष डिजाइन आवश्यकताहरू अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।

हाफ मून कम्पोनेन्टका मुख्य विशेषताहरू

उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आधार सामग्री

रिएक्टर कम्पोनेन्टहरू उच्च घनत्व, उच्च शुद्धता प्रयोग गरेर निर्माण गरिन्छisostatic ग्रेफाइट सामग्रीसेमीकन्डक्टर अनुप्रयोगहरूको लागि विशेष रूपमा चयन गरिएको। कम अशुद्धता सामग्रीले एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाहरूमा प्रदूषण जोखिम कम गर्न मद्दत गर्दछ।

उच्च शुद्धता सामग्रीहरू कायम राख्न आवश्यक छ:

* स्थिर क्रिस्टल वृद्धि

* एकसमान एपिटेक्सियल तहहरू

* कम दोष घनत्व

* सेमीकन्डक्टर-ग्रेड सफाई

उन्नत SiC कोटिंग संरक्षण

माग गर्ने प्रक्रिया वातावरणको लागि, ग्रेफाइट सब्सट्रेट घना संग लेपित गर्न सकिन्छCVD सिलिकन कार्बाइड। SiC कोटिंगले उत्कृष्ट आसंजन र रासायनिक स्थिरताको साथ उच्च सुरक्षात्मक सतह तह बनाउँछ।

SiC कोटिंग प्रदान गर्दछ:

* सुपीरियर जंग प्रतिरोध

* कम कण उत्पादन

* सुधारिएको पहिरन प्रतिरोध

* परिष्कृत ओक्सीकरण प्रतिरोध

* लामो सेवा जीवन

कोटिंगले ग्रेफाइट सब्सट्रेटलाई प्रक्रिया ग्यासहरू र आक्रामक सफाई रसायनहरूबाट पनि बचाउँछ।

उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता

हाफ मून कम्पोनेन्टहरू उच्च-तापमान एपिटाक्सियल रिएक्टरहरूमा काम गर्छन् जहाँ थर्मल स्थिरता महत्त्वपूर्ण हुन्छ। ग्रेफाइट र SiC सामग्रीहरूले उत्कृष्ट थर्मल चालकता र थर्मल झटका प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, द्रुत ताप र शीतलन चक्रहरूमा स्थिर चेम्बर अवस्थाहरू कायम राख्न मद्दत गर्दछ।

उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन योगदान गर्दछ:

* समान तापमान वितरण

* कम थर्मल तनाव

* स्थिर प्रक्रिया पुनरावृत्ति

* सुधारिएको epitaxial तह स्थिरता

सटीक मेसिन क्षमता

सेमिकोरेक्सले कडा आयामी सहिष्णुता र जटिल आन्तरिक संरचनाहरू प्राप्त गर्न उन्नत सीएनसी मेसिन र सटीक उत्पादन प्रविधिहरू प्रयोग गर्दछ।

सटीक मेसिनले सुनिश्चित गर्दछ:

* उचित रिएक्टर फिटमेन्ट

* स्थिर ग्याँस प्रवाह नियन्त्रण

* भरपर्दो वेफर स्थिति

* लगातार चेम्बर प्रदर्शन

जटिल अनुकूलित ज्यामितिहरू पनि विशिष्ट रिएक्टर डिजाइन अनुसार उत्पादन गर्न सकिन्छ।

बलियो रासायनिक प्रतिरोध

एपिटेक्सियल प्रक्रियाहरूमा प्रायः संक्षारक ग्याँसहरू र कठोर परिचालन अवस्थाहरू समावेश हुन्छन्। SiC-लेपित रिएक्टर घटकहरूले उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ:

* हाइड्रोजन

* क्लोरिन युक्त ग्यासहरू

* एसिड सफा गर्ने रसायनहरू

* उच्च-तापमान ओक्सीकरण

यो रासायनिक स्थायित्वले कम्पोनेन्टको आयु बढाउँछ र मर्मत आवृत्ति घटाउँछ।

एपिटेक्सियल ग्रोथ सिस्टमहरूमा अनुप्रयोगहरू

अर्धचालक निर्माण अनुप्रयोगहरूको लागि उन्नत एपिटेक्सियल प्रशोधन उपकरणहरूमा हाफ मून कम्पोनेन्टहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा:

* सिलिकन एपिटेक्सी

* SiC epitaxial वृद्धि

* GaN एपिटेक्सी

* पावर अर्धचालक निर्माण

* एलईडी उत्पादन

* उन्नत वेफर प्रशोधन

* उच्च-तापमान CVD प्रणालीहरू

रिएक्टर च्याम्बर भित्र, यी घटकहरूले ग्यास प्रवाह गतिशीलता अनुकूलन गर्न, प्रक्रिया एकरूपता कायम राख्न, र थर्मल र रासायनिक क्षतिबाट महत्वपूर्ण चेम्बर क्षेत्रहरूलाई जोगाउन मद्दत गर्दछ।

किन Semicorex छान्नुहोस्?

सेमिकोरेक्स अर्धचालक र उच्च-तापमान औद्योगिक अनुप्रयोगहरूको लागि उन्नत ग्रेफाइट र सिलिकन कार्बाइड समाधानहरूमा केन्द्रित छ। एपिटेक्सियल रिएक्टर कम्पोनेन्टहरूमा व्यापक अनुभवको साथ, हामी दीर्घकालीन विश्वसनीयता र अर्धचालक-ग्रेड प्रदर्शनको लागि डिजाइन गरिएको सटीक-इन्जिनियर उत्पादनहरू प्रदान गर्दछौं।

हाम्रा फाइदाहरू समावेश छन्:

* उच्च शुद्धता कच्चा माल

* उन्नत SiC कोटिंग प्रविधि

* सटीक मेसिनिंग क्षमता

* अनुकूलन ईन्जिनियरिङ् समर्थन

* सख्त गुणस्तर नियन्त्रण

* विश्वव्यापी आपूर्ति क्षमता

अनुकूलित निर्माण समाधानहरूसँग उन्नत सामग्री विशेषज्ञताको संयोजन गरेर, Semicorex ले अर्को पुस्ताको अर्धचालक प्रविधिहरूको लागि स्थिर र कुशल एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाहरू प्राप्त गर्न विश्वव्यापी रूपमा ग्राहकहरूलाई समर्थन गर्दछ।