ग्रेफाइट एपिटेक्सी र वेफर ह्यान्डलिंग प्रक्रियाको लागि उत्तम, सेमिकोरेक्स अल्ट्रा-प्योर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन एपिटेक्सियल ससेप्टरले न्यूनतम प्रदूषण सुनिश्चित गर्दछ र असाधारण रूपमा लामो जीवन प्रदर्शन प्रदान गर्दछ। हाम्रा उत्पादनहरूको मूल्यमा राम्रो फाइदा छ र यसले धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor उच्च शुद्ध SiC लेपित ग्रेफाइट उत्पादन हो, जसमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध छ। CVD सिलिकन कार्बाइड लेपित वाहक प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ जुन अर्धचालक वेफर्समा एपिटेक्सियल तह बनाउँछ, जसमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।
हाम्रो मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन एपिटेक्सियल ससेप्टरलाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै उत्कृष्ट लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
हाम्रो मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन एपिटेक्सियल ससेप्टरको बारेमा थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन एपिटेक्सियल ससेप्टरको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
¼m |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन एपिटेक्सियल ससेप्टरका विशेषताहरू
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा राम्रो घनत्व छ र उच्च तापक्रम र संक्षारक कार्य वातावरणमा राम्रो सुरक्षात्मक भूमिका खेल्न सक्छ।
- सिलिकन कार्बाइड लेपित ससेप्टर एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको धेरै उच्च सतह समतलता छ।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता घटाउनुहोस्, क्र्याकिंग र डेलामिनेशन रोक्नको लागि बन्डिङ बललाई प्रभावकारी रूपमा सुधार गर्नुहोस्।
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।
- उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध।