वेफर उत्पादन

प्रविधिको विकाससँगै माग बढ्दै गएको छवेफर्सबढ्न जारी छ। हाल, घरेलु बजारमा सिलिकन वेफर्सको मुख्यधारा आकारहरू 100mm, 150mm, र 200mm छन्। सिलिकन को व्यास बढ्दैवेफर्सप्रत्येक चिपको निर्माण लागत घटाउन सक्छ, जसले 300mm सिलिकन वेफर्सको बढ्दो मागलाई निम्त्याउँछ। यद्यपि, ठूला व्यासहरूले मुख्य मापदण्डहरूमा पनि कडा आवश्यकताहरू लागू गर्दछ, जस्तै वेफर सतह समतलता, ट्रेस अशुद्धता नियन्त्रण, आन्तरिक दोषहरू, र अक्सिजन सामग्री। फलस्वरूप, वेफर निर्माण चिप उत्पादन मा अनुसन्धान को एक प्राथमिक फोकस भएको छ।

वेफर निर्माणमा जान अघि, अन्तर्निहित क्रिस्टल संरचना बुझ्न आवश्यक छ।

सामग्रीको आन्तरिक आणविक संगठनमा भिन्नता तिनीहरूको बीच भेद गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण कारक हो। सिलिकन र जर्मेनियम जस्ता क्रिस्टलीय सामग्रीहरूमा एक निश्चित आवधिक संरचनामा परमाणुहरू व्यवस्थित हुन्छन्, जबकि गैर-क्रिस्टलाइन सामग्रीहरू, जस्तै प्लास्टिक, यो क्रमबद्ध व्यवस्थाको अभाव हुन्छ। सिलिकन यसको अद्वितीय संरचना, अनुकूल रासायनिक गुणहरू, प्राकृतिक प्रचुरता र अन्य फाइदाहरूको कारण वेफर्सको लागि प्राथमिक सामग्रीको रूपमा देखा परेको छ।

क्रिस्टलीय सामग्रीमा परमाणु संगठनको दुई स्तरहरू छन्। पहिलो स्तर व्यक्तिगत परमाणुहरूको संरचना हो, एक एकाइ सेल बनाउँछ जुन आवधिक रूपमा क्रिस्टल भर दोहोर्याइएको छ। दोस्रो स्तरले यी एकाइ कक्षहरूको समग्र व्यवस्थालाई बुझाउँछ, जसलाई जाली संरचना भनिन्छ, जहाँ परमाणुहरूले जाली भित्र विशिष्ट स्थानहरू ओगटेका छन्। एकाइ सेलमा परमाणुहरूको संख्या, तिनीहरूको सापेक्ष स्थिति, र तिनीहरू बीचको बाध्यकारी ऊर्जाले सामग्रीको विभिन्न गुणहरू निर्धारण गर्दछ। सिलिकन क्रिस्टल संरचनालाई डायमण्ड संरचनाको रूपमा वर्गीकृत गरिएको छ, अनुहार-केन्द्रित क्यूबिक जालीका दुई सेटहरू विकर्ण लम्बाइको एक चौथाईले विकर्णको साथ अफसेट हुन्छन्।

क्रिस्टलहरूमा आवधिकता र सममितिका विशेषताहरूले सार्वभौमिक त्रि-आयामी आयताकार समन्वय प्रणाली प्रयोग गर्नुको सट्टा परमाणुहरूको स्थितिहरू वर्णन गर्नको लागि सरल विधि आवश्यक छ। यसको जालीको आवधिकताको आधारमा क्रिस्टलमा परमाणु वितरणलाई अझ राम्रोसँग वर्णन गर्न, हामी तीन मार्गदर्शक सिद्धान्तहरू अनुसार एक एकाइ सेल चयन गर्छौं। यो एकाइ सेलले क्रिस्टलको आवधिकता र सममितिलाई प्रभावकारी रूपमा प्रतिबिम्बित गर्दछ र सबैभन्दा सानो दोहोरिने एकाइको रूपमा कार्य गर्दछ। एक पटक एकाइ सेल भित्र परमाणु समन्वयहरू निर्धारित भएपछि, हामी सजिलै संग सम्पूर्ण क्रिस्टल भर कणहरूको सापेक्ष स्थिति अनुमान गर्न सक्छौं। एकाइ सेलको तीन किनारा भेक्टरहरूमा आधारित समन्वय प्रणाली स्थापना गरेर, हामी क्रिस्टल संरचनालाई महत्त्वपूर्ण रूपमा वर्णन गर्ने प्रक्रियालाई सरल बनाउन सक्छौं।

क्रिस्टल प्लेनलाई क्रिस्टल भित्र परमाणुहरू, आयनहरू, वा अणुहरूको व्यवस्थाद्वारा बनेको समतल सतहको रूपमा परिभाषित गरिएको छ। यसको विपरीत, एक क्रिस्टल दिशाले यी परमाणु व्यवस्थाहरूको एक विशिष्ट अभिविन्यासलाई जनाउँछ।

क्रिस्टल प्लेनहरू मिलर सूचकांकहरू प्रयोग गरेर प्रतिनिधित्व गरिन्छ। सामान्यतया, कोष्ठक () ले क्रिस्टल समतलहरू, वर्ग कोष्ठकहरू [] क्रिस्टल दिशाहरू, कोण कोष्ठकहरू <> क्रिस्टल दिशाहरूको परिवारलाई जनाउँछ, र घुमाउरो कोष्ठकहरूले {} क्रिस्टल विमानहरूको परिवारहरूलाई जनाउँछ। अर्धचालक निर्माणमा, सिलिकन वेफर्सका लागि सबैभन्दा बढी प्रयोग हुने क्रिस्टल विमानहरू (100), (110), र (111) हुन्। प्रत्येक क्रिस्टल विमानमा अद्वितीय विशेषताहरू छन्, तिनीहरूलाई विभिन्न उत्पादन प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त बनाउँछ।

उदाहरणका लागि, (100) क्रिस्टल विमानहरू मुख्यतया MOS उपकरणहरूको निर्माणमा प्रयोग गरिन्छ तिनीहरूको अनुकूल सतह गुणहरूको कारण, जसले थ्रेसहोल्ड भोल्टेजमा नियन्त्रणलाई सुविधा दिन्छ। थप रूपमा, (100) क्रिस्टल प्लेनहरू भएका वेफर्सहरू प्रशोधनको क्रममा ह्यान्डल गर्न सजिलो हुन्छन् र तुलनात्मक रूपमा समतल सतहहरू हुन्छन्, जसले तिनीहरूलाई ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किटहरू उत्पादन गर्नका लागि आदर्श बनाउँदछ। यसको विपरित, (111) क्रिस्टल विमानहरू, जसमा उच्च परमाणु घनत्व र कम वृद्धि लागतहरू छन्, प्रायः द्विध्रुवी उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ। यी विमानहरू बीज क्रिस्टलको उपयुक्त दिशा चयन गरेर वृद्धि प्रक्रियाको क्रममा क्रिस्टल दिशालाई सावधानीपूर्वक व्यवस्थापन गरेर प्राप्त गर्न सकिन्छ।

(100) क्रिस्टल समतल Y-Z अक्षसँग समानान्तर छ र X-अक्षलाई एकाइ मान 1 भएको बिन्दुमा काट्छ। (110) क्रिस्टल प्लेनले X र Y अक्षहरूलाई छेउछ, जबकि (111) क्रिस्टल प्लेनले छेउछ। सबै तीन अक्षहरू: X, Y, र Z।

संरचनात्मक परिप्रेक्ष्यमा, (100) क्रिस्टल प्लेनले वर्गाकार आकार बनाउँछ, जबकि (111) क्रिस्टल प्लेनले त्रिकोणीय आकार लिन्छ। विभिन्न क्रिस्टल प्लेनहरू बीचको संरचनामा भिन्नताका कारण, वेफर ब्रेक गर्ने तरिका पनि फरक हुन्छ। <100> तिर उन्मुख वेफर्सहरू वर्गाकार आकारहरूमा टुक्रने वा दायाँ कोण (90°) मा ब्रेकहरू सिर्जना गर्ने प्रवृत्ति हुन्छ, जबकि <111> तिर उन्मुख भएकाहरू त्रिकोणीय टुक्राहरूमा विभाजित हुन्छन्।

क्रिस्टलको आन्तरिक संरचनासँग सम्बन्धित अद्वितीय रासायनिक, विद्युतीय र भौतिक गुणहरूलाई ध्यानमा राख्दै, वेफरको विशिष्ट क्रिस्टल अभिविन्यासले यसको समग्र कार्यसम्पादनमा उल्लेखनीय प्रभाव पार्छ। फलस्वरूप, तयारी प्रक्रियाको क्रममा क्रिस्टल अभिमुखीकरणमा कडा नियन्त्रण कायम राख्न महत्त्वपूर्ण छ।

Semicorex उच्च गुणस्तर प्रदान गर्दछअर्धचालक वेफर्स। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com