किन SiC-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरहरू छनौट गर्ने?

ग्रेफाइट ससेप्टरMOCVD उपकरणमा आवश्यक भागहरू मध्ये एक हो, वेफर सब्सट्रेटको क्यारियर र हीटर हो। यसको थर्मल स्थिरता र थर्मल एकरूपताको गुणहरूले वेफर एपिटेक्सियल वृद्धिको गुणस्तरमा निर्णायक भूमिका खेल्छ, जसले लेयर सामग्रीको एकरूपता र शुद्धतालाई प्रत्यक्ष रूपमा निर्धारण गर्दछ, फलस्वरूप यसको गुणस्तरले एपिटेक्सीको तयारीलाई प्रत्यक्ष असर गर्छ। यस बीचमा, प्रयोगको संख्यामा वृद्धि र काम गर्ने अवस्थाहरूमा परिवर्तनको साथ, यो गुमाउन धेरै सजिलो छ, र उपभोग्य वस्तुहरूको हो। ग्रेफाइटको उत्कृष्ट थर्मल चालकता र स्थिरताले यसलाई राम्रो फाइदाको रूपमा बनाउँछMOCVD उपकरणको लागि आधार घटक। यद्यपि, यदि शुद्ध ग्रेफाइट मात्र प्रयोग गरियो भने, यसले केही समस्याहरूको सामना गर्नेछ। उत्पादन प्रक्रियामा संक्षारक ग्यास र धातुको जैविक अवशेषहरू हुनेछन्, र ग्रेफाइट आधारले पाउडरलाई सड्नेछ र छोड्नेछ, जसले यसको सेवा जीवनलाई धेरै हदसम्म कम गर्दछ।ग्रेफाइट संवेदक, र खसेको ग्रेफाइट पाउडरले पनि चिपमा प्रदूषण निम्त्याउँछ, त्यसैले आधारको तयारी प्रक्रियामा पनि आधार तयार गर्दा यी समस्याहरू समाधान गर्न आवश्यक छ। कोटिंग टेक्नोलोजीले सतह पाउडर फिक्सेसन प्रदान गर्न सक्छ, थर्मल चालकता बढाउन सक्छ, र थर्मल वितरणलाई समान बनाउन सक्छ, जुन यो समस्या समाधान गर्न मुख्य प्रविधि बन्न सक्छ। मुख्य प्रविधि यो समस्या समाधान गर्न छ। आवेदन वातावरण र आवश्यकता अनुसारग्रेफाइट susceptors, सतह कोटिंग निम्न विशेषताहरु हुनुपर्छ।

उच्च घनत्व र पूर्ण र्‍यापिङ: समग्र रूपमा ग्रेफाइट आधार उच्च तापक्रम, संक्षारक कार्य वातावरणमा छ, सतह पूर्ण रूपमा बेरिएको हुनुपर्छ, जबकि कोटिंगमा राम्रो सुरक्षात्मक भूमिका खेल्नको लागि राम्रो घनत्व हुनुपर्छ।

राम्रो सतह समतलता: एकल क्रिस्टलको वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको ग्रेफाइट आधारको लागि धेरै उच्च सतह समतलता चाहिन्छ, कोटिंग तयार भएपछि आधारको मूल समतलता कायम राख्नुपर्छ, अर्थात् कोटिंग सतह एकरूप हुनुपर्छ।

राम्रो बन्धन बल: ग्रेफाइट आधार र कोटिंग सामग्री बीचको थर्मल विस्तार गुणांकको भिन्नतालाई कम गर्नाले तिनीहरू बीचको बन्धन बललाई प्रभावकारी रूपमा सुधार गर्न सक्छ, र उच्च र कम तापक्रम थर्मल चक्र पछि कोटिंग क्र्याक गर्न सजिलो छैन।

उच्च थर्मल चालकता: उच्च गुणस्तरको चिप बृद्धिको लागि ग्रेफाइट आधारबाट छिटो र समान ताप चाहिन्छ, त्यसैले कोटिंग सामग्रीमा उच्च थर्मल चालकता हुनुपर्छ।

उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण र जंग प्रतिरोध: कोटिंग उच्च तापमान र संक्षारक काम गर्ने वातावरणमा स्थिर रूपमा काम गर्न सक्षम हुनुपर्छ।