सिरेमिक हेटर्स

अर्धन्डुनिक निर्माणको फ्रन्ट-अन्त्य प्रक्रिया (फेलो) मावेर्मविभिन्न प्रक्रिया उपचारको अधीनमा हुनुपर्दछ, विशेष गरी वेफरलाई एक निश्चित तापक्रममा तिता हुनु आवश्यक छ, र त्यहाँ कडा आवश्यकताहरू छन्, किनकि तापक्रमको एकरूपता छ। उहि समयमा, सेमिडीन्डरकक्टर उपकरणले भ्याकुमा, प्लाज्मा र रासायनिक ग्याँसहरूको उपस्थितिमा काम गर्नु पर्छ, जुन सिडमेट हीटरहरूको प्रयोग चाहिन्छ।सिरेमिक हेटर्सअर्ध मन्की फिल्टर फिल्म जम्मा उपकरणका महत्वपूर्ण कम्पोनेन्टहरू हुन्। तिनीहरू प्रक्रियाको कोठामा प्रयोग गरीन्छ र सजिलैसँग स्टार्ट गर्न वाफरलाई सम्पर्क गर्न र वेफरलाई स्टाइबल र वर्दी प्रक्रिया तापमान प्राप्त गर्न र वेफर को सतह प्राप्त गर्न को लागी कम सटीक को सतह को सतह को साथ स्वीकार गर्न को लागी।

किनकि सिरामिक हेटरहरूले प्रयोग गरेको पातलो फिल्म जम्मा उपकरणहरू, मुख्य तापक्रममा मुख्यतया एल्युमिनियम नाइट्रिड (एलएन) सामान्यतया प्रयोग गरिन्छ। किनभने एल्युमिनियम नाइट्रिडसँग इलेक्ट्रिकल इन्सुलेशन र उत्कृष्ट थर्मल संकुचित छ; थप रूपमा, यसको थर्मल विस्तार गुणांक सिलिकसको नजिक छ, र यसमा उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोधको प्रयोगमा धेरै उपयुक्त छ, यो एक अर्धन्डुनिक उपकरण कम्पोनेन्टको रूपमा प्रयोग गर्न को लागी उपयुक्त छ।

इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू (ESCS) मुख्यतया ईचिंग उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ, मुख्यतया एल्युमिनियम अक्साइड (AL2O3)। इलेक्ट्रोस्टेटिक चोक आफैंले एक हीटर पनि समावेश गरेकोले, एक उदाहरणको रूपमा सुख्खा एन्टिंग गर्दै -700 ℃ 100 को दायरामा एक विशिष्ट तापमानमा वाफर नियन्त्रण गर्न आवश्यक छ। तसर्थ, वेफरलाई तातो वा विनियोजन गरिएको इलेक्ट्रोस्टेटिक चक द्वारा अपरिवर्तनीय वा विनियोजन गर्न वाफरल तापमान नियन्त्रण गर्न आवश्यक छ। थप रूपमा, वेफर सतहको एकरूपता सुनिश्चित गर्न, प्रलोस्तिकमा प्रलोभन चोकले प्रक्रियाको उत्पादनलाई सुधार गर्नको लागि तापमान नियन्त्रण क्षेत्र बढाउनु पर्छ। निस्सन्देह, टेक्नोलोजी विकासका साथ, परम्परागत सिरामिक हटरर र इलेक्ट्रोस्टिक चकहरू धमिलो हुन थाल्यो। केही सिरेमिक हेटररहरूले उच्च-तापमान हीटिंग र इलेक्ट्रोस्टेटिक एडमानको दोहोरो प्रकार्यहरू छन्।

सिडमिक हिउँले एक सिरेमिक आधार समावेश गर्दछ जुन वेन वा वेतनप्राइज र एक बेलनाकार समर्थन शरीर जसले यसलाई पछाडि समर्थन गर्दछ। भित्र वा सिरेमिक बेस भित्रको सतहको सतहमा, तताउनेका लागि प्रतिरोध तत्व (लेयूट लेयर) बाहेक, त्यहाँ रेडियो फ्रिक्वेन्सी इलेक्ट्रोड (रेडियो आवृत्ति लेड्रड) पनि छ। र्याट तटैत र चिसो प्राप्त गर्नको लागि सिरेमिकको चरणको मोटाई पातलो हुनुपर्दछ, तर धेरै पातलोहरूले कठोरता कम गर्नेछन्। हीरको समर्थन निकाय भनेको सामान्यतया आधारमा थर्मल विस्तार गुणांकको साथ एक सामग्री हो, त्यसैले समर्थन शरीर प्राय: एल्युमिनिनम नाइट्रिडमबाट बनेको हुन्छ। हीभरले शाफ्ट (शाफ्ट) संयुक्तको अनौंठो संरचनाहरू अपनाउँछ (शाफ्ट) संयुक्त रूपमा, जसले टर्मिनल र तारहरूलाई प्लाज्मा र प्रतिरोधको रसायनिक ग्याँसको प्रभावबाट बचाउन सक्छ। एक गर्मी सेटिंग ग्यास इनलेट र आउटलेट पाइपलाई हीटर को एक समान तापमान सुनिश्चित गर्न समर्थन शरीरमा प्रदान गरिएको छ। आधार र समर्थन शरीर रसायन गरीएको लेनरीको साथ बन्धन।

सेमीरेटेडले उच्च-गुणवत्ता प्रदान गर्दछसिरेमिक हेटर्स। यदि तपाईंसँग कुनै प्रश्नहरू सोधपुछ वा थप विवरणहरू आवश्यक छ भने, कृपया हामीसँग सम्पर्कमा नकच्नुहोस्।

सम्पर्क फोन # +---1655678689191907

ईमेल: बिक्री @.silrorex.com