ड्राई इचिङका लागि सिलिकन कम्पोनेन्टहरू

सुक्खा नक्काशी उपकरणहरू नक्काशीको लागि कुनै भिजेको रसायन प्रयोग गर्दैन। यसले मुख्यतया सानो प्वालहरू भएको माथिल्लो इलेक्ट्रोडको माध्यमबाट च्याम्बरमा ग्यासयुक्त एचेन्ट परिचय गराउँछ। माथिल्लो र तल्लो इलेक्ट्रोडहरू द्वारा उत्पन्न विद्युतीय क्षेत्रले ग्यास इचेन्टलाई आयनाइज गर्दछ, जसले त्यसपछि वेफरमा नक्काशी हुने सामग्रीसँग प्रतिक्रिया गर्दछ, अस्थिर पदार्थहरू उत्पादन गर्दछ। यी वाष्पशील पदार्थहरू त्यसपछि प्रतिक्रिया कक्षबाट निकालिन्छन्, नक्काशी प्रक्रिया पूरा गर्दै।

सुक्खा नक्काशी प्रतिक्रिया प्रक्रिया कक्ष भित्र हुन्छ, जसमा मुख्य रूपमा समावेश हुन्छसिलिकन घटक, एक सिलिकन निकास रिंग, एक सिलिकन बाहिरी रिंग, एक सिलिकन शावरहेड, एक सिलिकन फोकस औंठी, र एक सिलिकन ढाल औंठी सहित।

उदाहरणको रूपमा वेफरको वरिपरि फोकस रिंगलाई लिएर, क्वार्ट्ज, यसको उच्च शुद्धताको साथ, कम धातु प्रदूषण प्राप्त गर्नको लागि इष्टतम छ, यो फ्लोराइड ग्याँस प्लाज्मामा द्रुत रूपमा क्षरण हुन्छ, परिणामस्वरूप छोटो आयु हुन्छ। यसले लागत मात्र बढाउँदैन तर प्रतिस्थापनको कारणले डाउनटाइम पनि चाहिन्छ, उपकरणको अपटाइम घटाउँछ। सिरेमिक, पर्याप्त लामो आयु भएको बेला, उच्च-ऊर्जा आयन बमबारीमा पर्दाफास हुन्छ। स्पटर गरिएको एल्युमिनियमले प्लाज्मामा फ्लोरिनसँग प्रतिक्रिया गरेर गैर-वाष्पशील फ्लोराइडहरू (जस्तै एल्युमिनियम फ्लोराइड) बनाउँछ। यदि यी हटाउन र उपकरण सतह वा वेफर किनारामा फोटोरेसिस्टमा जम्मा गर्न सकिँदैन भने, तिनीहरूले उत्पन्न फ्लोराइड र फोटोरेसिस्टलाई पछि हटाउन बाधा पुर्‍याउँछन्, जसले उत्पादनको उपजलाई असर गर्छ। अधिक उपयुक्त सामग्री एकल-क्रिस्टल सिलिकन वा सिलिकन कार्बाइड हुन्। यद्यपि, एकल-क्रिस्टल सिलिकन सस्तो छ तर यसको आयु छोटो छ, जबकि सिलिकन कार्बाइड महँगो छ तर थोरै लामो आयु छ। यी दुई विकल्पहरू बीचको व्यापार-अफ विशिष्ट परिस्थितिहरूमा निर्भर गर्दछ। उदाहरण को लागी, यदि उपकरण उपयोग उच्च छ र अपटाइम महत्वपूर्ण छ भने, सिलिकन कार्बाइड प्रयोग गरिनु पर्छ। यदि कम्पोनेन्टको पहिरन र आँसु लागत धेरै उच्च छैन भने, एकल-क्रिस्टल सिलिकन प्रयोग गर्नुपर्छ।

यो खण्डले विशेष रूपमा सिलिकन फोकस गर्ने औंठी (तल्लो इलेक्ट्रोड) को भूमिका व्याख्या गर्दछ। यसले प्लाज्मा म्यानको मोटाईलाई नियन्त्रण गर्दछ, जसले गर्दा आयन बमबारीको एकरूपतालाई अनुकूलन गर्दछ। प्लाज्मा म्यान, प्लाज्मा र पोत पर्खाल बीचको गैर-तटस्थ क्षेत्र, प्लाज्मा भित्र एक महत्वपूर्ण र अद्वितीय क्षेत्र हो। प्लाज्मामा बराबर संख्यामा सकारात्मक आयन र इलेक्ट्रोनहरू हुन्छन्। किनभने इलेक्ट्रोनहरू आयनहरू भन्दा छिटो यात्रा गर्छन्, तिनीहरू पहिले जहाजको पर्खालमा पुग्छन्। प्लाज्मा पोत भित्ता सापेक्ष सकारात्मक चार्ज छ। म्यान बिजुली क्षेत्रले प्लाज्मा (सकारात्मक-नकारात्मक आकर्षण) भित्र आयनहरूलाई गति दिन्छ, आयनहरूलाई उच्च ऊर्जा प्रदान गर्दछ। यो उच्च-ऊर्जा आयन फ्लक्सले कोटिंग, नक्काशी, र स्पटरिङ सक्षम गर्दछ।

वेफरको प्रतिबाधाले प्लाज्मा म्यानको मोटाईलाई असर गर्छ (प्रतिबाधा जति कम हुन्छ, म्यान जति गाढा हुन्छ)। वेफरको केन्द्रमा रहेको प्रतिबाधा किनारामा रहेको भन्दा फरक छ, परिणामस्वरूप किनारामा असमान प्लाज्मा म्यान मोटाई हुन्छ। यो असमान प्लाज्मा म्यानले आयनलाई गति दिन्छ तर आयन बमबारी बिन्दुलाई पनि विचलित गर्दछ, नक्काशी शुद्धता कम गर्दछ। तसर्थ, प्लाज्मा म्यान मोटाई नियन्त्रण गर्न फोकस गर्ने औंठी आवश्यक छ, यसरी आयन बमबारी दिशालाई अनुकूलन गर्न र नक्काशी शुद्धता सुधार गर्न।

उदाहरणको रूपमा वेफरको वरिपरि फोकस रिंगलाई लिएर, क्वार्ट्ज, यसको उच्च शुद्धताको साथ, कम धातु प्रदूषण प्राप्त गर्नको लागि इष्टतम छ, यो फ्लोराइड ग्याँस प्लाज्मामा द्रुत रूपमा क्षरण हुन्छ, परिणामस्वरूप छोटो आयु हुन्छ। यसले लागत मात्र बढाउँदैन तर प्रतिस्थापनको कारणले डाउनटाइम पनि चाहिन्छ, उपकरणको अपटाइम घटाउँछ। सिरेमिक, पर्याप्त लामो आयु भएको बेला, उच्च-ऊर्जा आयन बमबारीमा पर्दाफास हुन्छ। स्पटर गरिएको एल्युमिनियमले प्लाज्मामा फ्लोरिनसँग प्रतिक्रिया गरेर गैर-वाष्पशील फ्लोराइडहरू (जस्तै एल्युमिनियम फ्लोराइड) बनाउँछ। यदि यी हटाउन र उपकरण सतह वा वेफर किनारामा फोटोरेसिस्टमा जम्मा गर्न सकिँदैन भने, तिनीहरूले उत्पन्न फ्लोराइड र फोटोरेसिस्टलाई पछि हटाउन बाधा पुर्‍याउँछन्, जसले उत्पादनको उपजलाई असर गर्छ। अधिक उपयुक्त सामग्री एकल-क्रिस्टल सिलिकन वा सिलिकन कार्बाइड हुन्। यद्यपि, एकल-क्रिस्टल सिलिकन सस्तो छ तर यसको आयु छोटो छ, जबकि सिलिकन कार्बाइड महँगो छ तर थोरै लामो आयु छ। यी दुई विकल्पहरू बीचको व्यापार-अफ विशिष्ट परिस्थितिहरूमा निर्भर गर्दछ। उदाहरण को लागी, यदि उपकरण उपयोग उच्च छ र अपटाइम महत्वपूर्ण छ भने, सिलिकन कार्बाइड प्रयोग गरिनु पर्छ। यदि कम्पोनेन्टको पहिरन र आँसु लागत धेरै उच्च छैन भने, एकल-क्रिस्टल सिलिकन प्रयोग गर्नुपर्छ।

Semicorex उच्च गुणस्तर प्रदान गर्दछसिलिकन भागहरू। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com