उच्च-अन्त इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको लागि सतह उपचार

दइलेक्ट्रोस्टेटिक चकसेमीकन्डक्टर निर्माणको क्षेत्रमा समान इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्ज, गर्मी प्रवाह र वेफर शोषण र फिक्सेसन जस्ता धेरै कार्यहरू गर्दछ। ESC को मुख्य कार्यहरू मध्ये एक भनेको उच्च भ्याकुम, बलियो प्लाज्मा, र फराकिलो तापक्रम दायरा जस्ता चरम अपरेटिङ अवस्थाहरूमा वेफर्सहरूलाई स्थिर रूपमा सोख्नु हो।

वास्तवमा तिनीहरूको कार्यसम्पादन बाह्य संरचना वा आधार सामग्री सूत्र होइन, तर सतह उपचार प्रक्रिया हो। व्यावसायिक सतह उपचार बिना, निम्न समस्याहरू सञ्चालन गर्दा सामना गरिनेछ:

1. प्लाज्मा क्षरण र धातु आयन प्रदूषण

असुरक्षित सिरेमिक सतहहरू एचिंग वा CVD प्रक्रिया सेटिङहरूमा प्लाज्मा क्षरणको लागि कमजोर हुन्छन्। यस प्रकारको क्षरणले सीधै धातु आयनहरू वा सिरेमिक कणहरूको बहावको परिणाम हुन सक्छ, जसले गर्दा वेफर दूषित हुन्छ।

2. असमान थर्मल चालकता र वारपेज विरूपण

असमान सतहहरू वा खराब उपचारको परिणाम वेफर र को बीच असमान सम्पर्कमा हुन्छESC, तातो प्रवाहमा बाधा पुर्‍याउँछ र सीडी एकरूपतालाई असर गर्छ।

3. अस्थिर इलेक्ट्रोस्टेटिक सोखना

सतह इन्सुलेशन प्रदर्शन वा इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको चालकताको गलत नियन्त्रणले सजिलैसँग अपर्याप्त सोखन बल वा अत्यधिक सोखन निम्त्याउन सक्छ, अन्ततः वेफर प्रशोधनको उपजलाई सीधा असर गर्छ।

उच्च-अन्त ESCs को सतहले प्राय: कम्पोजिट बहु-तह संरचना डिजाइन अपनाउँछ, सही उच्च-प्रदर्शन एकीकरण प्राप्त गर्न कोटिंग्स मार्फत कार्यात्मक क्षेत्रहरूलाई ठीकसँग विनियमित गर्दछ।

उच्च-अन्त ESCs को सामान्य सतह उपचार प्रविधिहरू:

1. फ्लोरोपोलिमर गैर-चिपकने कोटिंग्स (जस्तै PTFE र PFA)

यस प्रकारको कोटिंग विशेष गरी कम-तापमान प्रक्रिया वातावरणको लागि उपयुक्त छ किनभने यसको कम सतह मुक्त ऊर्जा, जसले प्रभावकारी रूपमा फोटोरेसिस्ट अवशेषहरूको अवशोषणलाई रोक्छ।

2. हीरा-जस्तै कार्बन (DLC) कोटिंग्स

उच्च कठोरता, प्लाज्मा प्रतिरोध, र कम घर्षण गुणांकको साथ, तिनीहरू एन्टि-इरोसन र एन्टि-पार्टिकल डिटेचमेन्ट एप्लिकेसनहरू नक्काशी उपकरणहरूमा उपयुक्त छन्।

3. PVD प्रवाहकीय सिरेमिक फिल्महरू (जस्तै CrSiN र TiN)

यस प्रकारको कोटिंगले एक निश्चित क्षेत्रमा स्थिर प्रवाहकीय मार्ग निर्माण गर्न सक्छ, र यसरी सतह चार्जहरूको समान डिस्चार्जलाई ठीकसँग नियन्त्रण गरेर स्थानीय चार्ज संचयको समस्यालाई प्रभावकारी रूपमा बेवास्ता गर्न सक्छ।

4. कम्पोजिट थर्मल कन्डक्टिव कोटिंग्स (जस्तै हीरा पाउडर र फ्लोरोपोलिमर हाइब्रिड कोटिंग)

यस प्रकारको कोटिंगले थर्मल चालकतासँग गैर-चिपकने गुणहरू संयोजन गर्दछ, र यसको समग्र प्रदर्शनले उच्च-परिशुद्धता थर्मल नियन्त्रण ESC को आवेदन आवश्यकताहरूसँग ठीकसँग मेल खान सक्छ।