ठाडो भट्टीहरू किन मुख्यधाराको विकल्प बनेका छन्?

ठाडो भट्टीहरू ठाडो रूपमा राखिएको उच्च-तापमान ताप उपकरणहरू हुन् जुन विशेष रूपमा सेमीकन्डक्टर उत्पादनको ताप उपचारको लागि डिजाइन गरिएको हो। पूर्ण ठाडो भट्टी प्रणाली उच्च-तापमान प्रतिरोधी बनेको छभट्टी ट्यूब, ताप तत्व, तापक्रम नियन्त्रण प्रणाली, ग्यास नियन्त्रण प्रणाली र वेफर समर्थन संरचना। ठाडो भट्टीहरूले उच्च तापमान अवस्थाहरूमा विशेष ग्यासहरू (जस्तै अक्सिजन, हाइड्रोजन, नाइट्रोजन, इत्यादि) को परिचय मार्फत सिलिकन अक्सिडेशन, डिफ्युजन, एनेलिङ, र एटोमिक लेयर डिपोजिसन (ALD) लगायत महत्वपूर्ण अर्धचालक प्रक्रियाहरूलाई सहज बनाउन सक्छ।

अर्धचालक निर्माणमा तातो उपचार उपकरणको विकासमा, ठाडो भट्टीहरू तिनीहरूको तीन मुख्य फाइदाहरूको कारण ताप उपचार प्रक्रियाहरूको लागि मुख्यधारा छनौट भएका छन्।

1. अन्तरिक्ष उपयोगको परिप्रेक्ष्यबाट, ठाडो भट्टीहरूले ठाडो ट्यूबहरू र ठाडो वेफर डुङ्गाहरूको संयोजन डिजाइन अपनाउछन्। एउटै प्रशोधन क्षमता अन्तर्गत, तिनीहरूको भुइँ स्पेस आवश्यकता 450mm वेफर विस्तार को प्रवृति अन्तर्गत क्लीनरूम को प्रति एकाइ क्षेत्र उत्पादन क्षमता घनत्व बृद्धि गर्न को लागी तेर्सो भट्टीहरु को तुलना मा 50% -60% मात्र हो। मोड्युलर ठाडो स्ट्याकिंग मार्फत, एकल उपकरणले ह्यान्डल गर्न सक्ने वेफर्सको संख्या 40% ले बढेको छ, र प्रति एकाइ क्षेत्रको उत्पादन दक्षता तेर्सो फर्नेसको तुलनामा उल्लेखनीय रूपमा राम्रो छ।

2. ठाडो भट्टीहरूले तीन-बिन्दु ग्रूभ समर्थनहरू मार्फत तेर्सो वेफर स्थितिहरू प्राप्त गर्दछ। ठाडो वायुप्रवाहको साथ संयुक्त, यो कन्फिगरेसनले फर्नेस भित्र अधिक समान तापमान ढाँचा र सममित थर्मल तनाव वितरण प्रदान गर्दछ, 30% भन्दा बढी वेफर वारपेज जोखिम कटौती गर्दछ। यो विशेष गरी थर्मल संवेदनशील प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त छ, जस्तै उच्च-K डाइलेक्ट्रिक डिपोजिसन र आयन इम्प्लान्टेशन एनिलिङ। यसको विपरित, तेर्सो फर्नेसहरूको ठाडो प्लेसमेन्टले वेफर किनारहरूमा तापमान भिन्नताहरू निम्त्याउने र स्थानीय तनाव एकाग्रताको जोखिम बढाउने सम्भावना हुन्छ।

3. स्वचालित वेफर ह्यान्डलिङको सुविधा ठाडो भट्टीहरूको अर्को महत्वपूर्ण फाइदा हो। तेर्सो भट्टीहरूलाई उठाउनको लागि रोबोटिक हातहरू चाहिन्छवेफर्सठाडो अभिमुखीकरणमा, जसले स्थिति सटीकता र क्ल्याम्पिङ बल नियन्त्रणमा कडा आवश्यकताहरू माग गर्दछ। तिनीहरूले परिचालन विसंगतिहरूको कारण वेफर ब्रेकेजको जोखिम बढाउँछन्। ठाडो भट्टीमा, वेफरहरू तेर्सो रूपमा राखिन्छन्। रोबोटिक हातले भ्याकुम शोषण मार्फत सम्पर्क-रहित ह्यान्डलिङ हासिल गर्न सक्छ। दृश्य स्थिति प्रणाली संग संयुक्त, ह्यान्डलिङ शुद्धता ± 0.1mm मा सुधारिएको छ, धेरै स्वचालन को समग्र स्तर बृद्धि गर्दछ।