विभिन्न प्रकारका रिएक्टरहरू बीचको संरचनात्मक भिन्नताहरू

प्रतिक्रिया कक्ष कन्फिगरेसनको आधारमा, गर्मी उपचार उपकरण (फर्नेस ट्यूब उपकरण) लाई मुख्य रूपमा तीन कोटिहरूमा विभाजन गरिएको छ: ठाडो फर्नेस ट्यूबहरू, तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरू, र द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) भट्टीहरू।

ठाडो फर्नेस ट्यूबहरूमा ठाडो रूपमा क्वार्ट्ज ट्युबहरू मिलाइएका हुन्छन्, जसमा तताउनका लागि ट्यूबको वरिपरि वेफरहरू राखिन्छन्। तिनीहरूका मुख्य फाइदाहरू समान तापक्रम वितरण, सटीक वायुमण्डल नियन्त्रण, उच्च स्वचालन, कम कण प्रदूषण, सानो पदचिह्न, र ब्याच प्रशोधन (विशेष गरी १२-इन्च वेफर्सका लागि उपयुक्त) को लागि समर्थन, तिनीहरूलाई हाल उपलब्ध मुख्यधारा उपकरणहरू बनाउनु हो। सन् २०२४ मा विश्व बजारको आकार ३.२ बिलियन डलर पुगेको छ (सेमी डाटा)। तिनीहरूको बेफाइदाहरूमा सजिलो ग्यास-तरल अलगाव समावेश छ, र माध्यमको तलको प्रवाहले सम्भावित रूपमा फर्नेस ट्यूबलाई जलाउन सक्छ।

तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरूमा तेर्सो रूपमा क्वार्ट्ज ट्यूबहरू राखिएको हुन्छ, एक पटकमा 100-200 वेफरहरू प्रशोधन गरिन्छ। तिनीहरूका फाइदाहरूमा फर्नेस ट्यूब भित्र एकसमान ग्यास-तरल प्रवाह र थप सटीक तापक्रम नियन्त्रण समावेश छ। तिनीहरूको बेफाइदाहरूमा ठूलो पदचिह्न र उच्च मिश्र धातु इस्पात मध्यवर्ती ट्यूब समर्थनहरूको उच्च खपत समावेश छ। संरचनात्मक रूपमा, तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरूले वेफर्सहरूलाई तेर्सो ट्यूबहरू भित्र ठाडो रूपमा प्रशोधनको लागि राख्छन्।

र्‍यापिड थर्मल एनिलिङ (RTP) फर्नेसहरूले हलोजन इन्फ्रारेड बत्तीहरू एकल वेफरहरूलाई द्रुत रूपमा तताउन प्रयोग गर्दछ, छिटो ताप र शीतलन दरहरू प्रदान गर्दछ जसले चेम्बरको तापक्रम परिवर्तन नगरी वेफरको तापक्रम मात्र परिवर्तन गर्दछ। तिनीहरू सानो-ब्याच द्रुत annealing को लागी उपयुक्त छन् तर ठूलो उत्पादनको लागि होइन।

वेफर प्रशोधनमा, तेर्सो फर्नेस ट्यूबहरूले वेफरलाई क्वार्ट्ज डुङ्गामा राख्छ, जुन सिलिकन कार्बाइड (SiC) समर्थन फ्रेममा टिक्छ। समर्थन फ्रेमलाई क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमा धकेलिन्छ, जहाँ वेफरले स्थिर-तापमान क्षेत्रमा प्रतिक्रिया पार्छ। ठाडो फर्नेस ट्यूबहरू, अर्कोतर्फ, वेफरलाई क्वार्ट्ज टावरमा राख्नुहोस् र बिस्तारै यसलाई क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमा प्रशोधनका लागि उठाउनुहोस्। प्रतिक्रिया पछि, झुकाउन वा बिग्रन रोक्नको लागि वेफरलाई बिस्तारै कम गरिन्छ।

Semicorex आपूर्ति उच्च-गुणवत्ता अनुकूलितक्वार्ट्ज फर्नेस रिएक्टर। हाम्रा उत्पादनहरू उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, विस्तारित सेवा जीवन, र असाधारण प्रक्रिया स्थिरता प्रदान गर्न इन्जिनियर गरिएका छन्। अनुकूलित समाधान वा थप प्राविधिक जानकारीको लागि, कृपया हाम्रो ईन्जिनियरिङ् टोलीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

फोन: +८६-१३५६७८९१९०७

इमेल: sales@semicorex.com