TaC कोटिंग

TaC सिरेमिकको पिघलने बिन्दु 3880°C, उच्च कठोरता (Mohs कठोरता 9-10), ठूलो थर्मल चालकता (22W·m) हुन्छ^-१· के^-१), ठूलो लचिलो बल (340-400MPa), र थर्मल विस्तारको सानो गुणांक (6.6×10)^-6K-१), र उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता र उत्कृष्ट भौतिक गुणहरू प्रदर्शन गर्दछ, त्यसैले TaC कोटिंग्स एयरोस्पेस थर्मल सुरक्षामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र ग्रेफाइट र C/C कम्पोजिटहरू राम्रो रासायनिक अनुकूलता र मेकानिकल अनुकूलता छन्। ), र उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता र उत्कृष्ट भौतिक गुणहरू देखाउनुहोस्, र ग्रेफाइट र C/C कम्पोजिटहरूमा राम्रो रासायनिक अनुकूलता र मेकानिकल अनुकूलता छ, त्यसैले TaC कोटिंग्स एयरोस्पेस थर्मल संरक्षण, एकल क्रिस्टल वृद्धि, ऊर्जा र इलेक्ट्रोनिक्स, र चिकित्सा उपकरणहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। आदि। TaC-लेपित ग्रेफाइटमा बेयर ग्रेफाइट वा SiC-कोटेड ग्रेफाइट भन्दा राम्रो रासायनिक प्रतिरोध हुन्छ, र 2600° को उच्च तापक्रममा स्थिर रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ। 2600 ° उच्च तापमान स्थिरता, र धेरै धातु तत्व प्रतिक्रिया गर्दैन, अर्धचालक एकल क्रिस्टल वृद्धि र कोटिंग को सबै भन्दा राम्रो प्रदर्शन मा वेफर नक्काशी परिदृश्य को तेस्रो पुस्ता हो, उल्लेखनीय रूपमा तापमान र अशुद्धता नियन्त्रण को प्रक्रिया सुधार गर्न सक्छ, उच्च को तयारी -गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड वेफर र सम्बन्धित एपिटेक्सियल वेफर। यो विशेष गरी MOCVD उपकरणहरूको लागि GaN वा AlN एकल क्रिस्टलहरू र PVT उपकरणहरू SiC एकल क्रिस्टलहरू बढ्नको लागि उपयुक्त छ, र बढेको एकल क्रिस्टलको गुणस्तर उल्लेखनीय रूपमा सुधारिएको छ।

अनुसन्धान नतिजा अनुसार,TaC कोटिंगले ग्रेफाइट कम्पोनेन्टको आयु विस्तार गर्न, रेडियल तापमान एकरूपता सुधार गर्न, SiC सबलिमेशन स्टोइचियोमेट्री कायम राख्न, अशुद्धता माइग्रेसनलाई दबाउन र ऊर्जा खपत कम गर्न सुरक्षा र अलगाव तहको रूपमा काम गर्न सक्छ। अन्ततः TaC-लेपित ग्रेफाइट क्रुसिबल सेटले SiC PVT प्रक्रिया नियन्त्रण र उत्पादनको गुणस्तर सुधार गर्ने अपेक्षा गरिएको छ।