SiC क्रिस्टल वृद्धिको लागि छिद्रपूर्ण ग्रेफाइट सामग्रीको महत्त्व

Semicorex को SiC क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस कम्पोनेन्ट, दछिद्रपूर्ण ग्रेफाइट ब्यारेल, तीन प्रमुख लाभहरू ल्याउनेछ र प्रभावकारी रूपमा घरेलु प्रतिस्पर्धालाई बलियो बनाउन सक्छSiC सब्सट्रेटहरू:

• SiC क्रिस्टल वृद्धि घटक को लागत घटाउनुहोस्;
• SiC क्रिस्टलको मोटाई बढाउनुहोस् र सब्सट्रेटको समग्र लागत घटाउनुहोस्;
• SiC क्रिस्टल उपज सुधार र कर्पोरेट प्रतिस्पर्धा बढाउनुहोस्।

SiC क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसहरूमा छिद्रपूर्ण ग्रेफाइट पानाहरू थप्नु उद्योगको तातो ठाउँहरू मध्ये एक हो। ए सम्मिलित गरेर प्रमाणित भएको छछिद्रपूर्ण ग्रेफाइटSiC स्रोत पाउडर माथिको पानाहरू, क्रिस्टल क्षेत्रमा राम्रो मास ट्रान्सफर हासिल गरिएको छ, जसले परम्परागत क्रिस्टल वृद्धि भट्टीहरूमा अवस्थित विभिन्न प्राविधिक समस्याहरूलाई सुधार गर्न सक्छ।

(a) परम्परागत क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस, (b) झरझरा ग्रेफाइट पाना सहितको क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस

स्रोत: Dongui विश्वविद्यालय, दक्षिण कोरिया

प्रयोगहरूले देखाएको छ कि परम्परागत क्रिस्टल वृद्धि भट्टीहरू प्रयोग गर्दा, SiC सब्सट्रेटहरू सामान्यतया विभिन्न हुन्छन्polymorphs, जस्तै 6H र 15R-SiC, जबकिSiC सब्सट्रेटहरूझरझरा ग्रेफाइटमा आधारित क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसहरू मात्र प्रयोग गरेर तयार हुन्छन्4H-SiC मोनोक्रिस्टल। यसबाहेक, माइक्रोट्यूब घनत्व (MPD) र एचिंग पिट घनत्व (EPD) पनि उल्लेखनीय रूपमा कम भएको छ। दुई क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसहरूको MPD क्रमशः 6-7EA/cm2 र 1-2EA/cm2 हो, जुन हुन सक्छ।6 पटक सम्म घटाइयो.

Semicorex ले पनि आधारित नयाँ "एक पटक मास ट्रान्सफर" प्रक्रिया सुरु गरेको छछिद्रपूर्ण ग्रेफाइट पानाहरू। छिद्रपूर्ण ग्रेफाइट धेरै राम्रो छशुद्धीकरण क्षमता। नयाँ प्रक्रियाले प्राइमरी मास ट्रान्सफरको लागि नयाँ थर्मल फिल्ड प्रयोग गर्दछ, जसले मास ट्रान्सफर दक्षतालाई सुधार र आधारभूत रूपमा स्थिर बनाउँछ, जसले गर्दा पुनःक्रिस्टलाइजेसनको प्रभावलाई कम गर्छ (सेकेन्डरी मास ट्रान्सफरबाट बच्न), प्रभावकारी रूपमा माइक्रोट्यूब्युल वा अन्य सम्बन्धित क्रिस्टल दोषहरूको जोखिम कम गर्दछ। थप रूपमा, छिद्रपूर्ण ग्रेफाइट पनि SiC क्रिस्टलको वृद्धि र मोटाईको समस्या समाधान गर्ने मुख्य प्रविधिहरू मध्ये एक हो, किनभने यसले ग्यास चरण घटकहरूलाई सन्तुलनमा राख्न, ट्रेस अशुद्धताहरू अलग गर्न, स्थानीय तापक्रम समायोजन गर्न र कार्बन र्यापिङ जस्ता भौतिक कणहरूलाई कम गर्न सक्छ। क्रिस्टल प्रयोग गर्न सकिन्छ भन्ने आधारमा,क्रिस्टल को मोटाईघटाउन सकिन्छ। उल्लेखनीय रूपमा बढ्न सक्छ।

को प्राविधिक विशेषताहरुसेमिकोरेक्स छिद्रपूर्ण ग्रेफाइट:

porosity 65% ​​सम्म पुग्न सक्छ;

छिद्रहरू समान रूपमा वितरित छन्;

उच्च ब्याच स्थिरता;

उच्च बल, ≤1mm अल्ट्रा-पातलो बेलनाकार आकारमा पुग्न सक्छ।

Semicorex उच्च गुणस्तर प्रदान गर्दछछिद्रपूर्ण ग्रेफाइटभागहरु। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com