सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूमा एपिटेक्सियल तहहरूको महत्त्वपूर्ण भूमिका

1. यसको उपस्थिति को कारण

सेमीकन्डक्टर उपकरण निर्माणको क्षेत्रमा, विकसित मागहरू पूरा गर्न सक्ने सामग्रीहरूको खोजीले निरन्तर चुनौतीहरू खडा गरेको छ। 1959 को अन्त सम्म, पातलो तह को विकासमोनोक्रिस्टलाइनसामग्रीविकास प्रविधि, को रूपमा चिनिन्छखान्छaxy, एक निर्णायक समाधानको रूपमा देखा पर्‍यो। तर एपिटेक्सियल टेक्नोलोजीले भौतिक प्रगतिमा, विशेष गरी सिलिकनको लागि कसरी योगदान गरेको छ? प्रारम्भमा, उच्च-फ्रिक्वेन्सी, उच्च-शक्ति सिलिकन ट्रान्जिस्टरहरूको निर्माणले महत्त्वपूर्ण अवरोधहरूको सामना गर्यो। ट्रान्जिस्टर सिद्धान्तहरूको परिप्रेक्ष्यबाट, उच्च-फ्रिक्वेन्सी र उच्च-शक्ति प्राप्त गर्न कलेक्टर क्षेत्रमा उच्च ब्रेकडाउन भोल्टेज र न्यूनतम श्रृंखला प्रतिरोध आवश्यक छ, कम संतृप्ति भोल्टेज ड्रपमा अनुवाद।

यी आवश्यकताहरूले एक विरोधाभास प्रस्तुत गर्‍यो: कलेक्टर क्षेत्रमा उच्च प्रतिरोधात्मक सामग्रीको आवश्यकता ब्रेकडाउन भोल्टेज बढाउनको लागि, शृंखला प्रतिरोध कम गर्न कम प्रतिरोधात्मक सामग्रीहरूको आवश्यकताको विरूद्ध। श्रृंखला प्रतिरोध कम गर्न कलेक्टर क्षेत्र सामाग्री को मोटाई कम गर्न को लागी जोखिम मा थियोसिलिकन वेफरप्रशोधनको लागि धेरै कमजोर। यसको विपरित, सामग्रीको प्रतिरोधात्मकता कम गर्नु पहिलो आवश्यकताको विरोधाभास हो। को आगमनखान्छअक्षlप्रविधिले यो दुविधालाई सफलतापूर्वक नेभिगेट गर्यो।

2. समाधान

समाधानले कम-प्रतिरोधीतामा उच्च-प्रतिरोधी एपिटेक्सियल तह बढाउने समावेश गर्दछसब्सट्रेट। मा यन्त्र निर्माणखान्छaxial तहयसको उच्च प्रतिरोधात्मकताको कारणले उच्च ब्रेकडाउन भोल्टेज सुनिश्चित गर्‍यो, जबकि कम-प्रतिरोधी सब्सट्रेटले आधार प्रतिरोधलाई कम गर्यो, जसले गर्दा संतृप्ति भोल्टेज ड्रप घट्यो। यस दृष्टिकोणले अन्तर्निहित विरोधाभासहरूलाई मिलाएको छ। यसबाहेक,खान्छaxialवाष्प-चरण, तरल-चरण सहित प्रविधिहरूखान्छaxyGaAs, र अन्य III-V, II-VI समूह आणविक यौगिक अर्धचालकहरू जस्ता सामग्रीहरूको लागि, उल्लेखनीय रूपमा उन्नत भएको छ। यी प्रविधिहरू अधिकांश माइक्रोवेभ उपकरणहरू, अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू, पावर उपकरणहरू, र थप निर्माणका लागि अपरिहार्य भएका छन्। विशेष गरी, आणविक बीम को सफलता रधातु अंगc भाप-चरण एपिटेक्सीपातलो फिल्महरू, सुपरल्याटिसहरू, क्वान्टम वेल्स, स्ट्रेन्ड सुपरल्याटिसहरू, र परमाणु तह जस्ता अनुप्रयोगहरूमाखान्छaxy"bandgap ईन्जिनियरिङ्" को नयाँ अनुसन्धान डोमेन को लागी एक ठोस आधार राखेको छ।

3. को सात प्रमुख क्षमताहरूएपिटेक्सियल टेक्नोलोजी

(१) उच्च (निम्न) प्रतिरोधी क्षमता बढ्ने क्षमताएपिटेक्सियल तहहरूकम (उच्च) प्रतिरोधक सब्सट्रेटहरूमा।

(२) N § प्रकार बढ्न सक्ने क्षमताएपिटेक्सियल तहहरूP (N) प्रकार सब्सट्रेटहरूमा, प्रसार विधिहरूसँग सम्बन्धित क्षतिपूर्ति मुद्दाहरू बिना सीधा PN जंक्शनहरू गठन गर्दै।

(3) मास्क टेक्नोलोजीको साथ एकीकरण छनौट रूपमा बढ्नको लागिएपिटेक्सियल तहहरूनिर्दिष्ट क्षेत्रहरूमा, एकीकृत सर्किटहरू र अद्वितीय संरचनाहरू भएका उपकरणहरूको उत्पादनको लागि मार्ग प्रशस्त गर्दै।

(४) एकाग्रतामा अचानक वा क्रमिक परिवर्तनको सम्भावनाको साथ विकास प्रक्रियाको क्रममा डोपेन्टको प्रकार र एकाग्रता परिवर्तन गर्न लचिलोपन।

(५) हेटेरोजंक्शनहरू, बहु-तहहरू, र चर संरचना अल्ट्रा-पातलो तहहरू बढ्न सक्ने सम्भाव्यता।

(६) बढ्ने क्षमताएपिटेक्सियल तहहरूआणविक-स्तर मोटाई सटीकता सक्षम पार्दै, नियन्त्रणयोग्य वृद्धि दर संग, सामग्री को पिघलने बिन्दु तल।

(७) तान्न चुनौतीपूर्ण सामग्रीको एकल-क्रिस्टल तहहरू बढ्ने सम्भाव्यता, जस्तैGaN, र टर्नरी वा क्वाटरनरी यौगिकहरू।

सारमा,खान्छaxial तहsसब्सट्रेट सामग्रीको तुलनामा अधिक नियन्त्रणयोग्य र उत्तम क्रिस्टल संरचना प्रदान गर्दछ, महत्त्वपूर्ण रूपमा सामग्रीको प्रयोग र विकासलाई फाइदा पुर्‍याउँछ।**

Semicorex ले उच्च गुणस्तरको सब्सट्रेट र एपिटेक्सियल वेफर्स प्रदान गर्दछ। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com