इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC) के हो?

अर्धचालक निर्माणमा, नक्काशी प्रक्रियाको परिशुद्धता र स्थिरता सर्वोपरि हुन्छ। उच्च-गुणस्तरको नक्काशी हासिल गर्ने एउटा महत्त्वपूर्ण कारकले प्रक्रियाको क्रममा ट्रेमा वेफरहरू पूर्ण रूपमा समतल छन् भनी सुनिश्चित गर्नु हो। कुनै पनि विचलनले असमान आयन बमबारी निम्त्याउन सक्छ, जसले अवांछनीय कोणहरू र नक्काशी दरहरूमा भिन्नताहरू निम्त्याउन सक्छ। यी चुनौतीहरूलाई सम्बोधन गर्न, इन्जिनियरहरू विकसित भएका छन्इलेक्ट्रोस्टेटिक चक्स (ESCs), जसले नक्काशीको गुणस्तर र स्थिरतामा उल्लेखनीय सुधार गरेको छ। यस लेखले ESCs को डिजाइन र कार्यक्षमताको बारेमा जानकारी दिन्छ, एउटा मुख्य पक्षमा ध्यान केन्द्रित गर्दै: वेफर आसंजन पछाडिको इलेक्ट्रोस्टेटिक सिद्धान्तहरू।

इलेक्ट्रोस्टेटिक वेफर आसंजन

पछाडिको सिद्धान्तESCवेफरलाई सुरक्षित रूपमा समात्ने क्षमता यसको इलेक्ट्रोस्टेटिक डिजाइनमा निहित छ। त्यहाँ दुई प्राथमिक इलेक्ट्रोड कन्फिगरेसनहरू प्रयोग गरिन्छESCs: एकल-इलेक्ट्रोड र दोहोरो-इलेक्ट्रोड डिजाइनहरू।

एकल-इलेक्ट्रोड डिजाइन: यस डिजाइनमा, सम्पूर्ण इलेक्ट्रोड समान रूपमा फैलिएको छESCसतह। प्रभावकारी हुँदा, यसले आसंजन बल र क्षेत्र एकरूपताको मध्यम स्तर प्रदान गर्दछ।

डुअल-इलेक्ट्रोड डिजाइन: डुअल-इलेक्ट्रोड डिजाइन, तथापि, बलियो र अधिक समान इलेक्ट्रोस्ट्याटिक क्षेत्र सिर्जना गर्न दुवै सकारात्मक र नकारात्मक भोल्टेजहरू प्रयोग गर्दछ। यो डिजाइनले उच्च आसंजन बल प्रदान गर्दछ र सुनिश्चित गर्दछ कि वेफर ESC सतहमा कडा र समान रूपमा राखिएको छ।

जब इलेक्ट्रोडहरूमा DC भोल्टेज लागू गरिन्छ, इलेक्ट्रोड र वेफरको बीचमा एक इलेक्ट्रोस्टेटिक क्षेत्र उत्पन्न हुन्छ। यो क्षेत्र इन्सुलेट तह मार्फत विस्तार हुन्छ र वेफरको ब्याकसाइडसँग अन्तरक्रिया गर्दछ। विद्युतीय क्षेत्रले वेफर सतहमा चार्जहरू पुन: वितरण वा ध्रुवीकरणको कारण बनाउँछ। डोप गरिएको सिलिकन वेफर्सका लागि, विद्युतीय क्षेत्रको प्रभावमा नि:शुल्क चार्जहरू सर्छन्-सकारात्मक चार्जहरू ऋणात्मक इलेक्ट्रोडतिर सर्छन्, र नकारात्मक शुल्कहरू सकारात्मक इलेक्ट्रोड तर्फ सर्छन्। नडप गरिएको वा इन्सुलेट वेफर्सको अवस्थामा, विद्युतीय क्षेत्रले आन्तरिक चार्जहरूको हल्का विस्थापन निम्त्याउँछ, डाइपोलहरू सिर्जना गर्दछ। परिणामस्वरूप इलेक्ट्रोस्टेटिक बलले चकमा वेफरलाई दृढतापूर्वक पालन गर्दछ। यस बलको शक्ति कुलम्बको नियम र विद्युतीय क्षेत्र बल प्रयोग गरेर अनुमानित गर्न सकिन्छ।