सिलिकन वेफर्सको सतह पालिसिङ

सिलिकन वेफरसतह पालिशिंग अर्धचालक निर्माण मा एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया हो। यसको प्राथमिक लक्ष्य सूक्ष्म-दोषहरू, तनावको क्षतिको तहहरू, र धातु आयनहरू जस्ता अशुद्धताहरूबाट प्रदूषण हटाएर सतहको समतलता र नरमपनको उच्च स्तरहरू प्राप्त गर्नु हो। यसले सुनिश्चित गर्दछ किसिलिकन वेफर्सएकीकृत सर्किट (ICs) सहित माइक्रोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरूको लागि तयारी आवश्यकताहरू पूरा गर्नुहोस्।

पालिश सटीकता ग्यारेन्टी गर्न,सिलिकन वेफरपालिश प्रक्रिया दुई, तीन, वा चार अलग चरणहरूमा व्यवस्थित गर्न सकिन्छ। प्रत्येक चरणले विभिन्न प्रशोधन अवस्थाहरू प्रयोग गर्दछ, जसमा दबाब, पालिश गर्ने तरल संरचना, कण आकार, एकाग्रता, पीएच मान, पालिश गर्ने कपडा सामग्री, संरचना, कठोरता, तापक्रम, र प्रशोधन मात्रा समावेश छ।

को सामान्य चरणहरूसिलिकन वेफरपालिश निम्नानुसार छन्:

1. **रफ पालिसिङ**: यस चरणले आवश्यक ज्यामितीय आयामी शुद्धता प्राप्त गर्दै, पूर्व प्रशोधनबाट सतहमा बाँकी रहेको मेकानिकल तनाव क्षतिको तहलाई हटाउने लक्ष्य राख्छ। कुनै न कुनै पॉलिशिङको लागि प्रशोधन मात्रा सामान्यतया 15-20μm भन्दा बढी हुन्छ।

2. **फाइन पालिसिङ**: यस चरणमा, उच्च सतहको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न सिलिकन वेफर सतहको स्थानीय समतलता र नरमपनलाई थप न्यूनीकरण गरिन्छ। राम्रो पालिशको लागि प्रशोधन भोल्युम लगभग 5-8μm छ।

3. **"डिफोगिङ" फाइन पालिसिङ**: यो चरणले सतहका स-साना दोषहरू हटाउने र वेफरको न्यानो-मोर्फोलजी विशेषताहरूलाई सुधार गर्नमा केन्द्रित छ। यस प्रक्रियाको समयमा हटाइएका सामग्रीको मात्रा लगभग 1μm छ।

४. **अन्तिम पालिसिङ**: अत्यन्त कडा लाइनविड्थ आवश्यकताहरू (जस्तै ०.१३μm वा २८nm भन्दा सानो चिपहरू) भएका IC चिप प्रक्रियाहरूका लागि, राम्रो पालिसिङ र "डिफोगिङ" राम्रो पालिसिङ पछि अन्तिम पालिसिङ चरण आवश्यक हुन्छ। यसले सुनिश्चित गर्दछ कि सिलिकन वेफरले असाधारण मेसिनिंग सटीकता र नानोस्केल सतह विशेषताहरू प्राप्त गर्दछ।

केमिकल मेकानिकल पालिसिङ (सीएमपी) मा ध्यान दिनु महत्त्वपूर्ण छसिलिकन वेफरसतह IC तयारीमा वेफर सतह समतल गर्न प्रयोग गरिने CMP प्रविधिबाट फरक छ। जबकि दुबै विधिहरूमा रासायनिक र मेकानिकल पॉलिशिंगको संयोजन समावेश छ, तिनीहरूको अवस्था, उद्देश्य, र अनुप्रयोगहरू महत्त्वपूर्ण रूपमा भिन्न छन्।

Semicorex प्रस्तावहरूउच्च गुणस्तर वेफर्स। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com