उच्च-प्रतिरोधी सिलिकन वेफर्स (HR-Si), यसको नामले सुझाव दिन्छ, अत्यधिक उच्च प्रतिरोधात्मकता भएको एक मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन सामग्री हो। उन्नत अर्धचालक निर्माण क्षेत्रमा, उच्च आवृत्ति हानि उच्च-अन्त चिप डिजाइन मा एक प्रमुख चुनौती भएको छ। यसको अति-उच्च प्रतिरोधात्मकताको लागि धन्यवाद, उच्च-प्रतिरोधी सिलिकन वेफरले सब्सट्रेट नोक्सानलाई दबाउन र परजीवी क्रसस्टक हटाउनको लागि आदर्श समाधानको रूपमा कार्य गर्दछ।
परम्परागत तर्क चिप्स (जस्तै CPUs र GPUs) द्वारा अपनाइएका मानक सिलिकन वेफर्सहरू 1–50 Ω·cm वा त्यसभन्दा कमको विशिष्ट प्रतिरोधात्मकताको साथ, विद्युतीय प्रवाह र ट्रान्जिस्टर गठनलाई सहज बनाउन अशुद्धताहरूको निश्चित एकाग्रताको साथ डोप गरिन्छ। फरक रूपमा, उच्च-प्रतिरोधी सिलिकन वेफरले 1000 Ω·cm भन्दा बढीको प्रतिरोधात्मकता देखाउँछ र अत्यन्त कम डोपिङ एकाग्रताको साथ लगभग आन्तरिक अवस्था प्रदर्शन गर्दछ।
संचार आवृत्तिहरूमा निरन्तर वृद्धिको साथ, मानक सिलिकन सब्सट्रेटहरूमा गम्भीर भौतिक सीमाहरू छन्। उच्च प्रतिरोधात्मकतासिलिकन वेफर्ससिलिकन सब्सट्रेटहरूमा उच्च-फ्रिक्वेन्सी सिग्नल प्रसारणको मुख्य समस्याहरूलाई सम्बोधन गर्नका लागि आदर्श समाधानहरू हुन्।
उच्च-फ्रिक्वेन्सी सञ्चालन अवस्थाहरूमा, विद्युत चुम्बकीय तरंगहरूले इन्सुलेट तहमा प्रवेश गर्नेछन् र त्यसपछि सिलिकन सब्सट्रेटहरूमा प्रवेश गर्नेछन्। कम प्रतिरोधात्मकता भएका मानक सिलिकन सब्सट्रेटहरूले एडी करेन्टहरू उत्पन्न गर्न सक्छन् जसले उच्च-फ्रिक्वेन्सी आरएफ सिग्नल ऊर्जालाई थर्मल ऊर्जामा रूपान्तरण गर्दछ, जसले गर्दा गम्भीर ऊर्जा हानि हुन्छ। यसको विपरित, उच्च-प्रतिरोधी सिलिकन लगभग गैर प्रवाहकीय छ, जसले प्रभावकारी रूपमा एडी धाराहरूलाई दबाउन र संकेत ऊर्जा संरक्षण गर्न सक्छ।
इन्डक्टरहरू र स्विचहरू जस्ता चिपहरूमा बहु आरएफ कम्पोनेन्टहरूले प्रवाहकीय सब्सट्रेट मार्फत परजीवी क्यापेसिटिव युग्मन बनाउँदछ, जसले पारस्परिक संकेत हस्तक्षेप निम्त्याउन सक्छ। यद्यपि, एक उच्च-प्रतिरोधी सिलिकन सब्सट्रेटले यो "प्रवाहक मार्ग" लाई रोक्न सक्छ र कम्पोनेन्टहरू बीचको अलगाव स्तरलाई धेरै बढाउँछ।
उच्च-प्रतिरोधी सिलिकन वेफरले अन-चिप इन्डक्टरहरूको Q कारकलाई उल्लेखनीय रूपमा सुधार गर्न सक्छ र रेडियो फ्रिक्वेन्सी सर्किट अनुप्रयोगहरूमा प्रभावकारी रूपमा कम सिग्नल आवाज र पावर खपत।
1. रेडियो फ्रिक्वेन्सी र माइक्रोवेभ क्षेत्रहरू
2. RF MEMS स्विचहरू, फिल्टरहरू, र फेज शिफ्टरहरूका लागि सब्सट्रेट अनुप्रयोगहरू
3. सिलिकन-आधारित एन्टेना एकीकरण र मिलिमिटर-वेभ उपकरणहरूको अनुप्रयोगहरू (5G फ्रन्ट-एन्ड मोड्युलहरू)
4. सिलिकन फोटोनिक वेभगाइड अनुप्रयोगहरू
5. TSV इन्टरपोजर निर्माण