सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गाहरू कत्तिको महत्त्वपूर्ण छन्?

अर्धचालक निर्माणमा, मुख्य प्रक्रिया उपकरणहरू जस्तै फोटोलिथोग्राफी र नक्काशीको अलावा, अर्को प्रकारको आधारभूत घटकले प्रक्रिया स्थिरतामा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ:वेफर डुङ्गा.

विशेष गरी हालका वर्षहरूमा, उच्च-तापमान प्रक्रियाहरू र तेस्रो-पुस्ताको अर्धचालकहरूको विकासको साथ, सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गाहरू, सिलिकन कार्बाइडबाट बनेका, चुपचाप उद्योग मानक बनिरहेका छन्।

त्यसोभए, सेमीकन्डक्टर निर्माणमा यो नगण्य कम्पोनेन्टले कस्तो भूमिका खेल्छ?

०१ वेफर डुङ्गाको आधारभूत कार्यहरू

एक वेफर डुङ्गा एक प्रक्रिया वाहक हो जुन वेफरहरू समात्न प्रयोग गरिन्छ, मुख्य रूपमा उच्च-तापमान प्रशोधन उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ।

अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा, वेफरहरूले धेरै थर्मल प्रशोधन चरणहरू पार गर्दछ, जस्तै प्रसार, अक्सीकरण, एनिलिङ, र रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD)। यी प्रक्रियाहरूमा, वेफरहरू सामान्यतया फर्नेस ट्यूब उपकरणहरूमा ब्याच-प्रशोधन गरिन्छ, र वेफर डुङ्गाले निम्न कार्यहरू गर्दछ:

- बहु वेफरहरूलाई समर्थन गर्दै र स्थिर स्पेसिङ कायम गर्दै

- उच्च-तापमान वातावरणमा वेफर्सको स्थितिगत स्थिरता सुनिश्चित गर्दै

- उपकरण संग संयोजनमा समान ग्यास प्रवाह सुनिश्चित गर्दै

वेफर डुङ्गाको संरचना र भौतिक गुणहरूले थर्मल क्षेत्र वितरण र प्रक्रिया स्थिरतालाई सीधा असर गर्छ।

02 सिलिकन कार्बाइड डुङ्गाहरूको संरचनात्मक विशेषताहरू

सिलिकन कार्बाइड डुङ्गाहरूसामान्यतया उच्च संरचनात्मक स्थिरता प्रदान गर्दै फ्रेम डिजाइन प्रयोग गर्नुहोस्। विशिष्ट सुविधाहरू समावेश:

- सटीक वेफर स्थितिको लागि बहु-तह स्लट संरचना

- वेफरहरू बीच सजिलो ग्यास प्रवाहको लागि डिजाइन खोल्नुहोस्

- उच्च तापमानमा विरूपण जोखिम कम गर्न उच्च-कठोरता फ्रेम

उपकरणको प्रकारमा निर्भर गर्दै, डुङ्गाहरू ठाडो वा तेर्सो संरचनाको रूपमा डिजाइन गर्न सकिन्छ र विभिन्न वेफर आकारहरू (जस्तै, 6-इन्च, 8-इन्च, 12-इन्च) समर्थन गर्दछ।

03 सामग्री चयन: किनसिलिकन कार्बाइड?

सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरू उच्च तापक्रम र उच्च सरसफाइमा विकसित हुँदै गर्दा, क्वार्ट्ज र एल्युमिना जस्ता परम्परागत सामग्रीहरू बढ्दो रूपमा अपर्याप्त छन्। यसको विपरित, सिलिकन कार्बाइडले धेरै प्रदर्शन आयामहरूमा फाइदाहरू प्रदान गर्दछ।

1. उच्च-तापमान प्रतिरोध: सिलिकन कार्बाइडले लगभग 1200 ℃ देखि 1400 ℃ को तापमान दायरामा राम्रो संरचनात्मक स्थिरता प्रदर्शन गर्दछ। केहि उच्च-शुद्धता वा विशेष प्रक्रिया अवस्था अन्तर्गत, यो पनि उच्च तापमान वातावरणमा प्रयोग गर्न सकिन्छ। यसले उच्च तापक्रममा धातुजन्य पदार्थहरू जस्तै पग्लने वा महत्त्वपूर्ण नरम हुने घटनाहरू प्रदर्शन गर्दैन।

2. उच्च थर्मल चालकता: सिलिकन कार्बाइडमा उच्च थर्मल चालकता छ, जसले वेफरहरू बीचको तापमान भिन्नता कम गर्न मद्दत गर्दछ, जसले गर्दा प्रक्रिया स्थिरतामा सुधार हुन्छ।

3. थर्मल विस्तारको कम गुणांक: सिलिकन कार्बाइडमा थर्मल विस्तारको कम गुणांक हुन्छ, जसले ताप र चिसो प्रक्रियाको समयमा वेफरहरूमा थर्मल तनावको प्रभावलाई कम गर्छ।

4. रासायनिक स्थिरता: सिलिकन कार्बाइडले विभिन्न वायुमण्डलहरूमा राम्रो रासायनिक स्थिरता प्रदर्शन गर्दछ, अक्सिडाइजिङ र घटाउने वायुमण्डलहरू सहित। यद्यपि, यसले अझै पनि उच्च-तापमान अक्सिजन वातावरणमा सिलिकन डाइअक्साइड सुरक्षात्मक तह बनाउँदै ढिलो अक्सीकरण प्रतिक्रियाबाट गुज्रनेछ।

5. सामग्रीको शुद्धता र प्रदूषण नियन्त्रण: अर्धचालक-ग्रेड सिलिकन कार्बाइडले सामान्यतया वेफर सतहमा प्रदूषणको जोखिम कम गर्न अशुद्धता सामग्रीलाई कडा रूपमा नियन्त्रण गरेको हुन्छ। विभिन्न प्रक्रिया ग्रेडहरूमा प्रयोग गरिएका सामग्रीहरू बीच महत्त्वपूर्ण भिन्नताहरू छन्।

04 आवेदन क्षेत्रहरू

सिलिकन कार्बाइड डुङ्गाहरू हाल धेरै क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा:

- एकीकृत सर्किट निर्माणमा थर्मल प्रशोधन

- पावर अर्धचालक उपकरण निर्माण (जस्तै, SiC उपकरणहरू)

- फोटोभोल्टिक सिलिकन वेफर्सको उच्च-तापमान प्रशोधन

- अर्धचालक सामग्री र प्रक्रिया अनुसन्धान र विकास

यसको फाइदाहरू उच्च तापक्रम, बलियो जंग, वा उच्च सरसफाइ आवश्यक पर्ने परिदृश्यहरूमा अझ बढी स्पष्ट हुन्छन्।

Semicorex प्रस्तावहरूSiC वेफर डुङ्गाहरू, फर्नेस ट्यूबहरू, cantilever paddles, आदि उच्च-तापमान भट्टीहरूमा। यदि तपाइँसँग कुनै सोधपुछ छ वा थप विवरणहरू चाहिन्छ भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्।

सम्पर्क फोन # +86-13567891907

इमेल: sales@semicorex.com