ग्रेफाइट ससेप्टर MOCVD उपकरणमा आवश्यक भागहरू मध्ये एक हो, वेफर सब्सट्रेटको क्यारियर र हीटर हो। यसको थर्मल स्थिरता र थर्मल एकरूपताका गुणहरूले वेफर एपिटेक्सियल वृद्धिको गुणस्तरमा निर्णायक भूमिका खेल्छ, जसले लेयर सामग्रीको एकरूपता र शुद्धतालाई प्रत्यक्ष रूपमा निर्धारण गर्दछ, फलस्वरूप यसको गुणस्तरले एपि......
थप पढ्नुहोस्उच्च भोल्टेज क्षेत्रमा, विशेष गरी 20,000V माथि उच्च-भोल्टेज यन्त्रहरूको लागि, SiC epitaxial प्रविधि अझै पनि धेरै चुनौतीहरूको सामना गर्दछ। मुख्य कठिनाइहरू मध्ये एक उच्च एकरूपता, मोटाई, र epitaxial तह मा डोपिङ एकाग्रता हासिल छ। यस्तो उच्च भोल्टेज उपकरणहरूको निर्माणको लागि, उत्कृष्ट एकरूपता र एकाग्रताक......
थप पढ्नुहोस्