PBN इलेक्ट्रोस्टेटिक चक

को भौतिक गुणPBNइलेक्ट्रोस्टेटिक चक

उच्च-तापमान प्रतिरोध र डाइलेक्ट्रिक शक्ति

दPBNइलेक्ट्रोस्टेटिक चक यसको असाधारण उच्च-तापमान प्रतिरोधको लागि प्रख्यात छ, एक विशेषता जुन अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा निर्णायक छ। Pyrolytic बोरोन नाइट्राइड (PBN), चकको निर्माणमा प्रयोग हुने सामग्रीले प्राय: प्रयोग हुने सिरेमिकहरू भन्दा उच्च प्रतिरोधात्मकता प्रदर्शन गर्दछ, जुन जोन्सेन-राहबेक (J-R) चक फोर्सलाई 1050 डिग्री सेल्सियसको तापक्रमसम्म कायम राख्न महत्त्वपूर्ण छ। यो उच्च प्रतिरोधात्मकता, यसको उच्च डाइइलेक्ट्रिक शक्तिको साथ मिलेर, तीव्र गर्मीमा पनि विद्युतीय ब्रेकडाउनलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न सकिन्छ, जसले चकको परिचालन विश्वसनीयता बढाउँछ।

थर्मल एकरूपता र आघात प्रतिरोध

PBN को हेक्सागोनल जाली संरचना, 1500 डिग्री सेल्सियस भन्दा बढी तापक्रममा रासायनिक वाष्प निक्षेप मार्फत तयार गरिएको, यसको उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता र झटका प्रतिरोधमा योगदान गर्दछ। भित्र उच्च घनत्व ताप तत्वहरूPBNइलेक्ट्रोस्टेटिक चकले यसलाई 600-800 डिग्री सेल्सियसको तापक्रममा 1.1-1.5% को राम्रो एकरूपताको साथ एक सुसंगत वेफर थर्मल प्रोफाइल प्राप्त गर्न सक्षम बनाउँछ। यसबाहेक, PBN-आधारित चकले उल्लेखनीय थर्मल झटका प्रतिरोध र कम थर्मल मास प्रदर्शन गर्दछ, यसलाई क्र्याक वा डेलामिनेशनको जोखिम बिना 23°C/sec को द्रुत र्याम्पिङ गतिमा 600°C पुग्न अनुमति दिन्छ।

अनुकूलन बहु-क्षेत्र ताप

PBN इलेक्ट्रोस्टेटिक चक अत्यधिक अनुकूलन योग्य छ, बहु-जोन तताउने क्षमताहरू प्रस्तुत गर्दछ जसले अधिकतम तापमान नियन्त्रणको लागि अनुमति दिन्छ। अनुकूलनको यस स्तरले सुनिश्चित गर्दछ कि प्रत्येक चक व्यक्तिगत ग्राहकहरूको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूल हुन सक्छ, विभिन्न अर्धचालक प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको लागि लचिलो समाधान प्रदान गर्दछ।

को आवेदनPBNइलेक्ट्रोस्टेटिक चक

आयन प्रत्यारोपण र वेफर ह्यान्डलिंग

पीबीएन इलेक्ट्रोस्टेटिक चक आयन इम्प्लान्टेशन प्रक्रियाहरूमा मनपर्ने वेफर-ह्यान्डलिङ उपकरण हो। 1000 डिग्री सेल्सियस भन्दा बढी तापक्रममा वेफरहरू समात्ने क्षमताले यसलाई बजारमा सबैभन्दा बहुमुखी इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू मध्ये एक बनाउँछ। यो बहुमुखी प्रतिभा उच्च-घनत्व, मल्टिजोन तताउने तत्वहरूको लागि धन्यवाद, धेरै तंग तापमान दायरा भित्र वेफर्सहरू कायम राख्ने क्षमताद्वारा बढाइएको छ।

सिलिकन कार्बाइड आयन प्रत्यारोपण

SiC आयन प्रत्यारोपण को विशिष्ट आवेदन मा,PBNइलेक्ट्रोस्टेटिक चकले वेफर तताउने र ह्यान्डलिङका चुनौतीहरूको लागि व्यावहारिक समाधान प्रदान गर्दछ। यसको दोहोरो प्रकार्य क्षमताहरू, जसमा उच्च चक बल, उच्च ताप शक्ति, राम्रो थर्मल एकरूपता, र द्रुत प्रतिक्रिया समावेश छ, यसलाई SiC आयन प्रत्यारोपणको जटिल आवश्यकताहरू सम्बोधन गर्नको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँदछ।

अर्धचालक निर्माण

PBN इलेक्ट्रोस्टेटिक चकले अर्धचालक निर्माणमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, जहाँ सटीक वेफर ह्यान्डलिंग र तापमान नियन्त्रण आवश्यक छ। यसको उच्च थर्मल झटका प्रतिरोध र द्रुत तापमान र्‍याम्पिङ क्षमताहरूले यसलाई उन्नत अर्धचालक प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त बनाउँदछ जसले कठोर तापक्रम व्यवस्थापन र द्रुत थर्मल साइकल चलाउन माग गर्दछ।