PECVD सौर्य ग्रेफाइट डुङ्गा

सेमीकोरेक्सPECVD सौर ग्रेफाइट डुङ्गाहरूउच्च-शुद्धताबाट सटीक-बनाइएका छन्आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट। Semicorex बाट प्रत्येक PECVD सौर्य ग्रेफाइट डुङ्गाले उच्च-तापमान प्लाज्मा वातावरणमा स्थिर कार्यसम्पादन सुनिश्चित गर्न सटीक मेसिनिङ, आयामी निरीक्षण, र विद्युतीय कार्यसम्पादन परीक्षणबाट गुज्रिन्छ।

PECVD प्रशोधन गर्दा, PECVD सौर्य ग्रेफाइट डुङ्गाले PECVD प्रतिक्रिया कक्षमा सिलिकन वेफरहरू बोक्छ र RF पावर सप्लाईमा जोडिएको इलेक्ट्रोडको रूपमा कार्य गर्दछ। जब छेउछाउको डुङ्गा प्लेटहरू बीच एक वैकल्पिक भोल्टेज लागू गरिन्छ, एक विद्युतीय क्षेत्र स्थापित हुन्छ। विद्युतीय क्षेत्रको प्रभाव अन्तर्गत, प्रतिक्रियाशील ग्यासहरू (जस्तै सिलेन SiH₄ र अमोनिया NH₃) ग्लो डिस्चार्जबाट गुजर्छन् र प्लाज्मा उत्पन्न गर्छन्। प्लाज्मामा आयनहरू र फ्री रेडिकलहरूले पूर्ववर्ती ग्यासहरू विघटन गर्छन्, सिलिकन (Si) र नाइट्रोजन (N) आयनहरू बनाउँछन्। यी आयनहरू मिलाएर सिलिकन नाइट्राइड (Si₃N₄) अणुहरू बनाउँछन्, जसलाई सिलिकन वेफरको सतहमा जम्मा गरी पातलो फिल्महरू बनाइन्छ।

1. असाधारण थर्मल स्थिरता

सिलिकन वेफर्सको नजिक थर्मल विस्तार गुणांक संग, SemicorxPECVD सौर ग्रेफाइट डुङ्गातापमा नगण्य आयामी परिवर्तनको अनुभव गर्दछ, जसले वेफर्समा थर्मल तनाव-प्रेरित क्षतिलाई विश्वसनीय रूपमा बेवास्ता गर्दछ।

2. उच्च विद्युतीय र थर्मल चालकता

Semicorex PECVD सौर्य ग्रेफाइट डुङ्गाहरूमा उत्कृष्ट विद्युतीय चालकता छ, जसले RF वर्तमान र एकसमान विद्युतीय क्षेत्र वितरणको द्रुत प्रवाह सुनिश्चित गर्दछ, जुन स्थिर प्लाज्मा उत्पादन र समान सिलिकन वेफर डिपोजिसनको लागि लाभदायक छ। थप रूपमा, यसको उच्च थर्मल चालकताले द्रुत शीतलन र तताउने सुविधा दिन्छ, उत्पादन क्षमतामा सुधार गर्दै स्थानीयकृत ओभर तताउनेलाई डिपोजिसन गुणस्तरलाई असर गर्नबाट रोक्छ।

3. बलियो रासायनिक स्थिरता

प्रिमियम-ग्रेड सामग्रीको प्रयोगको लागि धन्यवाद, सेमिकोरेक्स PECVD सौर्य ग्रेफाइट डुङ्गा प्रतिक्रियाशील ग्यासहरू र प्लाज्मासँग प्रतिक्रिया गर्न कम प्रवण छ। यस विशेषताले ग्रेफाइट डुङ्गामा जंग, विरूपण, वा अशुद्धता निक्षेपको कारणले गर्दा असमान विद्युतीय क्षेत्र वितरणलाई महत्त्वपूर्ण रूपमा रोक्छ, यसरी निक्षेप प्रक्रियाको स्थिरता र सिलिकन वेफर्सको सतहको गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।

4. उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति

यसको उत्कृष्ट मेकानिकल बल संग, Semicorex PECVD सौर ग्रेफाइट डुङ्गा सजिलै संग उच्च मात्रा वेफर लोड को वजन ह्यान्डल गर्न सक्छ। तिनीहरूले लोडिङ र ढुवानीको समयमा उत्पन्न हुने मेकानिकल तनावलाई सजिलैसँग विकृत वा तोड्न नदिई लामो समयसम्म सहन सक्छन्।

5. उत्कृष्ट आयामी स्थिरता

Semicorex PECVD सौर ग्रेफाइट डुङ्गा सटीक मेसिनिंग मार्फत सबै कम्पोनेन्टहरूमा असाधारण आयामी शुद्धता प्राप्त गर्दछ। यसले सिलिकन वेफरलाई जम्मा गर्दा एक निश्चित स्थितिमा राख्छ, जसले स्वचालित उत्पादनको साथ एकसमान जम्मा र अनुकूलता सुनिश्चित गर्दछ।