क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

यहाँका फाइदाहरू छन्क्वार्ट्ज सामाग्रीl क्वार्ट्ज अर्धचालक उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर निर्माणमा महत्त्वपूर्ण उपभोग्य हो। अर्धचालक क्षेत्रमा क्वार्ट्ज भागहरूको मुख्य लक्ष्य बजार वेफर निर्माणमा फैलावट र नक्काशी प्रक्रिया हो, यसलाई दुई मुख्य कोटीहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ: उच्च-तापमान भागहरू र कम-तापमान भागहरू।

1. उच्च-तापमान भागहरू क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब, वेफर डुङ्गा, डुङ्गा होल्डर, र आदि हुन्। तिनीहरूले प्रत्यक्ष वा अप्रत्यक्ष रूपमा उच्च-तापमान वातावरणमा सिलिकन वेफरसँग सम्पर्क गर्न आवश्यक छ, मुख्य रूपमा फ्युज क्वार्ट्ज गिलास सामग्रीबाट बनेको हुन्छ, थर्मल प्रशोधन मार्फत उत्पादन गरिन्छ।

2. कम-तापमान भागहरू नक्काशी प्रक्रियामा क्वार्ट्ज रिंगहरू हुन्, र क्यासेटहरू, सफाई प्रक्रियामा सफा गर्ने ट्याङ्कहरू सहित। तिनीहरू मुख्यतया कम-तापमान वातावरणमा प्रयोग गरिन्छ, जुन मुख्य रूपमा फ्यूज क्वार्ट्ज गिलासबाट बनेको हुन्छ, चिसो प्रशोधन मार्फत उत्पादन गरिन्छ।

उच्च-तापमान क्षेत्रका कम्पोनेन्टहरू अधिक चाँडो खपत हुन्छन्, तर तिनीहरू सामान्यतया बहु-वेफर प्रणालीहरूमा प्रयोग गरिन्छ (एक वाहकले धेरै सिलिकन वेफरहरू धारण गर्दछ), जबकि कम-तापमान क्षेत्रका कम्पोनेन्टहरू धेरै बिस्तारै खपत हुन्छन्, तर तिनीहरू एकल-वेफर प्रणालीहरूमा प्रयोग गरिन्छ (एउटा वाहकले एउटा सिलिकन वेफर राख्छ); त्यसकारण, दुबैको लागि समग्र बजार आकार अपेक्षाकृत समान छ।

फर्नेस त्यो क्षेत्र हो जहाँ वेफरहरूले उच्च-तापमान ताप प्रक्रियाबाट गुज्र्छन्, क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब, रिएक्टर र धेरै हीटरहरू समावेश हुन्छन्, यो अर्धचालक प्रशोधनमा प्रसार, अक्सीकरण, आरटीपी प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा लागू हुन्छ। भट्टी मुख्यतया तेर्सो र ठाडो प्रकारमा विभाजित छ:। तेर्सो फर्नेसमा, वेफर्सहरू क्वार्ट्ज डुङ्गामा राखिन्छन्, जुन बारीमा SiC क्यारियरमा राखिन्छ। अगाडि र पछाडि अनुकूली बाफल्स पनि छन्। वाहकलाई क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमा धकेलिन्छ, र वेफर्सले स्थिर तापक्रम क्षेत्रमा प्रतिक्रिया पार्छ। ठाडो भट्टीमा, वेफर्सहरू क्वार्ट्ज टावरमा राखिन्छन् र त्यसपछि बिस्तारै क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबमा प्रशोधनका लागि उठाइन्छ।

माथिको प्रक्रियाहरूमा संलग्न उच्च तापमानको कारण, क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबको गम्भीर विकृति र पतन रोक्नको लागि बारम्बार र लामो प्रयोग पछि, क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब जुन विरूपण र पतन प्रतिरोधी छ र उत्पादनको क्रममा लामो सेवा जीवन प्रयोग गरिनु पर्छ।

यहाँका फाइदाहरू छन्क्वार्ट्जभट्टी ट्यूब:

1. उच्च तापमान प्रतिरोध। क्वार्ट्ज गिलास लगभग 1730 ℃ को एक नरम बिन्दु छ र 1150 ℃ मा विस्तारित अवधि को लागी प्रयोग गर्न सकिन्छ, छोटो अवधिको अधिकतम तापमान 1450 ℃ सम्म पुग्छ।

2. जंग प्रतिरोध। हाइड्रोफ्लोरिक एसिड बाहेक, उच्च शुद्धता क्वार्ट्जले अन्य अम्लीय पदार्थहरूसँग रासायनिक रूपमा प्रतिक्रिया गर्दैन। उच्च तापक्रममा, यसले सल्फ्यूरिक एसिड, नाइट्रिक एसिड, हाइड्रोक्लोरिक एसिड, एक्वा रेगिया, तटस्थ लवण, कार्बन र सल्फरबाट क्षरण सामना गर्न सक्छ। यसको एसिड प्रतिरोध सिरेमिकको 30 गुणा र स्टेनलेस स्टीलको 150 गुणा हो।  यसको रासायनिक स्थिरता, विशेष गरी उच्च तापमानमा, कुनै पनि अन्य ईन्जिनियरिङ् सामाग्री द्वारा बेजोड छ।

3. राम्रो थर्मल स्थिरता। उच्च-शुद्धता क्वार्ट्जमा थर्मल विस्तारको अत्यन्त कम गुणांक छ र कठोर तापमान परिवर्तनहरू सामना गर्न सक्छ।  उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज लगभग 1100 ℃ मा तताउने र त्यसपछि यसलाई कोठाको तापक्रमको पानीमा डुबाउँदा यसलाई चकनाचुर हुने छैन।

4. राम्रो प्रकाश प्रसारण प्रदर्शन। उच्च-शुद्धता क्वार्ट्जले पराबैंगनीदेखि इन्फ्रारेडसम्म सम्पूर्ण स्पेक्ट्रममा राम्रो प्रकाश प्रसारण प्रदर्शन गर्दछ। दृश्य प्रकाश प्रसारण 93% भन्दा माथि छ, र पराबैंगनी स्पेक्ट्रममा, अधिकतम प्रसारण 80% भन्दा बढी पुग्न सक्छ।

5. राम्रो बिजुली इन्सुलेशन प्रदर्शन। उच्च-शुद्धता क्वार्ट्जको प्रतिरोधात्मकता सामान्य क्वार्ट्ज गिलासको भन्दा दस हजार गुणा हुन्छ, यसलाई उत्कृष्ट विद्युतीय इन्सुलेशन सामग्री बनाउँछ, उच्च तापक्रममा पनि राम्रो विद्युतीय गुणहरू राख्छ।