SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्स

SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टर्समेटल-अर्गानिक केमिकल भाप डिपोजिसन (MOCVD) उपकरणहरूमा प्रयोग हुने अत्यावश्यक कम्पोनेन्टहरू हुन्, जुन वेफर सब्सट्रेटहरू समात्न र तताउन जिम्मेवार हुन्छन्। तिनीहरूको उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापन, रासायनिक प्रतिरोध, र आयामी स्थिरताको साथ, SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टरहरूलाई उच्च-गुणस्तरको वेफर सब्सट्रेट एपिटेक्सीको लागि इष्टतम विकल्पको रूपमा मानिन्छ।

वेफर निर्माणमा, दMOCVDटेक्नोलोजी वेफर सब्सट्रेटको सतहमा एपिटेक्सियल तहहरू निर्माण गर्न प्रयोग गरिन्छ, उन्नत अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माणको लागि तयारी गर्दै। एपिटेक्सियल तहहरूको वृद्धि धेरै कारकहरूद्वारा प्रभावित भएको हुनाले, वेफर सब्सट्रेटहरू जम्मा गर्नको लागि MOCVD उपकरणहरूमा सीधा राख्न सकिँदैन। SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टरहरूलाई वेफर सब्सट्रेटहरू समात्न र तताउन आवश्यक छ, एपिटेक्सियल तहहरूको विकासको लागि स्थिर थर्मल अवस्थाहरू सिर्जना गर्दछ। तसर्थ, SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टरहरूको प्रदर्शनले पातलो फिल्म सामग्रीको एकरूपता र शुद्धतालाई प्रत्यक्ष रूपमा निर्धारण गर्दछ, जसले फलस्वरूप उन्नत अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माणलाई असर गर्छ।

Semicorex चयन गर्दछउच्च शुद्धता ग्रेफाइटयसको SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टरहरूको लागि म्याट्रिक्स सामग्रीको रूपमा र त्यसपछि ग्रेफाइट म्याट्रिक्सलाई समान रूपमा कोट गर्दछ।सिलिकन कार्बाइडCVD प्रविधि मार्फत कोटिंग। परम्परागत प्रविधिको तुलनामा, CVD टेक्नोलोजीले सिलिकन कार्बाइड कोटिंग र ग्रेफाइट म्याट्रिक्स बीचको बन्धन बललाई उल्लेखनीय रूपमा सुधार गर्दछ, परिणामस्वरूप बलियो आसंजनको साथ घन कोटिंग हुन्छ। माग गरिएको उच्च-तापमान संक्षारक वातावरण अन्तर्गत पनि, सिलिकन कार्बाइड कोटिंगले लामो अवधिमा यसको संरचनात्मक अखण्डता र रासायनिक स्थिरता कायम राख्छ, प्रभावकारी रूपमा संक्षारक ग्यासहरू र ग्रेफाइट म्याट्रिक्स बीचको प्रत्यक्ष सम्पर्कलाई रोक्छ। यसले प्रभावकारी रूपमा ग्रेफाइट म्याट्रिक्सको क्षरणलाई जोगाउँछ र ग्रेफाइट कणहरूलाई वेफर सब्सट्रेटहरू र एपिटेक्सियल तहहरूलाई छुट्याउन र दूषित गर्नबाट रोक्छ, सेमीकन्डक्टर उपकरण निर्माणको स्वच्छता र उपज सुनिश्चित गर्दछ।

Semicorex को SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD ससेप्टरका फाइदाहरू

1. उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध

2. उच्च थर्मल चालकता

3. सुपीरियर थर्मल स्थिरता

4. थर्मल विस्तार को कम गुणांक

5. असाधारण थर्मल झटका प्रतिरोध

6. उच्च सतह चिल्लोपन

7. स्थायी सेवा जीवन