SiC लेपित ग्रह संसेप्टर्स

सेमिकोरेक्स SiC-लेपित ग्रह ससेप्टरहरू Aixtron G2 उपकरणहरूमा सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल वृद्धिको लागि डिजाइन गरिएको अपरिहार्य समर्थन घटक हुन्, जसमा तिनीहरू सुरक्षित रूपमा वेफरहरूलाई समर्थन गर्न र ग्रह गतिको तरिकामा घुमाउन सक्षम छन्। यस तरिकाले, सटीक थर्मल एकरूपता र वेफर सतहमा एकसमान ग्यास वितरण सफलतापूर्वक हासिल गर्न सकिन्छ, जसले वेफर्समा प्रीमियम-गुणस्तरको एपिटेक्सियल लेयर डिपोजिसनमा परिणाम दिन्छ।

Semicorex SiC-लेपित ग्रह ससेप्टर्सका फाइदाहरू

1. बहु-वेफर पकेट डिजाइन

Semicorex SiC लेपितग्रह संसेप्टर्ससटीक रूपमा नियन्त्रित आयामहरूको साथ धेरै वेफर पकेटहरूको एक समान वितरण सुविधा। यी वेफर पकेटहरूले एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाको क्रममा वेफर सब्सट्रेटहरूलाई दृढतापूर्वक समात्न सक्षम छन्, जसले वेफर सब्सट्रेटहरूको अनावश्यक आन्दोलनको कारणले गर्दा एपिटेक्सियल प्रक्रिया भिन्नताहरूलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ। थप रूपमा, यो बहु-वेफर पकेट डिजाइनले बहु वेफर सब्सट्रेटहरूलाई एकै प्रक्रियामा एकैसाथ एपिटेक्सियल डिपोजिसनबाट गुज्रन अनुमति दिन्छ, एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाको समग्र दक्षतामा ठूलो सुधार गर्दछ।

2. अनुकूलित ग्यास प्रवाह प्वाल व्यवस्था

Semicorex ले यसमा ग्यास प्रवाह च्यानलहरूको सावधानीपूर्वक इन्जिनियर गरिएको सेट समावेश गर्दछSiC-caotedग्रहीय ससेप्टरहरू, जसले एपिटाक्सियल प्रक्रियामा वेफर सतहमा ग्यास प्रवाह गतिशीलता र थर्मल एकरूपताको अनुकूलनलाई परिष्कृत गर्दछ। यो विचारशील डिजाइनले प्रतिक्रिया कक्ष भित्र ग्यास प्रवाह दर र वितरणमा सही नियन्त्रण सक्षम गर्दछ, जुन उच्च गुणस्तरको पातलो फिल्महरू, समान तह मोटाई, र भरपर्दो समग्र उपकरण प्रदर्शन प्राप्त गर्न आवश्यक छ।

3. अति उच्च सफाई

सेमीकोरेक्स SiC-कोटेड प्लानेटरी ससेप्टरहरू अल्ट्रा-उच्च-शुद्धता सामग्रीहरू र अत्यन्त कम अशुद्धता स्तरहरूद्वारा निर्मित हुन्छन्, पूर्ण रूपमा सेमीकन्डक्टर निर्माणको कडा सफाई आवश्यकताहरू पूरा गर्दै। तिनीहरूले प्रभावकारी रूपमा मेटालिक आउटग्यासिङको कारणले गर्दा हुने वेफर दूषिततालाई कम गर्दछ, उच्च-तापमान र एपिटेक्सियल प्रक्रियाहरूको विशिष्ट संक्षारक अवस्थाहरूमा पनि।

4. दीर्घकालीन सेवा जीवन

Semicorex को गुणस्तर नियन्त्रण हाम्रो कच्चा माल को कठोर चयन संग सुरु हुन्छ। SiC-कोटेड प्लानेटरी ससेप्टरहरू सेमीकन्डक्टर-ग्रेड ग्रेफाइट र सिलिकन कार्बाइडबाट सटीक-निर्मित छन्, उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध र जंग प्रतिरोध प्रदान गर्दै, तिनीहरूलाई चुनौतीपूर्ण उच्च-तापमान, अत्यधिक संक्षारक एपिटेक्सियल अपरेटिङ सर्तहरू पूर्ण रूपमा सामना गर्न मद्दत गर्दछ। यी उत्कृष्ट भौतिक गुणहरूको साथ, Semicorex SiC-लेपित ग्रह ससेप्टरहरूले तिनीहरूको निरन्तर प्रदर्शन र संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्न सक्छन् र तिनीहरूको सतहको क्षति र उच्च-तापमान र उच्च-जंग प्रतिक्रिया कक्षहरूमा प्रदर्शन गिरावटबाट बच्न सक्छन्, जसले गर्दा SiC-लेपित ग्रहीय ससेप्टरहरूको सेवा जीवनलाई धेरै विस्तार गर्दछ।