एपिटेक्सियल रिएक्टर चेम्बरको लागि SiC-लेपित ससेप्टर बैरल

Epitaxial रिएक्टर च्याम्बर को लागी Semicorex को SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेल एक प्रीमियम गुणस्तर उत्पादन हो, सटीक र स्थायित्व को उच्चतम स्तर मा निर्मित। यसले उत्कृष्ट थर्मल चालकता, जंग प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, र अर्धचालक निर्माणमा धेरै एपिटेक्सियल रिएक्टरमा अत्यधिक उपयुक्त छ।
एपिटेक्सियल रिएक्टर च्याम्बरको लागि हाम्रो SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेललाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै उत्कृष्ट लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
Epitaxial रिएक्टर च्याम्बर को लागी हाम्रो SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेल को बारे मा अधिक जान्न को लागी आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।

एपिटेक्सियल रिएक्टर च्याम्बरको लागि SiC-लेपित ससेप्टर ब्यारेलको प्यारामिटरहरू

एपिटेक्सियल रिएक्टर च्याम्बरको लागि SiC-लेपित ससेप्टर ब्यारेलका सुविधाहरू

- दुवै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह राम्रो घनत्व छ र उच्च तापमान र संक्षारक काम वातावरण मा राम्रो सुरक्षा भूमिका खेल्न सक्छ।

- सिलिकन कार्बाइड लेपित ससेप्टर एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको धेरै उच्च सतह समतलता छ।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता घटाउनुहोस्, क्र्याकिंग र डेलामिनेशन रोक्नको लागि प्रभावकारी रूपमा बन्डिङ बल सुधार गर्नुहोस्।

- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।

- उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध।