LPE रिएक्टर च्याम्बरको लागि Semicorex को SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेल उच्च ताप वितरण र थर्मल चालकता गुणहरू सहित, अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूको लागि एक उच्च भरपर्दो समाधान हो। यो जंग, ओक्सीकरण, र उच्च तापमान को लागी अत्यधिक प्रतिरोधी छ।
LPE रिएक्टर च्याम्बर को लागी Semicorex को SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेल एक प्रिमियम गुणस्तर उत्पादन हो, सटीक र स्थायित्व को उच्चतम स्तर मा निर्मित। यसले उत्कृष्ट थर्मल चालकता, जंग प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, र अर्धचालक निर्माणमा एलपीई अनुप्रयोगहरूको लागि अत्यधिक उपयुक्त छ।
एलपीई रिएक्टर च्याम्बरको लागि हाम्रो SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेललाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै उत्कृष्ट लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
LPE रिएक्टर च्याम्बरको लागि हाम्रो SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेल बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
एलपीई रिएक्टर च्याम्बरको लागि SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेलको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
¼m |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
एलपीई रिएक्टर च्याम्बरको लागि SiC-कोटेड ससेप्टर ब्यारेलका सुविधाहरू
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा राम्रो घनत्व छ र उच्च तापक्रम र संक्षारक कार्य वातावरणमा राम्रो सुरक्षात्मक भूमिका खेल्न सक्छ।
- सिलिकन कार्बाइड लेपित ससेप्टर एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको धेरै उच्च सतह समतलता छ।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता घटाउनुहोस्, क्र्याकिंग र डेलामिनेशन रोक्नको लागि बन्डिङ बललाई प्रभावकारी रूपमा सुधार गर्नुहोस्।
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।
- उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध।