SiC फोकस रिंग

Semicorex SiC फोकस रिंग उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बाइड द्वारा निर्मित एक सटीक-इन्जिनियर, रिंग आकार घटक हो। SiC फोकस रिंग उन्नत अर्धचालक प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो। उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइडले थर्मल स्थिरता (उच्च पिघलने बिन्दु), मेकानिकल स्थायित्व (उच्च कठोरता), र विद्युतीय प्रवाह गुणहरूको सन्दर्भमा उत्कृष्ट प्रदर्शन प्रदान गर्दछ, जुन धेरै अर्को पुस्ताको वेफर निर्माण प्रविधिहरूका विशिष्टताहरूसँग मिलाउन महत्त्वपूर्ण छ। SiC फोकस रिंग प्लाज्मा एचिंग र डिपोजिसन चेम्बर कम्पोनेन्टहरूमा पाइने कम्पोनेन्टहरू हुन्, र प्लाज्मा वितरण नियन्त्रण गर्न, वेफर एकरूपता प्राप्त गर्न र ठूलो उत्पादनमा उपजमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छन्।

SiC फोकस रिंगको सामग्री शुद्धता र विद्युतीय प्रदर्शन केही महत्त्वपूर्ण कारकहरू हुन् जसले यस घटकलाई परिभाषित गर्दछ र यसलाई सिरेमिक सामग्रीबाट फरक पार्छ। उच्च शुद्धतासिलिकन कार्बाइडपरम्परागत सिरेमिक सामग्रीहरू भन्दा फरक छ, किनकि यसले संयोजन प्रदान गर्दछ 

कठोरता साथै धेरै रसायनहरूको प्रतिरोध, र अद्वितीय विद्युत गुणहरू। विशेष रूपमा, अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, उच्च-शुद्धता सिलिकन कार्बाइडलाई डोपेन्टहरू र प्रशोधन विधिहरू प्रयोग गरेर प्लाज्मासँग अन्तरक्रिया गर्न आदर्श अर्ध-सञ्चालन सन्तुलनको साथ प्रवाहकीय वा अपमानजनक कार्यसम्पादनको सबैभन्दा उपयुक्त स्तरहरू उत्पादन गर्न इन्जिनियर गर्न सकिन्छ, उच्च-ऊर्जा वातावरणमा स्थिर कार्यसम्पादनको लागि अनुमति दिँदै जहाँ चार्ज निर्माण हुन्छ र विद्युतीय असंतुलन प्रक्रियामा त्रुटि हुने सम्भावना बढी हुन्छ।

प्लाज्माको किनारा प्रभावको कारण, घनत्व केन्द्रमा उच्च र किनारहरूमा कम हुन्छ। फोकस रिंग, यसको कुण्डाकार आकार र CVD SiC को भौतिक गुणहरू मार्फत, एक विशिष्ट विद्युत क्षेत्र उत्पन्न गर्दछ। यो क्षेत्रले प्लाज्मामा चार्ज गरिएका कणहरू (आयनहरू र इलेक्ट्रोनहरू) वेफर सतहमा, विशेष गरी किनारामा निर्देशित र सीमित गर्दछ। यसले प्रभावकारी रूपमा किनारमा प्लाज्मा घनत्व बढाउँछ, यसलाई केन्द्रमा नजिक ल्याउँछ। यसले वेफरमा नक्काशीको एकरूपतालाई उल्लेखनीय रूपमा सुधार गर्छ, किनाराको क्षति कम गर्छ, र उत्पादन बढाउँछ।

मर्करी उत्पादनले परिष्कृत मेसिनिङ र पालिश गर्ने प्रक्रियाहरू प्रयोग गरी SiC फोकस रिङलाई प्रशोधन गर्छ जसले कडा आयामी सहिष्णुता र चिल्लो सतह फिनिश प्राप्त गर्दछ। यी कम्पोनेन्टहरूको आयामी शुद्धताले विभिन्न सेमीकन्डक्टर उपकरण आपूर्तिकर्ताहरूसँग धेरै प्लाज्मा ईच र डिपोजिसन प्रणालीहरूमा आदानप्रदान योग्यता सुनिश्चित गर्न सक्षम बनाउँछ। औंठी मोटाई, भित्री र बाहिरी व्यास, र सतह चालकता को स्तर सहित विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन डिजाइनहरू पनि विकसित गर्न सकिन्छ।

SiC फोकस रिङका एप्लिकेसनहरूले अर्धचालक निर्माणमा फराकिलो एरे कभर गर्दछ: DRAM, NAND फ्ल्यास, तर्क उपकरणहरू, र नयाँ पावर अर्धचालक प्रविधिहरू। जसरी यन्त्र ज्यामितिहरू संकुचित हुन्छन् र प्रक्रिया नोडहरू मार्फत अगाडि बढ्न जारी राख्छन्, SiC फोकस रिंग जस्ता अत्यधिक भरपर्दो स्थिर चेम्बर कम्पोनेन्टहरूको आवश्यकता महत्वपूर्ण हुन्छ। SiC फोकस रिंगले प्लाज्माको सटीक नियन्त्रण प्रदान गर्दछ र लगातार वेफर गुणस्तर सुधार गर्दछ, उद्योगको महत्वाकांक्षालाई अझ सानो, छिटो, र कुशल इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू तर्फ अगाडि बढाउँछ। Semicorex SiC फोकस रिंगले सामग्री विज्ञान, सटीक इन्जिनियरिङ, र सेमीकन्डक्टर प्रक्रिया विकासको प्रतिच्छेदन बिन्दु परिभाषित गर्दछ। SiC फोकस रिंगमा उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उच्च रासायनिक प्रतिरोध, र नजिकको विशिष्ट विद्युत चालकता छ। यी सुविधाहरूले यसलाई प्रक्रियाहरूको समयमा विश्वसनीयता र उपज सुनिश्चित गर्न एक महत्वपूर्ण घटक बनाउँछ।