SiC हीटिंग फिलामेन्ट

Semicorex SiC हीटिंग फिलामेन्ट, नयाँ सेमीकन्डक्टर निर्माणमा वेफर प्रशोधनका लागि विकसित गरिएको उच्च भ्याकुम ताप तत्व, एक अभिनव ताप तत्व हो।ग्रेफाइट कोरर उच्च शुद्धतासिलिकन कार्बाइड कोटिंग। विशेष फिलामेन्टले ग्रेफाइटको थर्मल चालकता र SiC को स्थायित्व र सुरक्षालाई नियोजित गर्दछ, जसले गर्दा समयको साथ स्थिर र ऊर्जा-कुशल हीटर हुन्छ। SiC तताउने फिलामेन्ट वेफर्सलाई समान रूपमा तातो बनाउन र विशिष्टतामा पुग्नको लागि डिजाइन गरिएको हो, यसले उच्च-तापमान अर्धचालक प्रशोधन, जस्तै एपिटेक्सी, डिफ्युजन र एनिलिङको लागि उत्कृष्ट कम्पोनेन्ट बनाउँछ।

ग्रेफाइटको थर्मल गुणहरू र गुणस्तरीय विद्युतीय गुणहरूको कारणले SiC ताप फिलामेन्ट उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटसँग बनाइएको छ। ग्रेफाइटले विद्युतीय भार अन्तर्गत द्रुत प्रतिक्रिया र कुशल तापलाई सक्षम पार्ने मुख्य हीटिंग प्रकार्य प्रदान गर्दछ। बाक्लो उच्च-शुद्धता SiC कोटिंगले फिलामेन्टलाई प्रदूषणको सम्भावित स्रोतहरूबाट जोगाउँछ। SiC कोटिंगले वेफरलाई रासायनिक प्रदूषणबाट जोगाउँछ, र अक्सिडेशन, साथै चेम्बरमा कणहरू, फिलामेन्टको उपयोगी जीवन विस्तार गर्दछ, र सफा चेम्बर वातावरण सिर्जना गर्दछ।

SiC हीटिंग फिलामेन्टको मुख्य गुण भनेको वेफरको समान तताउने क्षमता हो। वेफरमा तापमान भिन्नताहरूले दोष वा हराएको उपज निम्त्याउन सक्छ। SiC तताउने फिलामेन्टमा उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ र फिलामेन्टको ठोस डिजाइनले ताप स्थिर र अधिक एकसमान हुने सुनिश्चित गर्दछ, पूर्ण प्रक्रिया नियन्त्रणको लागि थर्मल ग्रेडियन्टहरू सीमित गर्दछ।

SiC ताप फिलामेन्ट अनुकूलन योग्य छ, प्रत्येक फिलामेन्टको विद्युतीय प्रतिरोध मान यसको प्रक्रिया उपकरण र अपरेटिङ वातावरणको लागि अनुकूलित गर्न सकिन्छ। यस अनुकूलनले सिलिकन कार्बाइडको टेक्नोलोजीलाई फिलामेन्ट ज्यामिति, कोटिंग मोटाई, र सामग्री गुणहरूको प्रतिरोध मूल्य नियन्त्रण गर्न अनुमति दिन्छ। एक SiC तताउने फिलामेन्ट धेरै फरक वेफर आकार र प्रक्रिया रेसिपीहरूसँग धेरै फरक फर्नेस डिजाइनहरूमा फिट हुन सक्छ। यो विशेष गरी सेमीकन्डक्टर निर्माताहरूको लागि अनुकूल छ, किनकि यसले हालको प्रक्रियाहरूलाई अझ प्रभावकारी रूपमा चलाउन अनुमति दिन्छ र पहिले नै स्थानमा रहेका प्रणालीहरूसँग अनुकूलता कायम राख्छ।  प्रदर्शन को तेस्रो विशेषता स्थायित्व छ। उच्च तापमान अर्धचालक प्रक्रियाहरूमा, तताउने तत्व धेरै आक्रामक रासायनिक वातावरण र दोहोर्याइएको थर्मल साइकल चलाउन पर्दाफास हुन्छ।

Semicorex SiC Heating Filament को अनुप्रयोगहरूले अर्धचालक उपकरण निर्माण प्रक्रियाहरूको एक विस्तृत सरणी कभर गर्दछ। एपिटेक्सियल वृद्धिको समयमा, उदाहरणका लागि, ताप तत्वले उच्च गुणस्तरको क्रिस्टलीय फिल्महरू जम्मा गर्नको लागि स्थिर र एकसमान सब्सट्रेट तापमान प्रदान गर्दछ।