Semicorex MOCVD को लागि SiC ससेप्टर को एक अग्रणी निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो। हाम्रो उत्पादन विशेष रूपमा सेमीकन्डक्टर उद्योगको वेफर चिपमा एपिटेक्सियल तह बढाउनको लागि आवश्यकताहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको हो। उत्पादन MOCVD मा केन्द्र प्लेटको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, गियर वा औंठी आकारको डिजाइनको साथ। यसमा उच्च ताप र जंग प्रतिरोध छ, यसलाई चरम वातावरणमा प्रयोगको लागि आदर्श बनाउँदै।
MOCVD को लागि हाम्रो SiC ससेप्टर एक उच्च गुणस्तर उत्पादन हो जसमा धेरै मुख्य सुविधाहरू छन्। यसले सबै सतहमा कोटिंग सुनिश्चित गर्दछ, पिलिङबाट बच्न, र उच्च-तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध छ, 1600 डिग्री सेल्सियस सम्मको उच्च तापक्रममा पनि स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ। उत्पादन उच्च-तापमान क्लोरिनेशन अवस्था अन्तर्गत CVD रासायनिक वाष्प निक्षेप मार्फत उच्च शुद्धता संग बनाइएको छ। यसमा अम्ल, क्षार, नुन, र अर्गानिक अभिकर्मकहरूबाट क्षरण गर्न अत्यधिक प्रतिरोधी बनाउँदै, राम्रो कणहरू सहितको घने सतह छ।
MOCVD को लागि हाम्रो SiC ससेप्टरलाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै, उत्तम लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचाको ग्यारेन्टी गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्छ।
MOCVD को लागि SiC ससेप्टरको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
¼m |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
MOCVD को लागि SiC ससेप्टर को विशेषताहरु
- छिलकाबाट बच्नुहोस् र सबै सतहमा कोटिंग सुनिश्चित गर्नुहोस्
उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस सम्म उच्च तापमानमा स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरिनेशन अवस्था अन्तर्गत CVD रासायनिक वाष्प निक्षेप द्वारा बनाईएको।
जंग प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घने सतह र ठीक कणहरू।
जंग प्रतिरोध: एसिड, क्षार, नुन र जैविक अभिकर्मक।
- उत्तम लामिनार ग्याँस प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्नुहोस्
- थर्मल प्रोफाइल को समानता ग्यारेन्टी
- कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलावट रोक्न