MOCVD को लागी SiC वेफर ससेप्टर्स

थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध, र मेकानिकल बलियोताको संयोजनले MOCVD का लागि Semicorex SiC Wafer Susceptors को कठोर प्रशोधन अवस्थाहरूमा पनि लामो परिचालन जीवन सुनिश्चित गर्दछ:

1. MOCVD का लागि यी SiC वेफर ससेप्टरहरू अत्यधिक उच्च तापक्रमहरू, प्रायः 1500°C भन्दा बढि, बिना कुनै गिरावटको सामना गर्न इन्जिनियर गरिएका छन्। यो लचिलोपन प्रक्रियाहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ जसलाई उच्च थर्मल वातावरणमा लामो समयसम्म एक्सपोजर चाहिन्छ। उच्च थर्मल गुणहरूले ससेप्टर भित्रको थर्मल ढाँचा र तनावलाई कम गर्छ, जसले गर्दा चरम प्रशोधन तापमान अन्तर्गत वार्पिङ वा विरूपणको जोखिम कम हुन्छ।

2. MOCVD को लागि SiC Wafer Susceptors को SiC कोटिंगले CVD प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने संक्षारक रसायनहरूको लागि असाधारण प्रतिरोध प्रदान गर्दछ, जस्तै हलोजन-आधारित ग्यासहरू। यो जडताले सुनिश्चित गर्दछ कि क्यारियरहरूले प्रक्रिया ग्यासहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैनन्, यसरी जम्मा गरिएका फिल्महरूको अखण्डता र शुद्धता कायम राख्छ।

3. MOCVD का लागि यी SiC वेफर ससेप्टरहरूको बलियो निर्माणले वेफरलाई दूषित पार्न सक्ने कणहरू उत्पन्न नगरी ह्यान्डलिंग र प्रशोधन गर्ने मेकानिकल तनावहरूको सामना गर्न सक्ने सुनिश्चित गर्दछ। ससेप्टर्सको सतहको एकरूपताले पुन: उत्पादन योग्य प्रशोधन अवस्थाहरूलाई बढावा दिन्छ, जुन लगातार प्रदर्शन र विश्वसनीयताका साथ अर्धचालक उपकरणहरू उत्पादन गर्न आवश्यक छ।

यी विस्तारित विवरणहरूले अर्धचालक CVD प्रक्रियाहरूमा MOCVD का लागि SiC Wafer Susceptors को व्यावसायिक र प्राविधिक फाइदाहरू हाइलाइट गर्दछ, तिनीहरूको अद्वितीय गुणहरू र उत्पादन प्रक्रियामा शुद्धता, प्रदर्शन, र दक्षताको उच्च मापदण्डहरू कायम राख्नका फाइदाहरूमा जोड दिन्छ।