TaC लेपित सील रिंग

सेमीकोरेक्स TaC-लेपित सिल रिंगले प्लाज्मा इच रसायनशास्त्र (जस्तै, फ्लोरिन, क्लोरीन, ब्रोमिन), डोपेन्टहरू (जस्तै, बोरन, फस्फोरस, र आर्द्रता), सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरूमा नियोजित संक्षारक ग्यासहरू र रसायनहरूको विस्तृत श्रृंखलामा उत्कृष्ट जडता प्रदर्शन गर्दछ। सफाई एजेन्टहरू। यो जडत्वले संवेदनशील प्रक्रिया कक्षहरूको सील गिरावट र प्रदूषणलाई रोक्छ।

र 3800°C भन्दा बढीको पिघलाउने बिन्दुको साथ, TaC-लेपित सिल रिंगले वेफर प्रशोधनको क्रममा सामना गरेको उच्च तापक्रममा यसको संरचनात्मक अखण्डता र मेकानिकल बल कायम राख्छ। यसले उच्च-तापमान एनिलिङ, निक्षेप, र नक्काशी प्रक्रियाहरूमा भरपर्दो सील प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।

TaC-लेपित सिल रिङको चरम कठोरता र कम घर्षण गुणांकले पहिरन, स्क्र्याचिङ र घर्षणको लागि असाधारण प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। यो गतिशील सीलिंग अनुप्रयोगहरूमा महत्वपूर्ण छ जहाँ बारम्बार गति वा वेफर्स र अन्य कम्पोनेन्टहरूसँग सम्पर्कले कण उत्पादन र सील विफलता निम्त्याउन सक्छ।

TaC-लेपित सिल रिङले उच्च तापमानमा पनि धेरै कम आउटग्यासिङ दरहरू प्रदर्शन गर्दछ, तिनीहरूलाई उच्च-भ्याकुम अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श बनाउँछ। यसले प्रक्रिया शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ र संवेदनशील वेफर सतहहरूमा अनावश्यक प्रदूषकहरूको जम्मा हुनबाट रोक्छ।

सेमीकन्डक्टर अनुप्रयोगहरूमा विशिष्ट लाभहरू:

विस्तारित सील जीवनकाल:TaC-लेपित सिल रिंगले रासायनिक आक्रमण, थर्मल डिग्रेडेसन, र मेकानिकल पहिरनमा उच्च प्रतिरोध प्रदान गरेर सीलको जीवनकाललाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ। यसले सिल प्रतिस्थापनको आवृत्ति घटाउँछ, डाउनटाइम र मर्मत लागत कम गर्दछ।

सुधारिएको प्रक्रिया उपज र वेफर गुणस्तर:TaC-लेपित सिल रिंगको निष्क्रिय प्रकृतिले कण उत्पादन र प्रदूषणलाई कम गर्छ, जसले उच्च प्रक्रिया उत्पादन र सुधारिएको वेफर गुणस्तरमा नेतृत्व गर्दछ। यो कडा दोष सहिष्णुता संग उच्च प्रदर्शन अर्धचालक उपकरणहरु को उत्पादन को लागी महत्वपूर्ण छ।

परिष्कृत उपकरण अपटाइम र उत्पादकता:लामो सील जीवनकाल र कम मर्मत आवश्यकताहरूले उपकरण अपटाइम र समग्र उत्पादकता बढाउन योगदान दिन्छ। यो आउटपुट अधिकतम गर्न र उच्च-भोल्युम सेमीकन्डक्टर निर्माणको मागहरू पूरा गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ।