TaC लेपित ट्यूब

Semicorex TaC कोटेड ट्यूबको शक्ति आधार सामाग्री र विशेष कोटिंग को synergistic संयोजन मा निहित छ:

उच्च शुद्धता आइसोट्रोपिक ग्रेफाइट फाउन्डेशन:TaC कोटेड ट्यूबको कोर अल्ट्रा-उच्च शुद्धता आइसोट्रोपिक ग्रेफाइटबाट बनेको छ, यसको उत्कृष्ट थर्मल चालकता, कम थर्मल विस्तार, र थर्मल झटका लागि अन्तर्निहित प्रतिरोधको लागि प्रख्यात छ। यो फाउन्डेशनले एक बलियो र स्थिर प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ जुन तीव्र तापमान उतार-चढ़ाव र अर्धचालक प्रशोधनको विशेषता उच्च थर्मल भारहरू सामना गर्न सक्षम छ।

ट्यान्टलम कार्बाइड---स्थायित्व र जडत्वको ढाल:CVD- लागू गरिएको TaC कोटिंगले ग्रेफाइट सब्सट्रेटलाई परिवर्तन गर्छ, असाधारण कठोरता, पहिरन प्रतिरोध, र रासायनिक जडता प्रदान गर्दछ। यो सुरक्षात्मक तहले आक्रामक ग्यासहरू, प्लाज्माहरू, र प्रतिक्रियाशील प्रजातिहरू अर्धचालक निर्माणको क्रममा सामना गर्ने बाधाको रूपमा कार्य गर्दछ, जसले ट्यूबको संरचनात्मक अखण्डता र दीर्घायु सुनिश्चित गर्दछ।

यो अद्वितीय सामग्री संयोजन उन्नत अर्धचालक निर्माणको लागि महत्वपूर्ण फाइदाहरूको दायरामा अनुवाद गर्दछ:

अतुलनीय तापमान प्रतिरोध:TaC ले सिलिकन कार्बाइड (SiC) लाई पनि उछिनेर, सबै ज्ञात सामग्रीहरूको उच्चतम पग्लने बिन्दुहरू मध्ये एकलाई गर्व गर्दछ। यो चरम तापमान प्रतिरोधले TaC लेपित ट्यूबलाई 2500°C भन्दा बढी तापक्रम आवश्यक हुने प्रक्रियाहरूमा भरपर्दो रूपमा सञ्चालन गर्न अनुमति दिन्छ, जसले थर्मल बजेटको माग गर्दै अर्को पुस्ताको अर्धचालक उपकरणहरूको उत्पादनलाई सक्षम पार्छ।

महत्वपूर्ण प्रक्रिया नियन्त्रणको लागि अल्ट्रा-उच्च शुद्धता:अर्धचालक निर्माणमा पुरानो प्रक्रिया वातावरण कायम राख्नु सर्वोपरि छ। उच्च शुद्धता ग्रेफाइटको प्रयोग र सावधानीपूर्वक CVD कोटिंग प्रक्रियाले TaC लेपित ट्यूबबाट न्यूनतम आउटग्यासिङ वा कण उत्पादन सुनिश्चित गर्दछ, जसले संवेदनशील वेफर सतहहरू र उपकरणको प्रदर्शनमा सम्झौता गर्न सक्ने प्रदूषणलाई रोक्न सक्छ।

अटल रासायनिक प्रतिरोध:TaC लेपित ट्यूबको रासायनिक जडताले संक्षारक ग्यासहरू, प्रतिक्रियाशील आयनहरू, र प्लाज्मा वातावरणहरूको विस्तृत श्रृंखलामा असाधारण प्रतिरोध प्रदान गर्दछ जुन सामान्यतया सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ जस्तै नक्काशी, डिपोजिसन, र एनिलिङ। यो बलियो रासायनिक स्थिरताले विस्तारित ट्यूब आयु, कम मर्मत आवश्यकताहरू, र स्वामित्वको कम समग्र लागतमा अनुवाद गर्दछ।

विस्तारित सेवा जीवनको लागि परिष्कृत मेकानिकल स्थायित्व:TaC कोटिंग र ग्रेफाइट सब्सट्रेट बीचको बलियो बन्धन बल, TaC लेपित ट्यूबको अन्तर्निहित कठोरताको साथ, पहिरन, क्षरण, र मेकानिकल तनावको लागि असाधारण प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। यो परिष्कृत स्थायित्वले लामो सेवा जीवनमा अनुवाद गर्दछ र प्रतिस्थापनको लागि कम डाउनटाइम, प्रक्रिया दक्षता र थ्रुपुट सुधार गर्दछ।