एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक चक

एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक चकले अर्धचालक वेफर प्रशोधनको लागि अत्याधुनिक समाधान प्रतिनिधित्व गर्दछ, विशेष गरी निर्माणको विभिन्न चरणहरूमा वेफरहरू सुरक्षित रूपमा राख्नको लागि डिजाइन गरिएको। इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC) को रूपमा कार्य गर्दै, यो नवीन उपकरणले सटीक र भरपर्दो वेफर अवधारण सुनिश्चित गर्न एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिकको असाधारण गुणहरूको लाभ उठाउँदछ।

सेमिकोरेक्स एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक चकले वेफरलाई यसको सतहमा दृढतापूर्वक समात्न इलेक्ट्रोस्टेटिक बलहरू प्रयोग गर्दछ। यो एक सावधानीपूर्वक ईन्जिनियर गरिएको प्लेटेन मार्फत प्राप्त गरिएको छ जसमा अभिन्न इलेक्ट्रोडहरू छन्, जुन उच्च भोल्टेजको साथ रणनीतिक रूपमा पक्षपाती छन्। नतिजाको रूपमा, प्लेटन र वेफरको बीचमा एक इलेक्ट्रोस्टेटिक होल्डिंग बल स्थापित हुन्छ, प्रभावकारी रूपमा प्रशोधन चरणहरूमा ठाउँमा वेफरलाई स्थिर गर्दछ।

एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक चकको स्ट्यान्डआउट विशेषताहरू मध्ये एक यसको उच्च थर्मल चालकता र इन्सुलेशन गुणहरूको उल्लेखनीय संयोजन हो। विशेषताहरूको यो अद्वितीय मिश्रणले यसलाई ESC अनुप्रयोगहरूको लागि एक आदर्श सामग्री विकल्प बनाउँछ। उच्च थर्मल चालकताले कुशल तातो अपव्यय सुनिश्चित गर्दछ, प्रशोधनको क्रममा वेफरमा समान तापमान वितरण कायम राख्नको लागि महत्त्वपूर्ण। एकै साथ, यसको असाधारण इन्सुलेशन गुणहरूले चक र वेफरको बीचमा बिजुली अलगाव प्रदान गर्दछ, विद्युतीय हस्तक्षेप वा संवेदनशील सेमीकन्डक्टर कम्पोनेन्टहरूमा क्षतिको जोखिमलाई कम गर्दै।

एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक चकले परम्परागत चक सामग्रीहरूमा धेरै फाइदाहरू प्रदान गर्दछ। यसको बलियो निर्माणले दीर्घकालीन स्थायित्व सुनिश्चित गर्दछ, अर्धचालक निर्माण वातावरणको कठोर मागहरू सामना गर्न सक्षम छ। थप रूपमा, उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूसँग यसको अनुकूलता र थर्मल विस्तारको प्रतिरोधले यसलाई निरन्तर र उच्च-गुणस्तरको वेफर प्रशोधन परिणामहरू प्राप्त गर्नको लागि अपरिहार्य उपकरण बनाउँदछ।