एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चक

एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूले विभिन्न अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूमा वेफरहरू सुरक्षित रूपमा समात्न इलेक्ट्रोस्टेटिक बलहरू प्रयोग गर्छन्। यो विधिले मेकानिकल क्ल्याम्प वा भ्याकुम प्रणालीको आवश्यकतालाई हटाउँछ, कण उत्पादनको जोखिम र नाजुक वेफरहरूमा मेकानिकल तनाव कम गर्दछ। एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूको मुख्य फाइदाहरू मध्ये एक भनेको तिनीहरूको सम्पूर्ण वेफर सतहमा अत्यधिक समान र स्थिर इलेक्ट्रोस्टेटिक बल उत्पन्न गर्ने क्षमता हो। यसले निरन्तर सम्पर्क सुनिश्चित गर्दछ र प्रशोधनको क्रममा वेफर स्लिपेज वा विकृतिलाई रोक्छ, जसले जम्मा गरिएका फिल्महरू, नक्काशी गरिएका सुविधाहरू, र अन्य महत्वपूर्ण प्यारामिटरहरूमा सुधारिएको एकरूपता निम्त्याउँछ। यो एकसमान क्ल्याम्पिङ बलले वेफर विरूपणलाई पनि कम गर्छ, जसले गर्दा उपकरणको प्रदर्शन र उपजमा सुधार हुन्छ।

यसको थर्मल गुणहरूको लागि, एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चक्सको उच्च थर्मल चालकताले उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा दक्ष तातो अपव्ययको लागि अनुमति दिन्छ, थर्मल तनाव रोक्न र वेफरमा समान तापमान वितरण सुनिश्चित गर्दछ। यो द्रुत थर्मल प्रशोधन र प्लाज्मा नक्काशी जस्ता अनुप्रयोगहरूमा महत्वपूर्ण छ, जहाँ स्थानीयकृत तापले उपकरणको प्रदर्शनलाई नकारात्मक रूपमा असर गर्न सक्छ। साथै, सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियामा प्रायः द्रुत तापमान संक्रमणहरू समावेश हुन्छन्। एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चक्सको उच्च थर्मल झटका प्रतिरोधले यसलाई चकको दीर्घायु र विस्तारित प्रयोगमा भरपर्दो कार्यसम्पादन सुनिश्चित गर्दै, गिरावट वा क्र्याक बिना यी अचानक तापमान परिवर्तनहरू सामना गर्न अनुमति दिन्छ। थप कुरा के हो भने, AlN सँग सिलिकन वेफर्ससँग मिल्ने थर्मल विस्तार (CTE) को गुणांक छ। यो अनुकूलताले थर्मल साइकल चलाउने क्रममा वेफर-चक इन्टरफेसमा उत्प्रेरित तनावलाई कम गर्छ, वेफर बो, विरूपण, र उपकरणको उपज र कार्यसम्पादनमा असर पार्न सक्ने सम्भावित दोषहरूलाई रोक्न सक्छ।

AlN उच्च लचक बल र फ्र्याक्चर कठोरता संग एक यान्त्रिक बलियो सामग्री हो। यो अन्तर्निहित शक्तिले एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूलाई उच्च-भोल्युम निर्माणको क्रममा सामना गर्ने मेकानिकल तनावहरू सामना गर्न अनुमति दिन्छ, लगातार प्रदर्शन र विस्तारित परिचालन जीवन सुनिश्चित गर्दै। अर्कोतर्फ, AlN ले सेमीकन्डक्टर प्रशोधनमा सामान्यतया प्रयोग हुने रसायन र प्लाज्माको विस्तृत श्रृंखलामा उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ। यसले एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको सतहलाई यसको परिचालन जीवनभर पुरानो र गैर-दूषित रहने सुनिश्चित गर्दै उच्च तापमानमा पनि उच्च अक्सिडेशन प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ।

सेमीकोरेक्स एल्युमिनियम नाइट्राइड इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू विभिन्न आकार र मोटाइहरूमा उपलब्ध छन् विभिन्न वेफर व्यास र प्रक्रिया आवश्यकताहरू समायोजन गर्न। यो अनुकूलनताले तिनीहरूलाई सेमीकन्डक्टर उत्पादन अनुप्रयोगहरूको विस्तृत दायराको लागि उपयुक्त बनाउँछ, अनुसन्धान र विकासबाट उच्च-भोल्युम उत्पादनसम्म।