यसको असाधारण थर्मल चालकता र गर्मी वितरण गुणहरूको साथ, सेमीकोरेक्स ब्यारेल संरचना सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल रिएक्टर एलपीई प्रक्रियाहरू र अन्य सेमीकन्डक्टर उत्पादन अनुप्रयोगहरूमा प्रयोगको लागि उत्तम विकल्प हो। यसको उच्च-शुद्धता SiC कोटिंगले उच्च-तापमान र संक्षारक वातावरणमा उच्च सुरक्षा प्रदान गर्दछ।
सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल रिएक्टरको लागि सेमिकोरेक्स ब्यारेल संरचना उच्च-प्रदर्शन ग्रेफाइट ससेप्टर अनुप्रयोगहरूको लागि जाने विकल्प हो जसलाई असाधारण गर्मी र जंग प्रतिरोध चाहिन्छ। यसको उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग र उच्च घनत्व र थर्मल चालकताले उच्च सुरक्षा र तातो वितरण गुणहरू प्रदान गर्दछ, सबैभन्दा चुनौतीपूर्ण वातावरणमा पनि भरपर्दो र निरन्तर प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दै।
सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल रिएक्टरको लागि हाम्रो ब्यारेल संरचनालाई थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै उत्कृष्ट लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल रिएक्टरको लागि हाम्रो ब्यारेल संरचनाको बारेमा थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल रिएक्टरको लागि ब्यारेल संरचनाको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
¼m |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J·kg-1 · K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल रिएक्टरको लागि ब्यारेल संरचनाको विशेषताहरू
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा राम्रो घनत्व छ र उच्च तापक्रम र संक्षारक कार्य वातावरणमा राम्रो सुरक्षात्मक भूमिका खेल्न सक्छ।
- सिलिकन कार्बाइड लेपित ससेप्टर एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको धेरै उच्च सतह समतलता छ।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तह बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता घटाउनुहोस्, क्र्याकिंग र डेलामिनेशन रोक्नको लागि बन्डिङ बललाई प्रभावकारी रूपमा सुधार गर्नुहोस्।
- दुबै ग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड तहमा उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट ताप वितरण गुणहरू छन्।
- उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध।