बैरल ससेप्टर सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट

Semicorex ब्यारेल ससेप्टर सिलिकन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट एपिटेक्सी प्रक्रियामा प्रयोगको लागि डिजाइन गरिएको एक विशेष कम्पोनेन्ट हो, विशेष गरी वेफरहरू बोक्नमा। यो ब्यारेल ससेप्टर सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनाइएको हो, जुन यसको उत्कृष्ट थर्मल चालकता र उच्च तापक्रममा स्थिरताका लागि परिचित छ। यसको प्रदर्शन र स्थायित्व बढाउन, ग्रेफाइट सतह सिलिकन कार्बाइड (SiC) को तहले लेपित छ।

ब्यारेल ससेप्टर सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइटको सिलिकन कार्बाइड कोटिंगले यस सन्दर्भमा धेरै महत्त्वपूर्ण उद्देश्यहरू पूरा गर्दछ। सर्वप्रथम, यसले अन्तर्निहित ग्रेफाइट सब्सट्रेटलाई सुरक्षाको अतिरिक्त तह प्रदान गर्दछ, यसलाई रासायनिक प्रतिक्रियाहरू र एपिटेक्सी प्रक्रियाको क्रममा हुन सक्ने पहिरनबाट जोगाउँछ। दोस्रो, SiC कोटिंगले ब्यारेल ससेप्टर सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइटको थर्मल गुणहरू बढाउँछ, वेफरहरूको कुशल र एकसमान तताउने सक्षम पार्छ। सेमीकन्डक्टर वेफर्समा लगातार र उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल तहहरू प्राप्त गर्नको लागि यो समान ताप आवश्यक छ।

ब्यारेल ससेप्टर सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइटको डिजाइन एपिटेक्सी प्रक्रियामा धेरै वेफरहरूलाई सुरक्षित रूपमा समात्न र ढुवानी गर्न अनुकूलित गरिएको छ। यसको ब्यारेल-जस्तो संरचनाले अपरेशनको क्रममा उचित ताप वितरण र थर्मल स्थिरता सुनिश्चित गर्दै वेफरहरूको सजिलो लोडिङ र अनलोडिङको लागि अनुमति दिन्छ।

समग्रमा, ब्यारेल ससेप्टर सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइटले एपिटेक्सी उपकरणहरूमा एक महत्वपूर्ण घटक प्रतिनिधित्व गर्दछ, जसले विश्वसनीयता, स्थायित्व, र उन्नत अर्धचालक उपकरणहरूको उत्पादनको लागि आवश्यक सटीक थर्मल नियन्त्रण प्रदान गर्दछ।