सेमिकन्डक्टरको लागि सिरेमिक फोकस रिंगहरू

सेमिकोरेक्स सिरेमिकफोकस औंठीसेमीकन्डक्टरका लागि s कठोर प्लाज्मा नक्काशी सञ्चालन अवस्थाहरूको लागि उपयुक्त समाधानहरू हुन्। परिष्कृत अर्धचालक नक्काशी प्रक्रियाको बखत, प्लाज्मा वितरणलाई ठीकसँग नियन्त्रण गर्न महत्त्वपूर्ण छ, जसले एचिङ च्याम्बर स्थिरता र लगातार अर्धचालक नक्काशी एकरूपता सुनिश्चित गर्न सक्छ। उन्नत नक्काशी उपकरणहरूमा प्रयोग हुने अपरिहार्य घटकहरूको रूपमा, फोकस रिंगहरू सामान्यतया सेमीकन्डक्टर वेफर्सको वरिपरि स्थित हुन्छन् र तिनीहरूसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कमा आउँछन्। फोकस रिंगहरूको प्रदर्शनले प्रक्रिया पुनरावृत्ति, उत्पादन उपज, र उपकरण अपटाइममा प्रत्यक्ष प्रभाव पार्छ।

अर्धचालकको लागि सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंगका फाइदाहरू

1.अल्ट्रा-उच्च सामग्री शुद्धता

हाम्रो शुद्धताCVD SiCसामग्री 99.9995% भन्दा बढी छ। यसले प्रभावकारी रूपमा अपर्याप्त सामग्री शुद्धताको कारणले गर्दा नक्काशी कक्ष र अर्धचालक वेफरहरूको प्रदूषणलाई रोक्न सक्छ।

2. असाधारण जंग प्रतिरोध

अर्धचालकका लागि सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिङ्हरू CVD SiC बाट बनाइएका छन्, अक्सिडेशन, इरोसन र रासायनिक क्षरणको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोधको विशेषता रहेको, विशेष गरी HF र HCI जस्ता प्रक्रिया ग्यासहरू, साथै प्लाज्मा ग्यासहरू विरुद्ध प्रभावकारी भएको।

3. सुपीरियर प्रतिरोध प्रदर्शन

अर्धचालकको लागि सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंगहरूको प्रतिरोध एकरूपता 5% भन्दा कम छ।

प्रतिरोधात्मकता दायरा: कम Res। (<0.02 Ω·cm), मध्य Res. (0.2–25 Ω·cm), उच्च रिज. (>100 Ω· सेमी)।

अर्धचालकको लागि सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिंगहरूको कार्यहरू

1. किनारा बिजुली क्षेत्र र प्लाज्मा वितरण नियन्त्रण र एकरूपता

सेमीकन्डक्टरका लागि सेमिकोरेक्स सिरेमिक फोकस रिङ्हरूले एचिङ च्याम्बर भित्र विद्युतीय क्षेत्रको वितरणलाई नियन्त्रण गर्न सक्छ र सेमीकन्डक्टर वेफर्सको वरिपरि थप एकसमान प्लाज्मा म्यान प्राप्त गर्न सक्छ, जसले प्लाज्मालाई ठाडो र एकसमान तरिकामा वेफरको सतहमा टक्कर दिन सक्षम पार्छ। यस तरिकाले, नक्काशी किनारा प्रभाव धेरै कम गर्न सकिन्छ र नक्काशी परिशुद्धता उल्लेखनीय सुधार गर्न सकिन्छ।

2. इलेक्ट्रोस्टेटिक चक सुरक्षित गर्नुहोस्

नक्काशी प्रक्रियामा फोकस रिंगहरूको सुरक्षा बिना, इलेक्ट्रोस्ट्याटिक चक उच्च-ऊर्जा प्लाज्माको बमबारी र क्षरणको लागि पर्दाफास हुनेछ। इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू अत्यधिक उच्च प्रतिस्थापन खर्चको साथ उच्च लागत सामग्रीबाट बनेका हुन्छन्। फोकस रिंगहरू प्रयोग गरेर इलेक्ट्रोस्टेटिक चकमा प्लाज्मा क्षरणलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ र इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको मर्मत र प्रतिस्थापन लागतहरू कम गर्न सक्छ।