Semicorex ले अर्धचालक उद्योगहरूमा सिलिकन कार्बाइड तहहरूमा फोकस गर्ने तपाईंको OEM अर्ध निर्माण उपकरणहरू र वेफर ह्यान्डलिंग कम्पोनेन्टहरूका लागि अर्धचालक-ग्रेड सिरेमिकहरू प्रदान गर्दछ। हामी धेरै वर्ष देखि सिरेमिक वेफर क्यारियर को निर्माता र आपूर्तिकर्ता भएको छ। हाम्रा उत्पादनहरूमा राम्रो मूल्यको फाइदा छ र धेरै जसो युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर छन्। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर क्यारियरसँग जंगको लागि राम्रो प्रतिरोध र उच्च तापमान र थर्मल झटका लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध छ। लोचको उच्च मोड्युलसले उत्कृष्ट आयामी स्थिरताको परिणाम दिन्छ। थप रूपमा, त्यहाँ सिरेमिक सामग्रीको शून्य porosity र कम छिद्र घनत्व छ।
हामी सबै प्रकारका सिरेमिक वेफर क्यारियरलाई ग्राहकको आवश्यकता अनुसार प्रशोधन गर्न सक्छौं।
सिरेमिक वेफर क्यारियरको प्यारामिटरहरू
प्राविधिक गुणहरू |
||||
अनुक्रमणिका |
एकाइ |
मूल्य |
||
सामग्रीको नाम |
प्रतिक्रिया Sintered सिलिकन कार्बाइड |
दबाव रहित सिंटर सिलिकन कार्बाइड |
पुन: स्थापित सिलिकन कार्बाइड |
|
रचना |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
बल्क घनत्व |
g/cm3 |
3 |
३.१५ ± ०.०३ |
२.६०-२.७० |
लचिलो शक्ति |
MPa (kpsi) |
३३८(४९) |
३८०(५५) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
कम्प्रेसिभ शक्ति |
MPa (kpsi) |
११२०(१५८) |
३९७०(५६०) |
> 600 |
कठोरता |
नूप |
2700 |
2800 |
/ |
तोड्ने दृढता |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
थर्मल चालकता |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
थर्मल विस्तार को गुणांक |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
विशिष्ट गर्मी |
जुल/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
हावा मा अधिकतम तापमान |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
लोचदार मोडुलस |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
सेमिकोरेक्सले सिरेमिक वेफर क्यारियर तीन प्रकारमा उत्पादन गर्यो, रियाक्सन सिन्टर्ड सिलिकन कार्बाइड (RBSiC), प्रेशरलेस सिन्टर्ड सिलिकन कार्बाइड (SSiC) र रिक्रिस्टल सिलिकन कार्बाइड (R-SiC)।
SSiC र RBSiC बीचको भिन्नता:
1. Sintering प्रक्रिया फरक छ। RBSiC कम तापक्रममा सिलिकन कार्बाइडमा नि:शुल्क Si घुसाउनु हो, SSiC 2100 डिग्रीमा प्राकृतिक संकुचनद्वारा बनाइएको हो।
2. SSiC मा चिल्लो सतह, उच्च घनत्व र उच्च बल छ, अधिक कडा सतह आवश्यकताहरु संग केहि सील को लागी, SSiC राम्रो हुनेछ।
3. विभिन्न PH र तापमान अन्तर्गत विभिन्न प्रयोग गरिएको समय, SSiC RBSiC भन्दा लामो छ
सिरेमिक वेफर क्यारियर को विशेषताहरु
उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
सामाग्री डिजाइन गरिएको छ ताकि दरार र delamination देखा पर्दैन।
सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकको उपलब्ध आकारहरू ¼
â सिरेमिक रड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लन्जर
â सिरेमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक आस्तीन
â सिरेमिक रिंग / सिरेमिक धुने / सिरेमिक स्पेसर
सिरेमिक डिस्क
â सिरेमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लक
सिरेमिक बल
â सिरेमिक पिस्टन
â सिरेमिक नोजल
â सिरेमिक क्रुसिबल
â अन्य अनुकूलन सिरेमिक भागहरू