सिरेमिक वेफर क्यारियर

Semicorex ले सेमीकन्डक्टर उद्योगहरूमा सिलिकन कार्बाइड तहहरूमा फोकस गर्ने तपाईंको OEM अर्ध निर्माण उपकरणहरू र वेफर ह्यान्डलिंग कम्पोनेन्टहरूका लागि सेमीकन्डक्टर-ग्रेड सिरेमिकहरू प्रदान गर्दछ। हामी धेरै वर्ष देखि सिरेमिक वेफर क्यारियर को निर्माता र आपूर्तिकर्ता भएको छ। हाम्रा उत्पादनहरूमा राम्रो मूल्यको फाइदा छ र धेरै जसो युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू समावेश छन्। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर क्यारियरसँग जंगको लागि राम्रो प्रतिरोध र उच्च तापमान र थर्मल झटका लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध छ। लोचको उच्च मोड्युलसले उत्कृष्ट आयामी स्थिरताको परिणाम दिन्छ। थप रूपमा, त्यहाँ सिरेमिक सामग्रीको शून्य छिद्र र कम छिद्र घनत्व छ।
हामी सबै प्रकारका सिरेमिक वेफर क्यारियर ग्राहकहरूको आवश्यकता अनुसार प्रशोधन गर्न सक्छौं।

सिरेमिक वेफर क्यारियरको प्यारामिटरहरू

प्राविधिक गुणहरू
अनुक्रमणिका	एकाइ	मूल्य
सामग्रीको नाम		प्रतिक्रिया Sintered सिलिकन कार्बाइड	दबाव रहित सिंटर सिलिकन कार्बाइड	पुन: स्थापित सिलिकन कार्बाइड
रचना		RBSiC	SSiC	R-SiC
बल्क घनत्व	g/cm3	3	३.१५ ± ०.०३	२.६०-२.७०
फ्लेक्सरल शक्ति	MPa (kpsi)	३३८(४९)	३८०(५५)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
कम्प्रेसिभ शक्ति	MPa (kpsi)	११२०(१५८)	३९७०(५६०)	> 600
कठोरता	बटन	2700	2800	/
तोड्ने दृढता	MPa m1/2	4.5	4	/
थर्मल चालकता	W/m.k	95	120	23
थर्मल विस्तार को गुणांक	10^-६.1/°C	5	4	4.7
विशिष्ट गर्मी	जुल/g 0k	0.8	0.67	/
हावा मा अधिकतम तापमान	℃	1200	1500	1600
लोचदार मोडुलस	Gpa	360	410	240

सेमिकोरेक्सले सिरेमिक वेफर क्यारियर तीन प्रकारमा उत्पादन गर्‍यो, रियाक्सन सिन्टर्ड सिलिकन कार्बाइड (RBSiC), प्रेशरलेस सिन्टर्ड सिलिकन कार्बाइड (SSiC) र रिक्रिस्टल सिलिकन कार्बाइड (R-SiC)।

SSiC र RBSiC बीचको भिन्नता:

1. Sintering प्रक्रिया फरक छ। RBSiC कम तापक्रममा सिलिकन कार्बाइडमा नि:शुल्क Si घुसाउनु हो, SSiC 2100 डिग्रीमा प्राकृतिक संकुचनद्वारा बनाइएको हो।

2. SSiC मा चिल्लो सतह, उच्च घनत्व र उच्च बल छ, अधिक कडा सतह आवश्यकताहरु संग केहि सीलहरु को लागी, SSiC राम्रो हुनेछ।

3. विभिन्न PH र तापमान अन्तर्गत विभिन्न प्रयोग गरिएको समय, SSiC RBSiC भन्दा लामो छ

सिरेमिक वेफर क्यारियर को विशेषताहरु

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
उच्च गर्मी प्रतिरोध र थर्मल एकरूपता
चिल्लो सतहको लागि राम्रो SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई विरुद्ध उच्च स्थायित्व
सामाग्री डिजाइन गरिएको छ ताकि दरार र delamination देखा पर्दैन।

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकको उपलब्ध आकारहरू:

● सिरेमिक रड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लन्जर

● सिरेमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक आस्तीन

● सिरेमिक रिंग / सिरेमिक धुने / सिरेमिक स्पेसर

● सिरेमिक डिस्क

● सिरेमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लक

● सिरेमिक बल

● सिरेमिक पिस्टन

● सिरेमिक नोजल

● सिरेमिक क्रुसिबल

● अन्य अनुकूलन सिरेमिक भागहरू