क्रिस्टल ग्रोथ र वेफर ह्यान्डलिंग प्रशोधनमा प्रयोग हुने सिलिकन कार्बाइड च्याम्बर ढक्कनले उच्च तापक्रम र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ। Semicorex चीनमा सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरको ठूलो मात्रामा निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो। हाम्रा उत्पादनहरूको मूल्यमा राम्रो फाइदा छ र यसले धेरै युरोपेली र अमेरिकी बजारहरू कभर गर्दछ। हामी तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
एकल क्रिस्टल ग्रोथ वा MOCVD, वा वेफर ह्यान्डलिङ प्रशोधनमा प्रयोग हुने सिलिकन कार्बाइड च्याम्बर ढक्कनले उच्च तापक्रम र कठोर रासायनिक सफाई सहनु पर्छ। Semicorex ले उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माणले उच्च ताप प्रतिरोध, लगातार epi तह मोटाई र प्रतिरोधको लागि थर्मल एकरूपता, र टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। तिनीहरू अस्थिर पूर्ववर्ती ग्यासहरू, प्लाज्मा, र उच्च तापमानको संयोजन अनुभव गर्न टिकाउ छन्।
हाम्रो सिलिकन कार्बाइड च्याम्बर ढक्कन थर्मल प्रोफाइलको समानता सुनिश्चित गर्दै, उत्तम लामिनार ग्यास प्रवाह ढाँचा प्राप्त गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसले वेफर चिपमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल वृद्धि सुनिश्चित गर्दै कुनै पनि प्रदूषण वा अशुद्धता फैलाउनबाट रोक्न मद्दत गर्दछ।
हाम्रो सिलिकन कार्बाइड च्याम्बर ढक्कन बारे थप जान्नको लागि आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।
सिलिकन कार्बाइड च्याम्बर ढक्कनको प्यारामिटरहरू
CVD-SIC कोटिंग को मुख्य निर्दिष्टीकरण |
||
SiC-CVD गुणहरू |
||
क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण |
|
घनत्व |
g/cm ³ |
3.21 |
कठोरता |
Vickers कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
μm |
२~१० |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
गर्मी क्षमता |
J kg-1 K-1 |
640 |
उदात्तीकरण तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सरल शक्ति |
MPa (RT 4-बिन्दु) |
415 |
युवाको मोडुलस |
Gpa (4pt बेन्ड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
सिलिकन कार्बाइड च्याम्बर ढक्कन को विशेषताहरु
● अल्ट्रा-फ्ल्याट क्षमताहरू
● ऐना पालिस
● असाधारण हल्का वजन
● उच्च कठोरता
● कम थर्मल विस्तार
● चरम पहिरन प्रतिरोध