अनुकूलन SiC Cantilever प्याडल

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle ले वेफर लोडिङ सिस्टम र डिफ्युजन फर्नेसको मुटुबीचको महत्वपूर्ण लिंकको रूपमा काम गर्दछ, उच्च-तापमान प्रशोधन क्षेत्रमा सिलिकन वेफरले भरिएको क्वार्ट्ज वा SiC वेफर डुङ्गाहरू ढुवानी गर्न जिम्मेवार हुन्छ। तिनीहरूको डिजाइन र भौतिक गुणहरू सावधानीपूर्वक यस माग कार्यको लागि अनुकूलित छन्:

स्थिर वेफर यातायातको लागि बलियो क्यान्टिलभर संरचना:फर्नेसमा फैलिएको कठोर हातले विशेषता भएको क्यान्टीलिभर डिजाइनले असाधारण स्थिरता र वेफर आन्दोलनमा सटीक नियन्त्रण प्रदान गर्दछ। यसले सहज र कम्पन-रहित यातायात सुनिश्चित गर्दछ, लोडिङ र अनलोडिङको समयमा वेफर टुटेको वा गलत अलाइनमेन्टको जोखिमलाई कम गर्दै।

कुशल ब्याच प्रशोधनको लागि उच्च लोड क्षमता:SiC सिरेमिकको अन्तर्निहित बल र कठोरताले कस्टम SiC क्यान्टिलभर प्याडललाई सिलिकन वेफर्सको भारी भार समायोजन गर्न अनुमति दिन्छ, प्रत्येक प्रसार चक्रको थ्रुपुट अधिकतम बनाउँदै र उच्च उत्पादन मात्रामा योगदान पुर्‍याउँछ।

सिमलेस एकीकरणको लागि सटीक आयामी नियन्त्रण: अनुकूलन SiC Cantilever Paddle सावधानीपूर्वक सटीक आयामी विशिष्टताहरूमा बनाइएको छ, प्रसार फर्नेस प्रणाली भित्र पूर्ण फिट सुनिश्चित गर्दै र स्वचालित वेफर ह्यान्डलिङ रोबोटहरूसँग सिमलेस एकीकरणको सुविधा प्रदान गर्दै।

SiC सिरेमिकको चयन, विशेष गरीप्रतिक्रिया बन्धित सिलिकन कार्बाइड (RBSiC)रसिंटर्ड सिलिकन कार्बाइड (SSiC), कस्टम SiC Cantilever प्याडलको लागि छनौटको सामग्रीको रूपमा उच्च-तापमान वातावरणमा तिनीहरूको असाधारण प्रदर्शन विशेषताहरूबाट उत्पन्न हुन्छ:

अटल उच्च-तापमान स्थिरता: कस्टम SiC क्यान्टिलिभर प्याडलले डिफ्युजन फर्नेस भित्र सामना गरेको उच्च तापक्रम (१६०० डिग्री सेल्सियस सम्म) विरूपण र क्रिपको लागि असाधारण प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ। यसले लगातार वेफर समर्थन सुनिश्चित गर्दछ र वेफर एकरूपतामा सम्झौता गर्न सक्ने झ्याल वा झुकाउनबाट रोक्छ।

असाधारण थर्मल शक प्रतिरोध:बिना हानी छिटो तापक्रम संक्रमणको सामना गर्ने क्षमता अनगिन्ती प्रसार चक्रहरूमा कस्टम SiC Cantilever Paddle को अखण्डता कायम राख्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ। यस सन्दर्भमा SiC सिरेमिक्स उत्कृष्ट छ, क्र्याकिंग वा फ्र्याक्चरको जोखिमलाई कम गर्दै जसले महँगो डाउनटाइम निम्त्याउन सक्छ।

सटीक पङ्क्तिबद्धताको लागि कम थर्मल विस्तार:SiC सिरेमिकको न्यूनतम थर्मल विस्तारले कस्टम SiC क्यान्टिलिभर प्याडलले सञ्चालनको क्रममा अनुभव गरेको फराकिलो तापक्रम दायराहरूमा यसको आयामी स्थिरता कायम राख्छ भनी सुनिश्चित गर्दछ। यो फर्नेस भित्र सटीक वेफर पङ्क्तिबद्धता कायम राख्न, एकसमान तताउने र लगातार प्रसार प्रोफाइलहरू सुनिश्चित गर्नको लागि महत्वपूर्ण छ।