2L10-506419-21 को लागि CVD SiC फोकस रिंग

प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रियाको समयमा, प्रतिक्रिया कक्षमा गैर-एकसमान प्लाज्मा वितरणले वेफर किनारामा गम्भीर दोषहरू निम्त्याउन सक्छ, जसले सेमीकन्डक्टर उपकरण उपज कम गर्नेछ। Semicorex CVD SiCफोकस औंठी2L10-506419-21 को लागि यो दुखाइ बिन्दुलाई सम्बोधन गर्नको लागि आदर्श घटक हो। यो सामान्यतया इलेक्ट्रोस्टेटिक चकमा स्थापित हुन्छ र वेफर किनारको वरिपरि राखिन्छ। 2L10-506419-21 को लागि Semicorex CVD SiC फोकस रिंगले वेफर सतहमा प्लाज्मा फोकस गर्न र प्रतिक्रिया कक्ष भित्र विद्युतीय क्षेत्र वितरणलाई अनुकूलन गर्न सक्षम छ। यस तरिकाले, यसले प्रभावकारी रूपमा वेफर एज ओभर-एचिंगको घटनालाई रोक्न सक्छ, जसले गर्दा सटीक र एकसमान नक्काशी परिणामहरू सुनिश्चित गर्दछ।

2L10-506419-21 को लागि Semicorex CVD SiC फोकस रिंग को कार्यहरू

1. यसले नक्काशी एकरूपता सुधार गर्न सक्छ र वेफर केन्द्र र किनारा बीच एक सुसंगत नक्काशी दर कायम राख्न सक्छ, यसरी अन्तिम अर्धचालक चिप्स उत्पादन बढाउँछ।

2. यसले प्रक्रिया विचलन र असमान प्लाज्मा वितरणको कारण हुने कण दूषिततालाई कम गर्न स्थिर नक्काशी अवस्था सिर्जना गर्न मद्दत गर्न सक्छ।

3. यसले प्लाज्मा-प्रेरित ओभर-इचिङ र किनारा क्षति रोक्न वेफर किनारालाई ढाल्न सक्छ।

उत्कृष्ट सामग्री गुणहरू

सेमीकोरेक्सCVD SiC2L10-506419-21 को लागि फोकस रिंग ठ्याक्कै ठोस CVD SiC सामग्रीबाट निर्मित छ। CVD प्रक्रियाले 2L10-506419-21 को लागि Semicorex CVD SiC फोकस रिंग बनाउँदै सिलिकन कार्बाइडको संरचनात्मक र कार्यात्मक कार्यसम्पादनलाई उल्लेखनीय रूपमा वृद्धि गर्न सक्छ।

1.अल्ट्रा-उच्च शुद्धता, र यसको अशुद्धता सामग्री 5 पीपीएम भन्दा कम छ।

2. उच्च मेकानिकल बल तिनीहरूको घने आन्तरिक संरचनाको लागि धन्यवाद।

3. उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापन क्षमता, लगभग 2000 डिग्री सेल्सियसको तापक्रममा सामग्रीमा कुनै पग्लिने वा नरम हुने छैन।

4. असाधारण जंग प्रतिरोध, यसले HF, HCl, र NH₃ सहित प्रक्रिया ग्यासहरूद्वारा प्लाज्मा नक्काशी र क्षरणलाई सामना गर्न सक्छ।

उच्च परिशुद्धता गुणस्तर नियन्त्रण

Semicorex ले सधैं कम्पोनेन्ट सटीक र गुणस्तरलाई आफ्नो शीर्ष प्राथमिकताको रूपमा राख्छ र CVD SiC फोकस रिंगहरू सेमीकन्डक्टर उद्योगको व्यावसायिक परिशुद्धता मापदण्डहरू अनुसार कडाईका साथ उत्पादन गर्दछ, जसले यसरी 2L10-506419-21 को लागि Semicorex CVD SiC फोकस रिंग सुनिश्चित गर्दछ र TELIG 4US उपकरणको साथ उत्तम फिट र सिमलेस उपकरणहरू प्रदान गर्दछ।